¼Óº¸
VIP
ÅëÇÕ°Ë»ö

»ï¼ºÀüÀÚ '¹ÝµµÃ¼ÀÎ 10°¡Áö ½ÅÁ¶'...10³ª³ë ½Ã´ë ¹Ø¹ÙÅÁ

¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ
  • ±è¼ºÀº ±âÀÚ
  • Ä«Ä«¿ÀÅå °øÀ¯Çϱâ
  • Ä«Ä«¿ÀÅå ³ª¿¡°Ô Àü¼ÛÇϱâ
  • ÆäÀ̽ººÏ
  • Æ®À§ÅÍ
  • ³×À̹ö
  • ÅÚ·¹±×·¥
  • ¹®ÀÚ
  • VIEW 17,395
  • 2016.10.25 06:05
  • ±ÛÀÚÅ©±âÁ¶Àý

[FACTORY]½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ÇÉÆê °øÁ¤ È°¿ëÇØ 10³ª³ë ½Ã´ë °³¸·¡¦"¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È­¿¡ ÇÑ°è´Â ¾ø¾î"

[ÆíÁýÀÚÁÖ] ÆÑÆ®(Fact)¿Í ½ºÅ丮(Story)°¡ ¸¸³³´Ï´Ù. ¿ì¸® °æÁ¦¸¦ À̲ø¾î°¡´Â »ê¾÷ÇöÀå¿¡ ¼û¾î ÀÖ´Â Àç¹ÌÀÖ´Â »ç½Ç°ú ±× µÚ¿¡ ¿«ÀÎ »ç¿¬µéÀ» Ç®¾îº½À¸·Î½á °æÁ¦¿Í »ê¾÷¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇظ¦ ³ÐÈ÷°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.


-¾ÈµÈ´Ù´Â »ý°¢À» ¹ö·Á¶ó
-Å« ¸ñÇ¥¸¦ °¡Á®¶ó
-ÀÏ¿¡ Âø¼öÇÏ¸é ¹°°í ´Ã¾îÁ®¶ó
-Áö³ªÄ¥ Á¤µµ·Î Á¤¼ºÀ» ´ÙÇ϶ó
-ÀÌÀ¯¸¦ ã±â Àü¿¡ ÀڽŠ¼ÓÀÇ ¿øÀÎÀ» ã¾Æ¶ó
-°â¼ÕÇÏ°í Ä£ÀýÇÏ°Ô ÇൿÇ϶ó
-¼­ÀûÀ» Àаí ÀڷḦ µÚÁö°í ±â·ÏÀ» ³²°Ü¶ó
-¹«¾ùÀÌµç ¼ýÀÚ·Î ÆľÇÇ϶ó
-öÀúÇÏ°Ô ½ÀµæÇÏ°í Áö½ÃÇÏ°í È®ÀÎÇ϶ó
-Ç×»ó »ý°¢ÇÏ°í È®ÀÎÇؼ­ ½Å³äÀ» °¡Á®¶ó

ÀÚ±â°è¹ß¼­³ª ¼º°øÁöħ¼­ µî¿¡ ³ª¿Ã ¹ýÇÑ ÀÌ 10°¡Áö ¹®±¸´Â »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷Àå¿¡ °¡¸é ã¾Æº¼ ¼ö ÀÖ´Â À̸¥¹Ù '»ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ÀÎÀÇ ½ÅÁ¶'´Ù.

â½ÃÀÚ°¡ ´©±ºÁö´Â ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÁö ¾ÊÁö¸¸ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷À» óÀ½ ½ÃÀÛÇÑ 1980³â´ëºÎÅÍ È¸ÀڵſԴÙ.

»ç¾÷ ÃÊâ±â ¶§Ã³·³ ¾Æħ¸¶´Ù À̸¦ º¹Ã¢ÇÏ´Â ¹®È­´Â ÇöÀç ³²¾ÆÀÖÁö ¾ÊÁö¸¸ Áö±Ýµµ »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ °ü°èºÎ¼­ »ç¶÷µéÀº ȸÀÇ ¶§ À̸¦ µÇ»õ±â´Â ½Ã°£À» °®±âµµ ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù.

30¿© ³â Àü¸¸ ÇÏ´õ¶óµµ ¹Ì±¹°ú ÀϺ» µî ´ç½Ã ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÁÖ±¹À» 쫒¾Æ°¡±â ¹Ù»¦´ø »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÎÀÇ ½ÅÁ¶¸¦ ´ÙÁö¸ç ÀÌÁ¦ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¼±Áø±â¾÷À¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇß´Ù.

