![]() |
Áö³ 2ÀÏ Ç츣¼ÕÀÌ ·¯½Ã¾Æ±º¿¡ Àå¾ÇµÇ¸é¼ ¼¼°è ÃÖ´ë ³×¿Â »ý»ê¾÷ü·Î ¾Ë·ÁÁø Å©¶óÀ̾ðÀÇ À§Ä¡ÇÑ ¿Àµ¥»ç Áö¿ªµµ À§ÇèÇÑ »óȲ¿¡ ³ô¿´´Ù. ·¯½Ã¾Æ°¡ ¿Àµ¥»ç¸¦ Á¡·ÉÇÏ¸é ¿ìÅ©¶óÀ̳ª°¡ ÈæÇØ·Î ÁøÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸ðµç ±æÀÌ ¸·È÷°Ô µÈ´Ù. /±×·¡ÇÈ=´º½Ã½º |
ºí¶óµð¹Ì¸£ ǪƾÀÇ ·¯½Ã¾Æ ±º´ë°¡ ¼ö¸¹Àº ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ±ºÀΰú ¹Î°£ »ç»óÀÚ¸¦ ³»¸ç ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ³²ºÎÀÇ ¿äÃæÁö Ç츣¼ÕÀ» Áö³ 2ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) Àå¾ÇÇÏ¸é¼ À̰÷¿¡¼ 145km ¶³¾îÁø ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ÃÖ´ë Ç×±¸ µµ½Ã ¿Àµ¥»çµµ dzÀüµîÈÀÇ À§±â¿¡ ³õ¿´´Ù. 'ÈæÇØÀÇ ÁøÁÖ'·Î ºÒ¸®´Â ¿Àµ¥»ç¸¦ ·¯½Ã¾Æ°¡ Á¡·ÉÇÒ °æ¿ì ÈæÇØ Àü¿ª¿¡ ´ëÇÑ Áö¹è·ÂÀ» È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÅ ÀÌ Áö¿ªÀº Àü·«Àû ¿äÃæÁö·Î ²ÅÈù´Ù.
¶Ç À̰÷Àº Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç Áß ÇϳªÀÎ Èñ±Í°¡½º(Rare Gas)¸¦ »ý»êÇÏ´Â 'Å©¶óÀ̾ð(Cryin)'À̶ó´Â ȸ»ç°¡ ÀÖ´Â °÷ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿¡ ºûÀ» ÂÉ¿© ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ³ë±¤°øÁ¤°ú ÆÐÅÏ ¿Ü¿¡ ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ» ±ï¾Æ³»´Â ½Ä°¢ °øÁ¤¿¡ °¢°¢ »ç¿ëµÇ´Â ³×¿Â(Ne)°ú Å©¸³Åæ(Kr) °¡½º´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù.
2014³â ·¯½Ã¾Æ°¡ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª Å©¸§(Å©¸²) ¹Ýµµ¸¦ ħ°øÇÒ ´ç½Ã ³×¿Â °¡½º °¡°ÝÀÌ 600% ÀÌ»ó ±ÞµîÇÑ °Íµµ ±× Ư¼ö¼º ¶§¹®ÀÌ´Ù. Àü¼¼°è ³×¿ÂÀÇ 70% ÀÌ»óÀ» ÀÌ Áö¿ª¿¡¼ »ý»êÇØ¿Â ¸¸Å ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡´Â Áß¿äÇÑ Áö¿ªÀÌ´Ù.
2014³âÀÇ ÇнÀÈ¿°ú·Î ¾÷°è¿¡¼± °ø±Þ Áß´Ü ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÒ °Í¿¡ ´ëºñÇÑ ÄÁƾÀü½ÃÇ÷£(ºñ»ó°èȹ)À» ¸¶·ÃÇØ¿Ô´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ À̹ø ÀüÀï ¹ß¹ß ÈÄ »ý»ê¿¡´Â Å« À§±â°¡ ¾øÀ» °ÍÀ̶ó¸ç Ä§ÂøÇÑ ¸ð½ÀÀ» º¸ÀÌ´Â ÀÌÀ¯´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ±¹Á¦Á¤¼¼ÀÇ ±Þ°ÝÇÑ º¯È·Î ´Ü±âÀûÀÎ ¼ö±Þ ºÒ±ÕÇüÀÌ °ø±Þ¸ÁÀÇ À§±â¸¦ ºÒ·¯ ¿Ã ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¿ì·Áµµ ¹Ì±¹°ú ÀϺ» ¿Ü½ÅµéÀ» Áß½ÉÀ¸·Î Á¦±âµÇ°í ÀÖ´Ù. Äڷγª19°¡ ¸¸µé¾î³½ ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹ÝµµÃ¼ ºÎǰÀÇ °ø±Þ¸Á ºØ±«ÀÇ ±â¾ï ¶§¹®ÀÌ´Ù.
