EUV(±ØÀڿܼ±) ºí·©Å© ¸¶½ºÅ© °Ë»ç Àåºñ. /»çÁø=·¹ÀÌÀúÅØ È¸»ç ȨÆäÀÌÁö ĸÃÄ |
12ÀÏ ºí·ë¹ö±×´Â ÀϺ» ¿äÄÚÇϸ¶¿¡ À§Ä¡ÇÑ ÈÞ´ëÆù ºÎÇ° ÀåºñÁ¦Á¶¾÷ü ·¹ÀÌÀúÅØÀ» Á¶¸íÇß´Ù. 1960³â ¼³¸³µÈ ·¹ÀÌÀúÅØÀº 9¾ï3100¸¸¿£(¾à 94¾ï3000¸¸¿ø)°¡·®ÀÇ ÀÚº»±ÝÀ» Áö´Ñ ȸ»ç·Î, ¹ÝµµÃ¼ µðÀÚÀÎÀÇ ½ºÅÙ½Ç(¹«´ÌÆÇ) ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â »ç°¢Çü À¯¸®ÆÇÀ» °Ë»çÇÏ´Â Àåºñ¸¦ ¸¸µç´Ù.
CD ÄÉÀ̽ºº¸´Ù Á¶±Ý Å« À¯¸®ÆÇÀÇ °Ë»ç Àåºñ¸¦ ¸¸µå´Â ȸ»ç´Â ÀÌ°÷ÀÌ ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ´Ù. À¯¸®ÆÇÀ» ÅëÇØ ºûÀ» ºñÃ߸é DNAº¸´Ù Á¼Àº ÆøÀ» Áö´Ñ ȸ·Î°¡ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ(¹ÝµµÃ¼ÀÇ Àç·á°¡ µÇ´Â ¾ãÀº ¿øÆÇ)¿¡ »õ°ÜÁø´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀÌ Áß¿äÇÑ ÀÌÀ¯´Â ¿þÀÌÆÛ¿¡ »õ°ÜÁö´Â ÅÛÇø´ÀÌ ¿Ïº®ÇØ¾ß Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. °³º° ¹ÝµµÃ¼¿¡ ÀÛÀº °áÇÔ Çϳª¶óµµ ¹ß»ýÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼ ¹À½ Àüü¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ¾ø°Ô µÈ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÏ·ÃÀÇ °úÁ¤Àº ¸®Åä±×·¡ÇÇ(lithography)¶ó ºÒ¸°´Ù.
±â±â°¡ ¼ÒÇüÈµÇ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀº ´õ ÀÛÀº ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ±â¼úÀÌ °í¹ÎÀ̾ú´Ù. ¼ö³â°£ÀÇ ½ÃÇàÂø¿À ³¡¿¡ ¾÷°è¿¡¼± EUV(±ØÀڿܼ±¡¤Extreme Ultraviolet) ¸®Åä±×·¡ÇÇ¿¡ Á¤ÂøÇß´Ù. ÀÌ´Â Çö󽺸¶¸¦ ±¤¿øÀ¸·Î »ç¿ëÇØ 7³ª³ë¹ÌÅÍ(10¾ïºÐÀÇ 1¹ÌÅÍ)º¸´Ù ÀÛÀº ¼±À» ±×¸®´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ¾ÆÀÌÆùXS¿Í ¾ÆÀÌÆùXR¿¡ žÀçµÈ ¾ÖÇÃÀÇ A12 ¹ÙÀÌ¿À´Ð Ĩ¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ´Â ±Ô¸ð´Ù.
2017³â ·¹ÀÌÀúÅØÀº ³»ºÎ °áÇÔ ¹æÁö µîÀ» À§ÇØ EUV ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©(¾Æ¹«·± ÆÐÅÏÀÌ ¾ø´Â ¸¶½ºÅ©¡¤Blank Mask)¸¦ °Ë»çÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Àåºñ¸¦ µ¶Á¡À¸·Î ¸¸µé¾ú´Ù. EUV ¸¶½ºÅ©´Â ÃÖ´ë 10¸¸´Þ·¯(¾à 1¾ï3000¸¸¿ø)±îÁö Æȸ®´Â °í°¡ÀÇ Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ·¹ÀÌÀúÅØÀÇ Àåºñ´Â ¸¶½ºÅ©ÀÇ °áÇÔÀ» ÀÏÂï ¹ß°ßÇϱ⠶§¹®¿¡ °¡°Ý °æÀï·ÂÀ» °®Ãß´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù.
¿ÀÄ«¹Ù¾ß½Ã ¿À»ç¹« ·¹ÀÌÀúÅØ ´ëÇ¥¿¡ µû¸£¸é ÇØ´ç ÀåºñÀÇ ¼öÁÖ ±Ô¸ð´Â 40¾ï¿£(¾à 400¾ï¿ø)¿¡ À̸¥´Ù. ¿ÀÄ«¹Ù¾ß½Ã »çÀåÀº "ÀÌ Àåºñ¸¦ 6³â µ¿¾È °³¹ßÇØ¿Ô´Ù"¸ç "»ï¼ºÀüÀÚ¿Í ´ë¸¸ TSMC(¼¼°è ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê ¾÷ü) µîÀÌ ¾ó¸¶³ª »¡¸® »ý»êÀ» ´Ã¸®´À³Ä¿¡ µû¶ó ¿ÃÇØ ¿©¸§¿¡ Ãß°¡ ÆǸŵµ ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í ³»´ÙºÃ´Ù.
»ï¼ºÀº EUV ±â¼úÀ» È°¿ëÇÑ 7³ª³ë °øÁ¤À» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¸éÀûÀ» 40% ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ°í, ¼º´ÉÀÌ 20% °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, Àü·Â ¼Òºñ·® ¿ª½Ã Àý¹ÝÀ¸·Î ÁÙ¾îµç´Ù°í ÀüÇß´Ù. TSMC°¡ Á¦Á¶ÇÑ ¾ÖÇÃÀÇ 7³ª³ë¹ÌÅÍ ÇÁ·Î¼¼¼´Â ¸Ó½Å·¯´× ÀÀ¿ëºÐ¾ß¿¡ ƯȵǾî ÀÖ´Ù.
¿ÀÄ«¹Ù¾ß½Ã ´ëÇ¥´Â "°ú°Å¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä°¡ PCÀÇ Á¦Ç° Áֱ⿡ ¿ÏÀüÈ÷ Á¿ìµÆ´Ù"¸ç "½º¸¶Æ®ÆùÀÌ µîÀåÇÏ°í ÀΰøÁö´É(AI), »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT), 5¼¼´ë(5G) Åë½Å µî ¼ö¿ä¸¦ °ßÀÎÇÏ´Â ¿ä¼ÒµéÀÌ Ãß°¡µÇ°í ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÌ È¸»çÀÇ ÁÖ°¡´Â ¿ÃÇØ µé¾î 50% ÀÌ»ó ¿Ã¶úÀ¸¸ç À̳¯(12ÀÏ) Á¾°¡´Â 4330¿£À¸·Î, Áö³ÇØ 3¿ù ±â·ÏÇÑ ÃÖ°í°¡(4590¿£)¿¡ ±ÙÁ¢Çß´Ù. ȸ»çÀÇ ÁÖ½ÄÀº ÇϷ絿¾È 5.22% »ó½ÂÇØ, °°Àº ±â°£ ±â¼ú ÁÖ(2.17%)³ª ¹ÝµµÃ¼ÁÖ(2.36%)ÀÇ »ó½Â·ü¿¡ ºñÇØ Å« ÆøÀ¸·Î ¿Ã¶ú´Ù.