¿¬±¸ÆÀÀº ±âÁ¸ÀÇ º¹ÀâÇÑ ÇÕ±ÝÃ˸ŠÁ¦Á¶ °øÁ¤À» ´ÜÀÏÈÇÑ '´ÜÀÏ ÈÇбâ»óÁõÂø°øÁ¤(One-pot CVD process)'À» ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÏ°í 500µµ ÀÌÇÏ¿¡¼ ÃÖÀûÀÇ °áÁ¤ ±¸Á¶¸¦ °¡Áø ¿¬·áÀüÁö¿ë ¹é±Ý-ÄÚ¹ßÆ® ³ª³ëÇÕ±ÝÃ˸Ÿ¦ ÇÕ¼ºÇϴµ¥ ¼º°øÇß´Ù.
'´ÜÀÏ ÈÇбâ»óÁõÂø°øÁ¤'Àº Ã˸Š¹°ÁúÀ» Æ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖ´Â ±âü»óÅÂÀÇ Àü±¸Ã¼¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼µµ ªÀº ½Ã°£ µ¿¾È ÃÖÀûÀÇ ³ª³ëÇÕ±ÝÀÔÀÚ¸¦ ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
´ÜÀÏ ÈÇбâ»óÁõÂø °øÁ¤(One-pot CVD process) °³³äµµ./ÀÚ·áÁ¦°ø=Çѱ¹¿¡³ÊÁö±â¼ú¿¬±¸¿ø |
ÇÏÁö¸¸ À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ °øÁ¤Àº µÎ Á¾·ù ÀÌ»óÀÇ Ã˸ŠÀü±¸Ã¼¸¦ ±âüÈÇÑ ÈÄ ¿øÀÚ »óÅ¿¡¼ Á¦¾îÇØ Àú¿Â¿¡¼µµ ÃÖÀû ±¸Á¶ÀÇ ³ª³ëÇÕ±ÝÃ˸Ÿ¦ ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ ¿¬±¸ÁøÀÇ ¼³¸íÀÌ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇϸé Ã˸ŠÇÕ¼º¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿¡³ÊÁö¸¦ Å©°Ô ³·Ãç Á¦Á¶ ´Ü°¡¸¦ ´ëÆø Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±âÁ¸ÀÇ ¿©·¯ ´Ü°è¿¡ °ÉÄ£ º¹ÀâÇÑ ÇÕ±ÝÃ˸ŠÇÕ¼º °øÁ¤À» ÇÑ ´Ü°è·Î ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
Áï, ÇϳªÀÇ ¹ÝÀÀ±â¸¦ »ç¿ëÇØ ÇÕ±ÝÃ˸Š¼ººÐÀ» ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î ÁõÂøÇÏ°í ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼ÀÇ ¿Ã³¸®¸¸À¸·Îµµ ÃÖÀû ±¸Á¶ÀÇ ÇÕ±ÝÃ˸Ÿ¦ ÇÕ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ °øÁ¤¿¡ ÀÇÇØ Á¦Á¶µÈ ¿¬·áÀüÁö¿ë ¹é±Ý-ÄÚ¹ßÆ® ÇÕ±ÝÃ˸Ŵ ±âÁ¸ÀÇ ¹é±Ý ÇÕ±ÝÃ˸ſ¡ ºñÇØ ¹é±Ý »ç¿ë·®À» 5¹è ÀÌ»ó Àý°¨Çϸ鼵µ 6¹è ÀÌ»ó ³ôÀº ¼º´ÉÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸¿øÀÇ ±èÈñ¿¬ ¹Ú»ç´Â "À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ °øÁ¤À» È°¿ëÇϸé ÇÕ±Ý Ã˸ŠÁ¦Á¶ºñ¿ëÀ» Àý°¨Çϸ鼵µ ¼º´ÉÀ» ÃÖ´ëÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÇöÀç 95% ÀÌ»ó ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Â ±¹³» Ã˸Š½ÃÀå¿¡¼ ±¹»ê Ã˸ÅÀÇ È°¿ë ºñÀ²À» Å©°Ô ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÀ» °Í"À̶ó¸ç "ÈÄ¼Ó ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ´ë·®»ý»ê °øÁ¤À» °³¹ßÇÒ °èȹ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí À̹ø ¿¬±¸ ¼º°ú´Â ¼¼°è ÃÖ°í ±ÇÀ§ÀÇ ¼ÒÀç ºÐ¾ß ÇмúÁöÀÎ '¾îµå¹ê½ºµå ¸ÓƼ¸®¾ó½º(Advanced Materials)' 9¿ùÈ£ Ç¥Áö ³í¹®À¸·Î ¼±Á¤µÆ´Ù.