![]() |
(¼¿ï=´º½º1) Á¶ÅÂÇü ±âÀÚ = 4ÀÏ ¿ÀÈÄ ¼¿ï °³²±¸ ÄÚ¿¢½º¿¡¼ ¿¸° Çѱ¹±¹Á¦»çÀεðÀÚÀÎÀü(KOSIGN 2021)À» ãÀº °ü¶÷°´µéÀÌ ³×¿ÂÁ¶¸íÀÎ ³×¿Â»çÀÎÀ¸·Î ¾²¿©Áø ´Ù¾çÇÑ ¿Á¿Ü±¤°í¹°À» »ìÆìº¸°í ÀÖ´Ù. 2021.11.4/´º½º1 |
ÀÚµ¿Â÷ ¼ö¿ä°¡ ¾ø¾î ºÎǰ ÁÖ¹®À» ²÷¾ú´Ù°¡ ÀçÁÖ¹®ÇÏ¸é ±Ý¹æ ³ª¿Ã ÁÙ ¾Ë¾Ò´ø ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹ÝµµÃ¼´Â ½Ã°£Áö¿¬ Çö»óÀ¸·Î »ý»ê°ø°£À» ITÁ¦Ç°¿¡ »©±â¸é¼ ¼ö±ÞºÒ±ÕÇüÀÌ ¹ß»ýÇß´Ù. ÀÌÈÄ ¹°·®ºÎÁ·À» °ÆÁ¤ÇÑ ¼±±¸¸Å±îÁö °ãÃÄ °ø±Þ ºÎÁ·Àº ½ÉȵƴÙ. ÀÌ·± ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¾Ç¼øÈ¯Àº ÇâÈÄ ¸î³â°£ Áö¼ÓµÉ °ÍÀ̶ó´Â Àü¸ÁÀÌ Áö¹èÀûÀÌ´Ù.
Èñ±Í°¡½ºÀÇ °æ¿ìµµ ´çÀå ±âÁ¸¿¡ È®º¸ÇÑ Àç°í¹°·®À¸·Î ¾î·Á¿òÀÌ ¾øÀ» °ÍÀ¸·Î º¸À̰í, ´ëü °¡½º µîÀ¸·Î »ý»ê¿¡ ÀÓÇÏ´Â ±â¾÷µé·Î ÀÎÇØ ÇâÈÄ ¼ö°³¿ù°£ °ø±Þ Â÷ÁúÀº ¾øÀ» °ÍÀ̶ó´Â ºÐ¼®ÀÌ ¾÷°è¿¡´Â ¸¹´Ù.
±×·¯³ª ·¯½Ã¾ÆÀÇ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ħ°øÀÌ Àå±â鵃 °æ¿ì »ý»êÁß´Ü¿¡ µû¸¥ °ø±ÞºÎÁ·°ú ´ëü °¡½º¸¦ È®º¸Çϱâ À§ÇÑ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°í ±× °úÁ¤¿¡¼ ÀÚµ¿Â÷¿ë ¹ÝµµÃ¼ ºÎÁ·Çö»ó¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ¾ú´ø ¼ö±ÞºÒ±ÕÇüÀÌ ¿ì·ÁµÈ´Ù´Â ÁöÀûµµ ÀÖ´Ù. Áö³ªÄ£ ¿ì·Á´Â ÇÊ¿ä ¾øÁö¸¸ ¹Ì·¡¸¦ ¾Ë ¼ö ¾ø´Â º¯¼ö¿¡ ´ëÀÀÇÒ Çʿ䰡 ÀÖ´Ù´Â ¾ê±â´Ù.
³×¿Â µî Èñ±Í°¡½º(Rare Gas)´Â ¹«¾ùÀ̰í, ¿ìÅ©¶óÀ̳ª´Â ¿Ö ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ °æÀï·ÂÀÌ ³ô°í, ·¯½Ã¾Æ ÀüÀïÀ¸·Î ÀÎÇØ Èñ±Í°¡½ºÀÇ ºÎÁ·ÀÌ Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡´Â ¾î¶»°Ô ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â Áö¸¦ ½Éµµ ÀÖ°Ô ÆÄºÃ´Ù.
ÈæÇØÀÇ ÁøÁÖ ¿Àµ¥»ç Å©¶óÀ̾ðÀÇ '¿ïÀ½'
![]() |
¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ µé¾î°¡´Â ³×¿Â°ú Çï·ý, Á¦³í°ú Å©¸³Åæ µî Æ¯¼ö°¡½º¸¦ »ý»êÇÏ´Â ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ±â¾÷ Å©¶óÀ̾𠿣Áö´Ï¾î¸µ»ç Á÷¿øµé ¸ð½À. ·¯½Ã¾Æ ±º´ë´Â Áö³´Þ 24ÀÏ Å©¸§(Å©¸²) ¹Ýµµ ÂÊ¿¡¼µµ ħ°øÀ» ÇØ¿Í À̵éÀÌ ÀÖ´Â ¼ºÎ ¿Àµ¥»ç Áö¿ªÀÌ Ç³ÀüµîÈÀÇ À§±â¿¡ ³ô¿´´Ù. /»çÁøÁ¦°ø=Å©¶óÀ̾𠿣Áö´Ï¾î¸µ (Cryoin Engineering)ȨÆäÀÌÁö |
·¯½Ã¾Æ°¡ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¸¦ ¹«·ÂÀ¸·Î ħ°øÇÑ Áö 10Àϰ¸¦ ¸ÂÀº 5ÀÏ ·¯½Ã¾Æ ħ·«±ºÀº ¼ºÎ ¿Àµ¥»ç ¾Õ±îÁö Áø±ºÇß´Ù.
