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테스, 비정질 탄소막 형성방법 등 특허 2건 취득

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테스, 비정질 탄소막 형성방법 등 특허 2건 취득

머니투데이
  • 박진영 기자
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  • 2013.11.12 15:46
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테스 차트
테스 (27,300원 ▼2,450 -8.24%)는 플라즈마 건, 이에 사용되는 전극 형성방법 및 이를 포함하는 플라즈마 장치에 대한 특허를 취득했다고 12일 공시했다. 또 비정질 탄소막의 형성방법에 대한 특허권도 취득했다.




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