D·¥ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­´Â 1992³â ÀÌÈÄ 25³â ¿¬¼Ó ½ÃÀåÁ¡À¯À² 1À§¸¦ ±â·Ï ÁßÀÌ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­µµ µµ¾àÀ» ÁغñÁßÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀڴ ƯÈ÷ °øÀåÀÌ ¾ø´Â(ÆÕ¸®½º) ¾÷üµé·ÎºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÁÖ¹® Á¦ÀÛÇØÁÖ´Â ÆÄ¿îµå¸® ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷¿¡ µå¶óÀ̺긦 °É°í ÀÖ´Ù.

½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü ICÀλçÀÌÃ÷ µî¿¡ µû¸£¸é Áö³­ÇØ ±âÁØ ÆÄ¿îµå¸® ¾÷ü 1~3À§´Â ´ë¸¸ÀÇ TSMC, ¹Ì±¹ÀÇ ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®, ´ë¸¸ÀÇ UMC µîÀÌ°í »ï¼ºÀüÀÚ´Â 4À§¿¡ ±×Ä£´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "ÀÌ´Â ¹Ù²ã ¸»ÇÏ¸é »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß¿¡¼­ ¾ÆÁ÷ ±×¸¸Å­ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÏÀÌ ¸¹´Ù´Â °Í"À̶ó°í °­Á¶Çß´Ù.

½ÃÀåÁ¡À¯À² Ãø¸é¿¡¼­´Â ¾ÆÁ÷ »óÀ§±ÇÀ̶ó ÇÒ ¼ö ¾øÁö¸¸ ±â¼ú·Â Ãø¸é¿¡¼­´Â ¼±µÎ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³­ 17ÀÏ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 10³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) °øÁ¤ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù°í ¹àÇô ´Ù½Ã ÇÑ ¹ø ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼ú·ÂÀ» °ú½ÃÇß´Ù. 1³ª³ë¹ÌÅÍ´Â 10¾ïºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ´Ù.

Áö³­ÇØ ÃÊ 14³ª³ë ÇÉÆê °øÁ¤ ¾ç»ê ÀÌÈÄ 1³â ¿© ¸¸¿¡ ´Ù½Ã Çѹø °æÀï»çÀÇ Ãß°ÝÀ» µûµ¹¸° °Í. ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß¿¡¼­ ±Û·Î¹ú 1À§ ¾÷üÀÎ ´ë¸¸ÀÇ TSMC´Â ÇöÀç 16³ª³ë °øÁ¤ ¾ç»ê ÁßÀÌ¸ç ³»³â ÁßÀ¸·Î 10³ª³ë °øÁ¤¿¡ ÁøÀÔÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

¹ÝµµÃ¼¿¡¼­ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­°¡ Áß¿äÇÑ ÀÌÀ¯´Â ȸ·ÎÆø, Áï ÀüÀÚ À̵¿°Å¸®°¡ ª¾ÆÁú ¼ö·Ï ¹ÝµµÃ¼ ¼º´ÉÀº ³ô¾ÆÁö°í ¼ÒºñÀü·ÂÀº ÁÙ¾îµé¸ç ÁýÀûµµ´Â Çâ»óµÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. Áï, °í°´µé¿¡°Ô ´õ ÁÁÀº ¼Ö·ç¼ÇÀÇ Á¦Ç°À» ³»³õÀ» ¼ö ÀÖ´Â °æÀï·ÂÀÌ µÈ´Ù.

À̹ø¿¡ ¾ç»ê¿¡ ¼º°øÇÑ 10³ª³ë °øÁ¤µµ ±âÁ¸ 14³ª³ë °øÁ¤ ´ëºñ ¹ÝµµÃ¼ ¼º´ÉÀº 27% °³¼±µÇ°í ¼ÒºñÀü·ÂÀº 40% Àý°¨µÆÀ¸¸ç ¿þÀÌÆÛ´ç Ĩ »ý»ê·®Àº 30% Çâ»óµÈ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.

½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 10³ª³ë ½Ã´ë°¡ ÇÏ·ç ¾Æħ¿¡ ¿­¸° °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù. ƯÈ÷ 5~6³â Àü±îÁö¸¸ ÇÏ´õ¶óµµ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·ÎÆøÀÌ 20³ª³ë´ë¿¡¼­ 10³ª³ë ÀÌÇÏ·Î ÁøÀÔÇÏ´Â °Ô °¡´ÉÇϳĴ ÀDZ¸½ÉµéÀÌ ¸¹¾Ò´Ù. ȸ·ÎÆøÀ» Á¼Èú¼ö·Ï ´©¼³ Àü·ù°¡ ¸¹¾ÆÁø´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ¾ú±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.

10³ª³ë ½Ã´ë°¡ ¿­¸° °áÁ¤Àû °è±â´Â ÇÉÆê °øÁ¤ ¾ç»êÀÇ ¼º°øÀ̾ú´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­ ¹Ì¼¼È­ °øÁ¤ÀÇ ÇѰ踦 ÀûÃþ ±¸Á¶·Î ¼¿À» ½×¾Æ¿Ã¸®´Â ¹æ¹ý(V³½µå)À¸·Î ±Øº¹ÇÑ °Íó·³ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿¡µµ À̸¦ ÀÀ¿ëÇß´Ù.