¿ìÅ©¶óÀ̳ª ¿Àµ¥»çÁÖ ¿Àµ¥»ç ¹ÌÆ®³ª ±¤Àå(Mytna square) Àαٿ¡´Â ÇöÀç ·¯½Ã¾ÆÀÇ ÀÜȤÇÑ °ø°Ý¿¡ ½ÅÀ½ÇÏ´Â ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ±¹¹ÎµéÀÇ ¿ïÀ½(Crying)À» ¿¬»óÄÉ ÇÏ´Â 'Å©¶óÀ̾𠿣Áö´Ï¾î¸µ'(Cryoin Engineering)À̶ó´Â ȸ»ç°¡ ÀÖ´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â ¹ÝµµÃ¼¿¡ ÇÙ½ÉÀûÀ¸·Î µé¾î°¡´Â Èñ±Í°¡½ºÀÎ ³×¿Â(Ne)°ú Á¦¿Â(Xe), Å©¸³Åæ(Kr), Çï·ý(He) µîÀ» »ý»êÇÏ´Â ¿ìÅ©¶óÀ̳ªÀÇ °¼Ò±â¾÷ÀÌ´Ù.
»ç½Ç ¿ïÀ½¼Ò¸®(Crying)¿Í´Â °ü·ÃÀÌ ¾ø´Â ±ØÀú¿Â ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ Èñ±Í°¡½º »ý»ê¾÷ü·Î Å©¶óÀ̾îÁ¨(Cryogen: ±ØÀú¿Âü)°ú 'in'À» °áÇÕÇØ Cryoin(Å©¶óÀ̾ð)À̶ó´Â À̸§À¸·Î ÇöÀç 140¸í °¡·®ÀÇ Á÷¿øÀÌ ÀÏÇϰí ÀÖ´Â 25³âµÈ ȸ»ç´Ù. °ø±â¸¦ ¿µÇÏ 240~260¡É(µµ¾¾) ÀÌÇÏ·Î ³Ã°¢½ÃÄÑ ¾×Ȱø±â¸¦ ¸¸µé°í ¿©±â¼ ´Ù¾çÇÑ °¡½º¸¦ »ý»êÇÑ´Ù.
2020³â ¿ì¸®³ª¶ó°¡ ¼öÀÔÇÑ Àüü ³×¿ÂÀÇ 53% °¡·®À» ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ ¼öÀÔÇÒ ¶§ ÀÌ È¸»ç°¡ ´ëºÎºÐ ¹°·®À» °ø±ÞÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. Áö³ÇØ¿£ ³×¿Â ¼öÀÔ 1À§±¹ÀÌ Áß±¹À¸·Î ¹Ù²î¾úÁö¸¸ ¿©ÀüÈ÷ ±¹³» »ç¿ë ³×¿Â ¼öÀÔÀÇ 23%´Â ¿ìÅ©¶óÀ̳ª°¡ ¸Ã°í ÀÖ´Ù.
¿Àµ¥»ç Áö¿ªÀÌ ³×¿Â »ý»ê Áß½ÉÁö¿ªÀ¸·Î ¼ºÀåÇÑ ¹è°æÀº ±¸¼Ò·Ã ´ç½Ã ¼À¯·´À¸·ÎºÎÅÍÀÇ ¹Ì»çÀÏ °ø°ÝÀ» ¹æ¾îÇϰڴٴ ¸ñÀûÀ¸·Î ÀÌ Áö¿ª¿¡¼ ·¹ÀÌÀú ¹«±â¸¦ ¿¬±¸ °³¹ßÇÑ °ÍÀ̶ó´Â ¼³ÀÌ Áö¹èÀûÀÌ´Ù.
¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ »ý»êµÈ ³×¿ÂÀÇ ´ëºÎºÐÀº ¿Àµ¥»ç¿¡¼ Ãâ¹ßÇØ ÈæÇØ¸¦ ÅëÇØ Àü¼¼°è·Î Àü´ÞµÇ°í ÀÖ´Ù. ´Ù¸¸ ½ÇÁ¦ ¹Ì»çÀÏ ¹æ¾î¿ë ·¹ÀÌÀú ¹«±â´Â Å©¶óÀ̾ðÀÌ »ý»êÇÏ´Â Çï·ý ³×¿Â È¥ÇÕ°¡½º¸¦ ¼Ò½º·Î ÇÑ ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú°¡ ¾Æ´Ñ ´õ Ãâ·ÂÀÌ °ÇÑ ÀÌ»êÈź¼Ò(CO2) ÆÞ½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ CO2 ·¹ÀÌÀú°¡ ÁÖ·Î ÀÌ¿ëµÈ´Ù.
Å©¶óÀ̾ðÀº ·¯½Ã¾Æ ö° ȸ»çµé·ÎºÎÅÍ »çµéÀÎ ¿øÀ¯°¡½º(Crude Gas)¸¦ ¿ø·á·Î ÇØ ±¸¼Ò·Ã ½ÃÀýºÎÅÍ À̾î¿Â ±ØÀú¿Â °ø±âºÐ¸®±â¼úÀ» Ȱ¿ëÇØ ³×¿Â »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Á¦³í, Å©¸³Åæ, Çï·ý µîÀ» »ý»êÇϰí ÀÖ´Ù.
