Á¤Àº½Â »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎÀå(»çÀå)/»çÁø=»ï¼ºÀüÀÚ |
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 22ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹Ì±¹ »êŸŬ¶ó¶ó ¸Þ¸®¾îÆ® È£ÅÚ¿¡¼ '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2018'À» ¿°í ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷Àü·«°ú ÷´Ü °øÁ¤ ·Îµå¸Ê, ÀÀ¿ëóº° ¼Ö·ç¼Ç¿¡ ´ëÇØ ¹ßÇ¥Çß´Ù°í 23ÀÏ ¹àÇû´Ù.
À̹ø Æ÷·³Àº ÆÕ¸®½º ¾÷°è °í°´»ç, ÆÄÆ®³Ê»ç, ¾Ö³Î¸®½ºÆ® µî ¾à 500¸íÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥ ÁøÇàµÆ´Ù. ¸Å³â È®ÀåµÇ´Â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå ±Ô¸ð´Â ¹°·Ð »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Â÷º°ÈµÈ ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇÑ ÇâÈÄ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ ºñÀüÀÌ Á¦½ÃµÆ´Ù.
»ï¼ºÀüÀڴ ƯÈ÷ ÁÖ·Â ¾ç»ê °øÁ¤ÀÎ 14¡¤10³ª³ë, EUV(±ØÀڿܼ±)¸¦ È°¿ëÇÑ 7¡¤5¡¤4 ³ª³ë °øÁ¤À» Æ÷ÇÔ, »õ·Ó°Ô 3³ª³ë °øÁ¤±îÁöÀÇ ·Îµå¸ÊÀ» Á¦½ÃÇß´Ù. ¾ÕÀ¸·Î ±¤¹üÀ§ÇÑ Ã·´Ü °øÁ¤ °³¹ß°ú ¼³°è ÀÎÇÁ¶ó, SAFE(Samsung Advanced Foundry Ecosystem)ÀÇ Áö¼Ó È®Àå¿¡ ´ëÇؼµµ ¹ßÇ¥Çß´Ù.
³ª³ë °øÁ¤À̶õ ¹ÝµµÃ¼ ÁÖÀç·áÀÎ ¿þÀÌÆÛ ¿øÆÇÀÇ Æ®·£Áö½ºÅÍ °ÔÀÌÆ® µÎ²²(¼±Æø)¸¦ ÀǹÌÇÑ´Ù.
ÀÌ ÆøÀÌ Á¼À»¼ö·Ï ¿øÆÇ ÇÑ Àå´ç »ý»ê¼ºÀº ³ô¾ÆÁö°í ¹°°ÇÀ» ÁÖ¹®ÇÑ °í°´»ç ÀÔÀå¿¡¼µµ ÀÛ¾ÆÁø ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Å©±â·Î ÀÎÇØ º¸´Ù °æ·®ÈµÈ Á¦Ç°À» ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ¹«¾ùº¸´Ù ȸ·Î¼±ÆøÀÌ ÀÛ¾ÆÁú¼ö·Ï Á¦Ç° ¼º´ÉÀÌ °³¼±µÇ¹Ç·Î ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷¿¡¼ ´©°¡ ´õ »¡¸® ¹Ì¼¼°øÁ¤À» °³¹ßÇÏ´ÂÁö°¡ »ç¾÷ ¼ºÆи¦ Á¿ìÇÑ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¹è¿µÃ¢ »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ Àü·«¸¶ÄÉÆÃÆÀÀå(ºÎ»çÀå)Àº "Áö³ ÇÑ ÇØ, EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ °ÈÇϴµ¥ ÁÖ·ÂÇØ¿Ô´Ù"¸ç "ÇâÈÄ GAA(Gate-All-Around) ±¸Á¶¸¦ Â÷¼¼´ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÔÀ¸·Î½á ´Ü¼øÈ÷ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» ¼±µµÇÒ »Ó ¾Æ´Ï¶ó Á» ´õ ½º¸¶Æ®ÇÏ°í ±â±â°£ ¿¬°á¼ºÀ» °ÈÇÑ »õ·Î¿î ½Ã´ë¸¦ ¿¾î°¥ ¼ö ÀÖÀ¸¸®¶ó ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
GAA¶õ ÇÉÆê(Fin-FET)°øÁ¤ ÀÌÈÄÀÇ Â÷¼¼´ë °øÁ¤À¸·Î ²ÅÈ÷´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ÇÉÆêÀ̶õ 3Â÷¿ø Æ®·£Áö½ºÅÍ ÀÔü ±¸Á¶ °ÔÀÌÆ®ÀÇ ¸ð¾çÀÌ ¹°°í±â Áö´À·¯¹Ì(Fin)¿Í ºñ½ÁÇÏ´Ù°í ÇØ ºÙ¿©Áø À̸§ÀÌ´Ù. ±âÁ¸ 2Â÷¿ø Æò¸é±¸Á¶¿¡ ºñÇØ ÇѲ¨¹ø¿¡ ¸¹Àº ÀüÀÚ¸¦ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
GAA´Â ¿Ã ¾î¶ó¿îµå, ¸»±×´ë·Î 4Â÷¿ø ±¸Á¶À̱⠶§¹®¿¡ 3Â÷¿øÀÎ ÇÉÆ꺸´Ù Á¢Á¡À» ÇÑ Â÷¿ø ´õ ´Ã·Á ÀüÀÚÀÇ À̵¿·®À» ´õ ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô Á¶ÀýÇÏ°í ȸ·Î µ¿ÀÛ¼Óµµ¸¦ ºü¸£°Ô ÇÑ´Ù´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÆÄ¿îµå¸® ÷´Ü °øÁ¤ ·Îµå¸Ê¿¡¼ À̹ø¿¡ »õ·Ó°Ô Ãß°¡ÇÑ 3³ª³ë °øÁ¤Àº GAA¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ µ¶ÀÚ ºê·£µå 'MBCFET(Multi Bridge Channel FET)'À» ÃÖÃÊ Àû¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. MBCFETÀº ÇÉÆê ±¸Á¶ÀÇ Å©±â Ãà¼Ò¿Í ¼º´É Çâ»óÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÑ GAAFET(Gate All Around FET) ±â¼úÀÇ »ï¼ºÀüÀÚ µ¶ÀÚ ºê·£µå´Ù.
ÇÉÆêÀ» Àû¿ëÇÑ ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤Àº 4³ª³ë °øÁ¤ÀÌ ¸¶Áö¸·ÀÌ µÈ´Ù.
ÇÑÆí '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2018'Àº À̹ø ¹Ì±¹À» ½ÃÀÛÀ¸·Î 6¿ù Áß±¹ »óÇÏÀÌ, 7¿ù Çѱ¹ ¼¿ï, 9¿ù ÀϺ» µµÄì, 10¿ù µ¶ÀÏ ¹ÀÇîÀ¸·Î À̾îÁú ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.