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테스, 화학기상증착장치 관련 특허

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테스, 화학기상증착장치 관련 특허

머니투데이
  • 권화순 기자
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  • 2010.11.01 14:16
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테스 차트
테스 (20,200원 ▼1,500 -6.91%)는 화학기상증착장치와 관련 특허를 취득했다고 1일 공시했다.

사측은 "가스박스에 공급되는 냉각수의 공급경로를 변경, 원료가스의 온도 변화를 방지하고 냉각수 공급경로가 형성된 부품의 정비 및 교체작업이 용이하게 이루어질 수 있는 이점이 있다"고 말했다.



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