¹Ì ¿ÍÀ̾îµå(The Wired)¿¡ µû¸£¸é Áö³´Þ 24ÀÏ ·¯½Ã¾ÆÀÇ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ħ°ø ´ç½Ã Å©¸§(·¯½Ã¾Æ½Ä Ç¥±â Å©¸²)¹Ýµµ·ÎºÎÅÍÀÇ ¹Ì»çÀÏ °ø°Ý¿¡ Å©¶óÀ̾ðÀº ³×¿Â °¡½º µîÀÇ »ý»êÀ» ÀϽà Áß´ÜÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù. ÇöÀç ÀÌ È¸»çÀÇ È¨ÆäÀÌÁö¿Í ÆäÀ̽ººÏ, Æ®À§ÅÍ µîÀÇ ¸ðµç Ȱµ¿ÀÌ ÁߴܵŠÀÖ´Â »óÅ´Ù. ·¯½Ã¾Æ±ºÀÇ °ø°Ý ¹üÀ§°¡ ³Ð¾îÁö¸é¼ ¿Àµ¥»çÀÇ ÇÔ¶ôµµ ¸ÓÁö ¾Ê¾Ò´Ù´Â Àü¸ÁÀÌ ³ª¿Â´Ù.
°ø±â¿¡¼ ÃßÃâÇÏ´Â ³×¿Â...Á¦Ã¶ °øÁ¤ÀÇ ºÒ¼øÁú¼Ò(Crude Gas) Ȱ¿ë
![]() |
¿ìÅ©¶óÀ̳ª Å©¶óÀ̾ðÀÌ »ý»êÇϴ Ư¼ö°¡½º ¸ñ·Ï, ³×¿Â°ú Çï·ý, Á¦³í, Å©¸³Åæ µîÀÌ Ç¥½ÃµÅ ÀÖ´Ù./»çÁøÁ¦°ø=Å©¶óÀ̾ð(Cryoin Engineering) ȨÆäÀÌÁö ĸÃÄ. |
Å©¶óÀ̾ðÀÌ »ý»êÇÏ´Â Èñ±Í°¡½º´Â ·¯½Ã¾Æ ö°È¸»çµéÀÇ Á¦Ã¶¼Ò¿¡¼ ºÐ¸®ÇÑ °¡½º¸¦ Á¤Á¦ÇÏ´Â °ÍÀÌÁö¸¸ ±× »Ñ¸®´Â Áö±¸ Àüü¿¡ °í·ç ÆÛÁ® ÀÖ´Â °ø±â´Ù.
°ø±â Áß¿£ Áú¼Ò ºÐÀÚ(N2: ÀÌÇÏ °ø±â Áß ÇÔÀ¯ºñÁß 78.084%)¿Í »ê¼Ò ºÐÀÚ(O2: 20.946%)°¡ ´ëºÎºÐ(¾à 99%)ÀÌ´Ù. ¾Æ¸£°ï(Ar: 0.9340%), ÀÌ»êÈź¼Ò(CO2: 0.0407%), ³×¿Â(Ne: 0.001818%), Çï·ý(He: 0.000524%), ¸Þź(CH4: 0.00018%), Å©¸³Åæ(Kr: 0.000114%), ¼ö¼Ò ºÐÀÚ(H2: 0.000055%), Á¦³í(0.0000087%)Àº ±Ø¹Ì·®ÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù. ÀÌ °¡¿îµ¥ ºÒȰ¼º °¡½ºÀÎ ¾Æ¸£°ï, ³×¿Â, Çï·ý, Å©¸³Åæ, Á¦³í µîÀ» Èñ±Í°¡½º¶ó°í ºÎ¸¥´Ù.
ÀÌ Èñ±Í°¡½ºµéÀº ö°¾÷üµéÀÌ Á¦·Ã °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¼ø¼ö »ê¼Ò¿Í ¼ø¼ö Áú¼Ò¸¦ °ø±â Áß¿¡¼ »Ì¾Æ³½ ÈÄ ³²´Â ºÒ¼øÁú¼Ò(Crude Gas)¿¡¼ ÃßÃâÇÑ´Ù.
ö°¾÷üµéÀº Á¦Ã¶¼Ò ¿ë±¤·ÎÀÇ ¿Âµµ¸¦ ÃÖ´ë 2300¡É±îÁö ³ôÀ̱â À§ÇØ ¼ø¼ö »ê¼Ò¸¦ »ç¿ëÇϰí, 1.5~2°³¿ù¸¶´Ù Çѹø¾¿ ¿ë±¤·Î ³» Á¤ºñ¸¦ À§ÇØ ³»ºÎ¿¡ ¿Ç³À» ³Ö´Â °ÍÀ» Àá½Ã ¸ØÃß´Â ÈÞdz½Ã ¿ë±¤·Î ³»ºÎ ±â¾ÐÀÌ ³·¾ÆÁöÁö ¾Êµµ·Ï Áú¼Ò·Î ä¿î´Ù. À̸¦ À§ÇÑ ¼ø¼ö»ê¼Ò¿Í ¼ø¼öÁú¼Ò¸¦ ±ØÀú¿Â °ø±âºÐ¸®ÀåÄ¡(ASU: Air Separation Unit)¸¦ ÅëÇØ ÃßÃâÇÑ´Ù.
