³í¹® Á¦¸ñÀº 'Atomic Layer Deposited High-k Dielectric on Graphene by Functionalization through Atmospheric Plasma Treatment(»ó¾Ð ÇöóÁ 󸮸¦ ÅëÇØ È°¼ºÈµÈ ±×·¡ÇÉ Ç¥¸é À§ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø °øÁ¤À¸·Î Çü¼ºµÈ °íÀ¯ÀüÀ² À¯Àüü)' ÀÌ´Ù.
ÀÌ ³í¹®¿¡¼´Â ±×·¡ÇÉ ¼ÒÀ縦 ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ¿¡ Àû¿ëÇϱâ À§ÇØ ±×·¡ÇÉ À§ °íÇ°Áú ¹Ú¸· ÁõÂø ±â¼úÀ» Á¦¾ÈÇÑ´Ù. ź¼Ò¿øÀÚ·Î ¹úÁý ¸ð¾ç °ÝÀÚ¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ±×·¡ÇÉÀº ¿øÀÚ ÇϳªÀÇ ¾ãÀº µÎ²²¸¦ °®´Â 2Â÷¿ø ¼ÒÀçÀÌ¸ç ³ôÀº Àüµµµµ, À¯¿¬¼º, »ýüÀûÇÕ¼º µî ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼º ´öºÐ¿¡ Â÷¼¼´ë ÀüÀÚ ¼ÒÀç·Î ¸¹Àº ¿¬±¸°¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ±×·¡ÇÉ Ç¥¸éÀº ÈÇÐÀûÀ¸·Î ºñÈ°¼ºÀûÀ̱⠶§¹®¿¡ ÈÇÐÀû °áÇÕ¿¡ ±â¹ÝÇÏ´Â ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ ±×·¡ÇÉ Ç¥¸é¿¡ °íÇ°Áú ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇϴµ¥ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸³í¹®¿¡¼ »ó¾Ð ÇöóÁ °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇØ ±¸Á¶Àû ¹× Àü±âÀû ¼º´É ÀúÇϸ¦ ÃÖ¼ÒÈÇÏ¸é¼ ±×·¡ÇÉ Ç¥¸éÀ» È°¼ºÈ ÇßÀ¸¸ç, È°¼ºÈµÈ ±×·¡ÇÉ Ç¥¸é À§¿¡ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ °íÇ°ÁúÀÇ ZrO2 À¯Àü ¹Ú¸·À» Çü¼º, ±×·¡ÇÉ Ç¥¸é¿¡¼µµ ÈÇÐÀû °áÇÕ¿¡ ±â¹ÝÇÏ´Â ÁõÂø ±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» º¸¿´´Ù.
ÀÌÅÂÈÆ Áöµµ±³¼ö(±¤¿î´ë Àü±â°øÇаú)´Â "2Â÷¿ø ¼ÒÀç ±×·¡ÇÉÀÇ Àü±âÀû ¹°¸®Àû Ư¼º ÀúÇϸ¦ ÃÖ¼ÒÈÇÏ¸é¼ °íÀ¯ÀüÀ² Àý¿¬¸·À» ÁõÂøÇÏ´Â ±â¼úÀ» ¿¬±¸Çß´Ù"¸ç "±×·¡ÇÉ°ú °íÀ¯ÀüÀ² Àý¿¬¸·¿¡ ±â¹ÝÇÏ´Â Ç÷º¼ºí ¹ÙÀÌ¿À¸ÞµðÄà ¼¾¼¸¦ ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ¼ÒÀÚÀÇ ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
°¸íÈÆ ÇлýÀº "¾ÕÀ¸·Î ´ëÇпø¿¡ ÁøÇÐÇØ ±×·¡ÇÉ ±â¹Ý °í¹Î°¨µµ ¹ÙÀÌ¿À ¼¾¼ ¹× ÀüÀÚ¼ÒÀÚ¸¦ ¿¬±¸ÇÏ°í ±× °á°ú¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Ã¢¾÷¿¡ µµÀüÇÒ °Í"À̶ó¸ç "¸¹Àº ÇкλýÀÌ Çаú ±³¼ö ¿¬±¸½Ç¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸¿Í °æÇèÀ» ½×°í Áø·Î ¼±ÅÃÀÇ ÆøÀ» ³ÐÇûÀ¸¸é ÁÁ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù. À̾î "°øµ¿¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÑ ¼¿ï°úÇбâ¼ú´ëÇб³ ¾ÈÁöȯ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀ¿¡ °¨»çÇÏ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.