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테스, 기판처리 장비 특허취득

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  • 김지산 기자
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  • 2010.11.08 14:36
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테스 차트
테스 (29,900원 상승250 -0.8%)는 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있는 기판처리 장치에 관한 특허를 취득했다고 8일 공시했다. 회사측은 장비 제조시 특허기술을 적용해 기술과 원가경쟁력을 강화하겠다고 밝혔다.



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