![]() |
¿ë±¤·Î ³»ºÎ ¸ð½À °³³äµµ. À§ ±×¸²ÀÇ 3¹ø ´Ü°è¿¡¼ ¿Ç³±¸¿¡ 1200¡ÉÀÇ ¹Ù¶÷À» ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ³ÖÀ¸¸é¼ ¿ë±¤·Î ³»ÀÇ ¿Âµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇØ ¼ø¼öÇÑ »ê¼Ò¸¦ ÅõÀÔÇØ ÃÖ´ë 2300¡É±îÁö ¿Âµµ¸¦ ³ôÀδÙ./»çÁøÁ¦°ø=Æ÷½ºÄÚ |
°ø±â Áß¿¡¼ »ê¼Ò¿Í Áú¼Ò¸¦ ÃßÃâÇÏ´Â ¹æ¹ýÀº °ø±â¸¦ °í¾Ð, Àú¿ÂÀ¸·Î ¾×ȽÃŰ¸é¼ ÁøÇàµÈ´Ù. ÀÓ°è±â¾ÐÀÎ 49.7±â¾Ð¿¡¼ °ø±â¸¦ ±Þ³ÃÇØ -182.5¡É¿¡¼ ¾×È »ê¼Ò¸¦, -185.8¡ÆC¿¡¼ ¾×È ¾Æ¸£°ïÀ», -195.8¡É¿¡¼ ¾×ÈÁú¼Ò¸¦ »Ì¾Æ³»´Â ½ÄÀÌ´Ù. ºñµîÁ¡(²ú´ÂÁ¡)ÀÇ Â÷À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ASUÀÇ ÇÏÃþºÎ¿¡´Â ¾×È»ê¼Ò°¡, »óÃþºÎ¿¡´Â ¾×È Áú¼Ò°¡ ¸ðÀÌ´Â ÇüÅ´Ù. ³×¿Â°ú Çï·ýÀÇ »ý»ê¹æ½Äµµ ºñµîÁ¡ Â÷À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °ÍÀº °°´Ù.
»ê¼ÒºÐ¸® °øÁ¤ °úÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¼ø¼ö»ê¼Ò¿Í ¼ø¼öÁú¼Ò¸¦ ÃßÃâÇÏ°í ³²Àº ³ª¸ÓÁö °ø±â Áß¿¡ ¾×ȵÇÁö ¾ÊÀº ¿øÀ¯°¡½º(Crude gas)°¡ ³²´Â´Ù. ¾÷°è¿¡¼ ÅëĪ ºÒ¼øÁú¼Ò¶ó°í ºÎ¸£´Â ÀÌ °¡½º ³»¿¡´Â ²ú´Â Á¡ÀÌ ³·Àº ³×¿Â(ºñµîÁ¡ -246.046¡ÆC)°ú Çï·ý(-268.9¡ÆC)ÀÌ µé¾î ÀÖ´Ù.
1Â÷ Á¤Á¦µÈ ÀÌ ºÒ¼øÁú¼Ò ±âü ³»¿¡´Â 45~50% ºñÁßÀÇ ³×¿Â°ú 12~14% Á¤µµÀÇ Çï·ýÀÌ µé¾î ÀÖ´Ù. Å©¶óÀ̾ðÀ̳ª TEMC(±¹³» ³×¿Â »ý»ê¾÷ü) µî Èñ±Í°¡½º »ý»ê¾÷üµéÀº ÀÌ °¡½º¸¦ ö°¾÷üµé·ÎºÎÅÍ ¹Þ¾Æ¼ ½Ä½º³ªÀÎ(6N: 99.9999%) ¼øµµÀÇ ³×¿Â µîÀ» ÃßÃâÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ¶Ç ´Ù¸¥ Èñ±Í°¡½ºÀÎ Á¦³í(ºñµîÁ¡ -108.099¡ÆC)°ú Å©¸³Åæ(-153.4¡ÆC)Àº »ê¼Òº¸´Ù ²ú´Â Á¡ÀÌ ³ô¾Æ °í¿Â°øÁ¤°ú ÃÊÀú¿Â °øÁ¤À» ¹Àº Á» ´õ º¹ÀâÇÑ ÃßÃâ °úÁ¤À» °ÅÄ£´Ù.
³×¿Â Á¦³í Å©¸³Åæ °¡½º´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ¾î¶»°Ô »ç¿ëµÇ³ª?
![]() |
³×¿ÂÀÌ µé¾î°¡´Â ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ³×´ú¶õµå ASMLÀÇ ½ÉÀڿܼ±(DUV) ÀåºñÀÎ 'Æ®À©½ºÄµ NXT: 2050i'/»çÁøÁ¦°ø=ASML ȨÆäÀÌÁö. |
Ư¼ö°¡½º ¾÷°è¿¡¼Á¶Â÷ ÇöÀç Àü¼¼°è ³×¿Â µî Èñ±Í°¡½º »ý»ê·® µîÀÇ Åë°è°¡ Á¤È®È÷ ³ª¿ÀÁö ¾Ê´Â´Ù°í ÇÑ´Ù. ´ë·« Àü¼¼°è ³×¿ÂÀÇ 70%°¡ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ »ý»êµÈ´Ù´Â Á¤µµ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ·¹ÀÌÀú ±¤¿ø¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Å©¸³ÅæÀÇ 80% °¡·®Àº ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿Í ·¯½Ã¾Æ¿¡¼ »ý»êµÇ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù.
À̹ø ·¯½Ã¾ÆÀÇ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª ħ°øÀÌ ¸¹Àº ÀÎ¸í »ì»óÀÇ ¹®Á¦µµ ÀÖÁö¸¸, Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ Å« ¾Ç¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â °ÍÀ̶ó´Â ¿ì·Áµµ À̰°Àº Èñ±Í°¡½ºÀÇ ·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡ ´ëÇÑ ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ô±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼´Â ºûÀÇ ¿¹¼úÀ̶ó°í ÇÒ Á¤µµ·Î ·¹ÀÌÀú µî ±¤¿øÀ» Ȱ¿ëÇÏ´Â °øÁ¤ÀÌ ¸¹´Ù.
