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파크시스템스, 고급형 원자현미경 ‘NX20’ 출시

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  • 배병욱 기자
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  • 2013.01.03 15:43
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파크시스템스(대표 박상일)가 최근 대형 시료용 원자현미경(AFM) ‘NX20’을 출시했다고 3일 밝혔다.

업체 측에 따르면 NX20은 최고 수준의 정확도를 가진 AFM NX 제품 라인 중 고급형 모델로, 정확성이 높아 하드디스크 드라이브와 반도체 업계의 장애 분석(FA) 및 품질 보증(QA) 연구실에서 주로 사용될 전망이다.

NX20의 특징은 장시간 동안 뾰족한 탐침을 유지하는 비접촉 모드다. 이는 거칠기 측정과 결함 검사에서 최상의 정확성과 재현성을 달성하는 데다 생산성을 높이고 AFM 수명주기비용을 최소화하는 데도 중요한 역할을 한다고 업체 측은 설명했다.
파크시스템스, 고급형 원자현미경 ‘NX20’ 출시

특히 완전 비접촉 모드(True Non-Contact ModeTM)로 인해 탐침과 시료가 닿지 않아 시료에 손상을 주지 않는다. 또 고감도 Z-디텍터로 실 시료 형상(True Sample TopographyTM)이 가능해 시료 표면의 정확한 높이를 측정할 수 있다.

박상일 파크시스템스 대표는 “파크시스템스의 기술력은 산업용 나노 측정이라는 까다로운 응용 분야에서 이미 검증된 바 있다.”며 “완전 비접촉 모드는 팁 수명을 크게 연장하고 정확한 측정 결과와 이미지를 제공한다.”고 말했다.



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