ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º(´ëÇ¥ ¹Ú»óÀÏ)°¡ ÃÖ±Ù ´ëÇü ½Ã·á¿ë ¿øÀÚÇö¹Ì°æ(AFM) ¡®NX20¡¯À» Ãâ½ÃÇß´Ù°í 3ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¾÷ü Ãø¿¡ µû¸£¸é NX20Àº ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ Á¤È®µµ¸¦ °¡Áø AFM NX Á¦Ç° ¶óÀÎ Áß °í±ÞÇü ¸ðµ¨·Î, Á¤È®¼ºÀÌ ³ô¾Æ Çϵåµð½ºÅ© µå¶óÀ̺ê¿Í ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ Àå¾Ö ºÐ¼®(FA) ¹× Ç°Áú º¸Áõ(QA) ¿¬±¸½Ç¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
NX20ÀÇ Æ¯Â¡Àº Àå½Ã°£ µ¿¾È »ÏÁ·ÇÑ Å½Ä§À» À¯ÁöÇÏ´Â ºñÁ¢ÃË ¸ðµå´Ù. ÀÌ´Â °ÅÄ¥±â ÃøÁ¤°ú °áÇÔ °Ë»ç¿¡¼ ÃÖ»óÀÇ Á¤È®¼º°ú ÀçÇö¼ºÀ» ´Þ¼ºÇÏ´Â µ¥´Ù »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÌ°í AFM ¼ö¸íÁÖ±âºñ¿ëÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ´Â µ¥µµ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù°í ¾÷ü ÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù.
ƯÈ÷ ¿ÏÀü ºñÁ¢ÃË ¸ðµå(True Non-Contact ModeTM)·Î ÀÎÇØ Å½Ä§°ú ½Ã·á°¡ ´êÁö ¾Ê¾Æ ½Ã·á¿¡ ¼Õ»óÀ» ÁÖÁö ¾Ê´Â´Ù. ¶Ç °í°¨µµ Z-µðÅØÅÍ·Î ½Ç ½Ã·á Çü»ó(True Sample TopographyTM)ÀÌ °¡´ÉÇØ ½Ã·á Ç¥¸éÀÇ Á¤È®ÇÑ ³ôÀ̸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¹Ú»óÀÏ ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º ´ëÇ¥´Â ¡°ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½ºÀÇ ±â¼ú·ÂÀº »ê¾÷¿ë ³ª³ë ÃøÁ¤À̶ó´Â ±î´Ù·Î¿î ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÌ¹Ì °ËÁõµÈ ¹Ù ÀÖ´Ù.¡±¸ç ¡°¿ÏÀü ºñÁ¢ÃË ¸ðµå´Â ÆÁ ¼ö¸íÀ» Å©°Ô ¿¬ÀåÇÏ°í Á¤È®ÇÑ ÃøÁ¤ °á°ú¿Í À̹ÌÁö¸¦ Á¦°øÇÑ´Ù.¡±°í ¸»Çß´Ù.