ÇöÀç 7³ª³ë ÀÌÇÏ ÃÊÁ¤¹Ð ¹Ì¼¼ EUV(±ØÀڿܼ±) °øÁ¤¿¡¼´Â EUV Àåºñ ³» Áø°ø ¼Ó ¾×ü ÁÖ¼®(Sn)¿¡ ÀÌ»êÈź¼Ò ÆÞ½º ·¹ÀÌÀú¸¦ 1ÃÊ´ç 5¸¸¹ø¾¿ ½÷ 13.5nmÀÇ ºû(EUV)À» ¸¸µç´Ù. ÀÌ ¶§ ºûÀÇ ¼¼±â¸¦ °ÇÏ°Ô ¸¸µé¾îÁÖ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â °ÍÀÌ Ãâ·ÂÀÌ ¼¾ ÀÌ»êÈź¼Ò ·¹ÀÌÀú´Ù.(CO2 ·¹ÀÌÀú´Â Ãâ·ÂÀ» ³ô¿© ¹Ì»çÀÏ ¹æ¾î¿ë ·¹ÀÌÀú ¹«±â¿¡µµ »ç¿ëµÈ´Ù.)
»ï¼ºÀüÀÚ (68,800¿ø ¡å100 -0.15%)³ª SKÇÏÀ̴нº (117,300¿ø ¡ã800 +0.69%)°¡ ¿©ÀüÈ÷ »ý»ê°øÁ¤¿¡¼ 90% ÀÌ»óÀ» »ç¿ëÇÏ´Â 10³ª³ë´ë °øÁ¤ÀÇ DUV(½ÉÀڿܼ±)¿¡´Â ÀÌ»êÈź¼Ò ·¹ÀÌÀú ´ë½Å ³×¿Â°ú Çï·ýÀ» ¼¯Àº ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú·Î ½÷ ±¤¿ø(ArF ºû)ÀÇ ¼¼±â¸¦ ³ôÀδÙ.
¿©±â¿¡ ¾²ÀÌ´Â ¿¢½Ã¸Ó·¹ÀÌÀú´Â ¿ì¸®°¡ ÀÏ»ó »ýȰ ¼Ó¿¡¼µµ ÀÚÁÖ Á¢Çϴµ¥ ·¹ÀÌÀú ÇÁ¸°Åͳª ÆíÀÇÁ¡ µî¿¡¼ ¹°°Ç °ªÀ» °è»êÇÒ ¶§ Á¦Ç° Á¤º¸¸¦ Àд ¹ÙÄÚµå ¸®´õ±â, ÇÁ¸®Á¨Å×À̼ÇÀ» ÇÒ ¶§ ¾²´Â ·¹ÀÌÀú Æ÷ÀÎÅÍ¿¡ µé¾î°¡°í, ÇǺÎÄ¡·á³ª °¢¸·À» ±ð´Â ¶ó½Ä ¼ö¼ú µî¿¡ »ç¿ëµÇ±âµµ ÇÑ´Ù.
Å©¸³Åæ °¡½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ¸ÞÅ» °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇϴµ¥ ÁÖ·Î ÅÖ½ºÅÏ CVD(ÈÇбâ»óÁõÂø) °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç, Á¦³í(Å©¼¼Åæ)Àº ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÑ ÈÄ ºÒÇÊ¿äÇÑ ºÎºÐÀ» ±ð¾Æ³»´Â ¿¡Äª °¡½º·Î ¾²ÀδÙ. 128´Ü V³½µå µî ÀûÃþ½Ã ±¸¸ÛÀ» ¶ÕÀ» ¶§µµ »ç¿ëÇÏ¸ç ´Ù¸¥ ¿ëµµ·Î´Â ÀÇ·á¿ë ¸¶ÃëÁ¦·Îµµ »ç¿ëµÇ´Â Èñ±Í°¡½º´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ²À ÀÖ¾î¾ß Çϴ Ư¼ö °¡½ºÀ̱â´Â ÇÏÁö¸¸, ÀϺΠÈñ±Í°¡½º°¡ ¾ø´Ù°í ÇØ¼ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» ¾Æ¿¹ ÇÏÁö ¸øÇÏ´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù. »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ ÇʼöÀûÀÎ °¡½ºÀÌÁö¸¸, Àý´ëÀûÀÎ °ÍÀº ¾Æ´Ï¶ó´Â ¾ê±â´Ù.
ÀÌ °ü°èÀÚ´Â "2014³â ·¯½Ã¾ÆÀÇ Å©¸§(Å©¸²)¹Ýµµ º´ÇÕ ¶§ ±ÞµîÇÑ ³×¿Â °¡°ÝÀ» °æÇèÇÑ ÈÄ ³×¿Â, Á¦³í, Å©¸³Åæ, Çï·ý µî ·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ª·ÎºÎÅÍ ¿À´Â 6´ë Èñ±Í °¡½º¿¡ ´ëÇÑ Áغñ¸¦ ÇØ¿Ô´Ù"¸ç "À̹ø ÀüÀïÀÇ ¿µÇâÀÌ ¾ÆÁÖ ¾ø´Ù°í ÇÒ ¼ö ¾øÁö¸¸, ±×·¸´Ù°í ¿µÇâÀÌ ¾ÆÁÖ ¸¹´Ù´Â °Íµµ ¾Æ´Ñ ±×·± »óȲÀÌ´Ù"¶ó°í ¸»Çß´Ù.