ÇÉÆêÀ̶õ 3Â÷¿ø(3D) ÀÔü±¸Á¶¸¦ È°¿ëÇØ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ ¼³°è »ý»êÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù. Æò¸é ±¸Á¶ ´ëºñ Áß°£¿¡ µ¹ÃâµÈ °ÔÀÌÆ® ¸ð¾çÀÌ »ó¾î Áö´À·¯¹Ì(Fin)¿Í ºñ½ÁÇÏ´Ù°í ÇØ ÀÌ°°Àº ¸íĪÀ» ¾ò¾ú´Âµ¥ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ µ¹Ãâ ±¸Á¶¸¦ È°¿ëÇØ ÀüÀÚ ´©¼³ÀÇ ¹®Á¦Á¡À» ¾î´À Á¤µµ ±Øº¹ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â À̹ø 10³ª³ë °øÁ¤¿¡¼­µµ ÇÉÆê ±â¼úÀ» È°¿ëÇß´Ù.

¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È­ °øÁ¤ÀÇ ¼±µÎÁÖÀÚ¶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ´«Àº ÀÌÁ¦ ÇÑ ÀÚ¸® ¼ö ³ª³ë´ë¸¦ ÇâÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ƯÈ÷ ³ë±¤Àåºñ ÁøÈ­°¡ ÀÌ°°Àº Àü¸ÁÀ» µÞ¹ÞħÇÑ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­¿¡ ÀÖ¾î °áÁ¤Àû ¿µÇâÀ» ³¢Ä¡´Â ÀÛ¾÷Àº ³ë±¤ÀÛ¾÷À¸·Î ²ÅÈù´Ù. ³ë±¤À̶õ ½±°Ô ¸»ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ºûÀ» ÀÌ¿ë, ÀüÀÚ È¸·Î¸¦ ±×·Á³Ö´Â °úÁ¤Àε¥ ÀÌ ¶§ »ç¿ëµÇ´Â ±¤¿ø ÆÄÀåÀÌ ÂªÀ»¼ö·Ï ´õ Á¤È®ÇÏ°í ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±×¸± ¼ö ÀÖ´Ù.

ÇöÀç ¾÷°è¿¡¼­ ¾²ÀÌ´Â ±¤¿øÀº ÆÄÀå ±æÀÌ 193nmÀÇ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) ¼Ò½ºÀε¥ ¾÷°è¿¡¼­ ÃÖ±Ù °Å·ÐµÇ´Â EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤ÀåºñÀÇ ÆÄÀå ±æÀÌ´Â 13.5nm¿¡ ºÒ°úÇÏ´Ù.

EUV¸¦ ¾²Áö ¾Ê´õ¶óµµ ÆÐÅÍ´×(ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â ÀÛ¾÷)À» 3¹ø(TPT), 4¹ø(QPT) ¹Ýº¹ÇØ ¹Ì¼¼È­ ÀÛ¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýµéµµ ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¾ç»ê¿¡ÀÇ È¿À²¼ºÀ» °í·ÁÇØ ´Ù¾çÇÑ ¹æ¾ÈµéÀ» °ËÅäÁßÀÌ´Ù.

±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ÃÑ°ý °â ½Ã½ºÅÛLSI »ç¾÷ºÎÀå(»çÀå)Àº "3~5³ª³ë´ë´Â ¾ç»ê¿¡ ÀÖ¾î ±â¼úÀûÀ¸·Î ¹®Á¦°¡ ¾ø´Ù°í º»´Ù"¸ç "ÀÌ·ÐÀûÀ¸·Î´Â 1.5³ª³ë´ëµµ °¡´ÉÇÏ´Ù"°í °­Á¶Çß´Ù.



¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ÁÖ¿ä´º½º

"ÀÌ ºÎºÎ ¿ù 469¸¸¿ø Ÿ³×"¡¦±¹¹Î¿¬±Ý ¹Þ´Â ³ëÀÎ 50% ³Ñ¾ú´Ù
³×À̹ö ¸ÞÀο¡¼­ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ±¸µ¶ Ä«Ä«¿ÀÅå¿¡¼­ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ Ã¤³Î Ãß°¡

º£½ºÆ®Å¬¸¯

¿À´ÃÀÇ ²ÜÆÁ

  • ´º½º ¼Ó ¿À´Ã
  • ´õ¿µ»ó
  • ³¯¾¾´Â?
  • ÇコÅõµ¥ÀÌ

¸¹ÀÌ º» ´º½º

ºÎµ¿»ê À¯Æ©ºê Á¤º¸Ã¤³Î ºÎ¸´Áö
Ç®¹ÎÁö

Æ÷Åä / ¿µ»ó