Çѱ¹ Èñ±Í°¡½º Áغñ ¾î¶»°Ô µÇ³ª
![]() |
Çѱ¹¹«¿ªÇùȸ¿¡ µû¸£¸é ³×¿Â ¼öÀÔÀÇ °æ¿ì Áö³ÇØ ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ ¼öÀÔÇÑ ºñÁßÀÌ 23%·Î ÁÙ¾îµé¾ú´Âµ¥ ºñÇØ Áß±¹À¸·ÎºÎÅÍÀÇ ¼öÀÔÀÌ 67% Á¤µµ·Î ´Ã¾î ¿ì¸®³ª¶óÀÇ Áß±¹ ³×¿Â ÀÇÁ¸µµ°¡ ½Éȵǰí ÀÖ´Ù. ³×¿Â ¼öÀÔÀÇ ÁÖµµ±ÇÀÌ ·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ Áß±¹À¸·Î ³Ñ¾î°¬´Ù´Â ¾ê±â´Ù. ¹®Á¦´Â Áß±¹ÀÌ Èñ±Í°¡½º¸¦ ¹«±âÈÇÒ °æ¿ì´Ù.
¹Ì±¹°ú Áß±¹ÀÌ ¹«¿ªºÐÀïÀ» ¹úÀÌ¸é¼ ´ëÁß±¹ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇÑ ¹Ì±¹ÀÇ Á¶Ä¡¿¡ »óÀÀÇÏ´Â Á¶Ä¡·Î½á Áß±¹ÀÌ ³×¿Â µî Èñ±Í°¡½ºÀÇ ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇÒ °æ¿ì Ư¼ö°¡½º ´ë¶õÀ» ¿ì·ÁÇÏ´Â ¸ñ¼Ò¸®µµ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ ¹Ì±¹ÀÌ Á¶¸í µî Àü±â¿ëǰ°ú ¹ÝµµÃ¼¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ³×¿ÂÀÇ 90%¸¦ ·¯½Ã¾Æ¿Í ¿ìÅ©¶óÀ̳ª¿¡¼ ¼öÀÔÇϰí ÀÖ´Â »óȲ¿¡¼ À̹ø ÀüÀïÀ¸·Î ³×¿Â ¼öÀÔ ¹°·®À» µ¹¸± ¼ö ÀÖ´Â °ø±Þó°¡ Áß±¹ ¹Û¿¡ ¾ø´Â »óȲÀ̱⠵ƴÙ. ·¯½Ã¾Æ¿Í Áß±¹ ¾çÂÊ¿¡¼ Èñ±Í°¡½º °ø±ÞÀÌ Â÷´ÜµÉ °æ¿ì ¹®Á¦°¡ Å©°Ô ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ¾÷°è¿¡¼± À̰°Àº ¿ì·Á¸¦ ±â¿ì¶ó°í Æò°¡ÇÑ´Ù.
ÃÖ±Ù Æ÷½ºÄÚ¿Í ÇÔ²² ³×¿Â »ý»ê ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ ÃæºÏ º¸Àº¿¡ À§Ä¡ÇÑ Æ¼ÀÌ¿¥¾¾(TEMC)ÀÇ À¯¿ø¾ç ´ëÇ¥´Â "³×¿Â °¡½º ÀÚ¿øÀÌ ¹«±âȵǴ µîÀÇ ¾ê±â´Â Áö³ªÄ£ ¿ì·Á·Î ¼Ò¼³ °°Àº ¾ê±â"¶ó°í Àß¶ó ¸»Çß´Ù.
À¯ ´ëÇ¥´Â "Áß±¹ÀÌ ³×¿Â ¼öÃâÀ» Á¦ÇÑÇϱ⵵ Èûµé »Ó´õ¶ó ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ ³×¿ÂÀ» ´ú »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤ÀÌ ÀÖ°í, ¶Ç ´Ù¸¥ °¡½º¸¦ ´ëüÀç·Î »ç¿ëÇÏ´Â µîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¹æ¹ýµµ ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
¶Ç ´Ù¸¥ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â ¶Ç Èñ±Í°¡½º¿Í ÈñÅä·ù´Â ±× ¾çÀÌ Áö±¸¿¡ Àû´Ù´Â Ãø¸é¿¡¼´Â °°Áö¸¸ 'ÀÚ¿øÀÇ ¹«±âÈ'¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â³Ä´Â Ãø¸é¿¡¼´Â Â÷À̰¡ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
¹é±Ý, ÆÈ¶óµã, À̸®µã, ¸Á°£, ÄÚ¹ßÆ®, ´ÏÄÌ ÅÖ½ºÅÙ, ¸®Æ¬, ºØ¼Ò, ¿ì¶ó´½ µî »ê¾÷¿¡ ÇÙ½ÉÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ÈñÅä·ù´Â ƯÁ¤ ±¹°¡ÀÇ ¶¥¿¡ ¹¯Çô ÀÖ°í, ±× ¾çÀÌ Á¦ÇѵŠÀÖ¾î ÇØ´ç±¹°¡¿¡¼ ¼öÃâÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é °ø±Þ¹ÞÀ» ¼ö ¾ø¾î ÀÚ¿øÀÇ ¹«±âȰ¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÇÏÁö¸¸ Èñ±Í°¡½º´Â Áö±¸ ¾îµð¿¡³ª Á¸ÀçÇÏ´Â °ø±â°¡ ¿ø·á¿©¼ °æÁ¦¼º°ú´Â º°°³·Î »ý»ê½Ã¼³¸¸ °®Ãß¸é ¾î´À ±¹°¡¿¡¼³ª »ÌÀ» ¼ö ÀÖ¾î ÀÚ¿øÀÇ ¹«±âȰ¡ Èûµé´Ù.
ÀÏ·Ê·Î ÈñÅä·ù´Â 37%°¡ Áß±¹ÀÇ ³»¸ù°ñ Áö¿ª¿¡ ºÐÆ÷µÅ ÀÖ¾î Áß±¹ÀÌ À̸¦ ¹«±âÈÇÒ °æ¿ì ´Ù¸¥ ±¹°¡°¡ »ó´çÇÑ ¾î·Á¿òÀ» °ÞÁö¸¸, ³×¿ÂÀ̳ª Çï·ý µîÀº °ø±â Áß¿¡¼ ÃßÃâÇØ °æÁ¦¼º ÀÖ´Â ½Ã¼³À» ´©°¡ °®Ãß´À³ÄÀÇ ¹®Á¦¶ó´Â °ÍÀÌ´Ù.
![]() |
Ư¼ö°¡½º±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÑ TEMC °øÀå ³» ³×¿Â°¡½º ºÐ¸®ÀåÄ¡/»çÁøÁ¦°ø=TEMC ȨÆäÀÌÁö |
À̰°Àº Èñ±Í°¡½ºÀÇ ±¹»êȵµ °ø±ÞºÎÁ·¿¡ ¼ûÅëÀ» Æ·¿öÁÖ´Â ¼Ò½ÄÀÌ´Ù. Æ÷½ºÄÚ´Â Áö³ 1¿ù 12ÀÏ TEMC¿Í ¼ÕÀâ°í ³×¿Â ±â¼ú ±¹»êÈ ¹× »ý»ê¼³ºñ¸¦ °³¹ßÇϰí Á¦Ç°À» ³»³ù´Ù. À̹ø¿¡ ÁذøÇÑ ¼³ºñ´Â °í¼øµµ ³×¿Â ±âÁØ ¿¬°£ ¾à 2¸¸2000Nm3(³ë¸Ö ÀÔ¹æ¹ÌÅÍ)¸¦ »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ±¹³» ³×¿Â ¼ö¿äÀÇ 16%°¡·®À» ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Æ÷½ºÄÚ °ü°èÀÚ´Â "»ê¼Ò°øÀå¿¡¼ Å©·çµå ³×¿Â(Crude Ne)À» »ý»êÇϰí À̸¦ TEMC¿¡ °ø±ÞÇϸé ÀÌ È¸»ç°¡ À̸¦ °í¼øµµ ³×¿ÂÀ¸·Î Á¤Á¦ÇØ ÃÖÁ¾ °í°´¿¡°Ô ÆÇ¸ÅÇÑ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
¾Õ¼ ASU¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â ÇÁ¶û½º »ê¾÷°¡½º Àü¹® ¿¡¾î¸®Äûµå ¿£Áö´Ï¾î¸µ&ÄÁ½ºÆ®·°Ã÷»ç´Â ÇÏ·ç¿¡ 1700ÅæÀÇ »ê¼Ò »ý»ê ´É·ÂÀ» °¡Áø °ø±âºÐ¸®ÀåÄ¡(ASU) Á¦ÀÛÀ» À§ÇØ Æ÷½ºÄÚ¿Í °è¾àÀ» ¸Î¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ ASU´Â ÇÏ·ç¿¡ 148kgÀÇ ³×¿Â °¡½º¸¦ ÃßÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ³óÃà±â¸¦ ºÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ±Ô¸ð´Ù.
¿¡¾î¸®Äûµå´Â Æ÷½ºÄÚ¿Í 30³â°£ Æ÷Ç×°ú ±¤¾ç »ç¾÷Àå¿¡ 20°³ÀÇ ASU¸¦ °ø±ÞÇߴµ¥, ÀÌ ÀåÄ¡¿¡ ³×¿Â ¿ø·á¸¦ ³óÃàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼³ºñ¸¦ ºÙÀÌ¸é ´õ ¸¹Àº ³×¿Â Å©·çµå °¡½º¸¦ È®º¸ÇØ Èñ±Í°¡½º »ý»ê·®À» ´Ã¸± ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¾ê±â´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è °ü°èÀÚµµ "ÇöÀç ³×¿Â °¡½ºÀÇ ºñÃà·®µµ 3°³¿ù Á¤µµ·Î ¿©À¯°¡ ÀÖÀ» »Ó´õ·¯ ³×¿Â °ø±ÞÀÌ ´Þ¸± °æ¿ì ÁÙÀ̰ųª ´Ù¸¥ ´ë¾ÈÀ» ãÀ» ¼ö ÀÖ¾î °ú°Å ÀϺ»ÀÇ ºÎǰ ¼ÒÀç ¼öÃâ±ÝÁö ¶§¿Í´Â ´Þ¸® ±Þ¹ÚÇÑ »óȲÀº ¾Æ´Ï´Ù"¸ç Áö³ªÄ£ ¿ì·Á¸¦ °æ°èÇß´Ù.