(¼¿ï=´º½º1) Çã°æ ±âÀÚ = ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ ÀϺ» ÃâÀåÀ» ¸¶Ä¡°í 12ÀÏ ¼¿ï °¼±¸ ±èÆ÷±¹Á¦°øÇ׿¡ µµÂøÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2019.7.12/´º½º1 |
ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ ÀϺ»À¸·Î Ãâ±¹ÇÑÁö ¿³»õ¸¸ÀÎ 12ÀÏ Àú³á ±èÆ÷±¹Á¦°øÇ׿¡ ¸ð½ÀÀ» ³ªÅ¸³Â´Ù. ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ ³ª¼± Á÷ÈÄÀÎ Áö³ 7ÀÏ ÃâÀå±æ¿¡ ¿À¸¦ ¶§¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ¹æ¹® ¼º°ú µîÀ» ¹¯´Â ±âÀÚµéÀÇ Áú¹®¿¡ ÀÔÀ» ±»°Ô ´Ù¹® ä ÀÔ±¹ÀåÀ» ºüÁ®³ª°¬´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀÇ À̹ø ÃâÀåÀº ÇöÁö ÀÏÁ¤°ú µ¿¼± µîÀÌ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ³ëÃâµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù. ±Í±¹ ½ÃÁ¡µµ Áö³ 10ÀÏ ÁøÇàµÈ ¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·É°ú Àç°è ÃѼöµé °£´ãȸ ÀÏÁ¤ ¶§¹®¿¡ ´çÃÊ 9ÀÏ·Î ¿¹»óµÆÁö¸¸, À̳¯±îÁö ´ÊÃçÁ³´Ù.
ÀϺ» ¸Åü µî¿¡ µû¸£¸é ÀÌ ºÎȸÀåÀº ÁÖ·Î ÇöÁö¿¡ ¸Ó¹°¸ç, ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ´ë»óÀ¸·Î Áö¸ñÇÑ 'Æ÷Å丮Áö½ºÆ®'¿Í '¿¡Äª°¡½º'ÀÇ Ãß°¡ ¹°·® È®º¸¿¡ ÁÖ·ÂÇß´Ù.
Æ÷Å丮Áö½ºÆ®´Â ºû¿¡ ³ëÃâµÇ¸é ÈÇÐÀû ¼ºÁúÀÌ º¯ÇÏ´Â ¹°Áú·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°úÁ¤ Áß ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ȸ·Î¸¦ ÀμâÇÏ´Â ³ë±¤(Photo) °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â °¨±¤Àç´Ù. ¿¡Äª°¡½º´Â µ¶¼ºÀÌ °Çѵ¥´Ù ºÎ½Ä¼ºÀÌ ÀÖ´Â ±âüÀÎ ºÒȼö¼Ò·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß È¸·ÎÀÇ ÆÐÅÏ´ë·Î ±ð¾Æ³»´Â ½Ä°¢(Etching)°ú ¼¼Á¤(Cleaning) ÀÛ¾÷¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
Æ÷Å丮Áö½ºÆ®ÀÇ °æ¿ì EUV(±ØÀڿܼ±) °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ÇÙ½É Àç·á·Î »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) »ç¾÷¿¡ Ä¡¸íŸ°¡ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦·Î »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ÃÊ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë(nm) Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. ÇöÀç 7³ª³ë °øÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ¾÷ü´Â ¾÷°è 1À§ÀÎ ´ë¸¸ TSMC¿Í »ï¼ºÀüÀÚ»ÓÀÌ´Ù.
ºÒȼö¼Òµµ ¸Þ¸ð¸®¿Í ºñ¸Þ¸ð¸®(ÆÄ¿îµå¸®)¸¦ °¡¸®Áö ¾Ê°í ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ Æø³Ð°Ô ¾²ÀÌ´Â Çʼö¼ÒÀç¶ó »ï¼ºÀüÀÚ ÀÔÀå¿¡¼± ¹ßµéÀÇ ºÒÀÌ ¶³¾îÁø ¼ÀÀÌ´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ ¹® ´ëÅë·É°úÀÇ °£´ãȸµµ ºÒÂüÇÏ°í, ±Í±¹ ÀÏÁ¤±îÁö ¹Ì·é ä ÀϺ»¿¡ ¸Å´Þ¸° ÀÌÀ¯´Ù.
ÀÏ´Ü ÀÌ ºÎȸÀåÀº ÇöÁö ¸Þ°¡¹ðÅ©(´ëÇüÀºÇà) °ü°èÀÚµéÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÀϺ» ³» ÁöÀεé°ú ¸¸³ª "ÇÑÀÏ °ü°èÀÚ Áö±Ýº¸´Ù ´õ ¾Ç鵃 ¼ö ÀÖ´Ù"´Â ¿ì·Á¸¦ Ç¥ÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ÁÖ°¡ Á¶´Þ·Î ¸ð»ö¿¡ ¾È°£ÈûÀ» ¾´ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ÀϺ»ÀÇ ANN(¾Æ»çÈ÷ ´º½º³×Æ®¿öÅ©)µµ "ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÀÇ Á¶´ÞÀÌ Á¤Ã¼µÉ ¿ì·Á°¡ Àֱ⠶§¹®¿¡ ´ëÀÀÃ¥À» ³íÀÇÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ"¸ç "±ÔÁ¦ÀÇ Á÷Á¢ ´ë»óÀÌ µÇ°í ÀÖ´Â ¼ÒÀç °ø±Þ¾÷ü°¡ ¾Æ´Ñ ÀϺ» ´ëÇüÀºÇà°ú ÇùÀÇÇÏ´Â ÂÊÀ¸·Î °èȹÇÏ°í ÀÖ´Ù"°í º¸µµÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
Àç°è °ü°èÀÚ´Â "ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ ÀϺ» ÃâÀå ³¡³»°í µ¹¾Æ¿Â ¸¸Å ÀϺ» ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ¹®Á¦ ÇØ°áÀ» À§ÇØ ¾î¶² ÇعýÀ» ³»³õÁö ÁÖ¸ñµÈ´Ù"¸ç "´çÀå ÃâÀå ¼º°ú¸¦ »ï¼ºÀüÀÚ (80,800¿ø ¡ã1,000 +1.25%) °æ¿µÁø°ú °øÀ¯ÇÏ¸ç ´çºÐ°£ ´ëÃ¥ ¸¶·Ã¿¡ ÁÖ·ÂÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÏ°¢¿¡¼± ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ ¹® ´ëÅë·É°úÀÇ °£´ãȸ¿¡ Âü¼®ÇÏÁö ¸øÇÑ ¸¸Å º°µµÀÇ ÀÏÁ¤À¸·Î û¿Í´ë¿Í Á¤ºÎ°£ ¼ÒÅëÇÏ´Â ÀÚ¸®¸¦ °¡Áú ¼ö ÀÖ´Ù´Â °üÃøµµ ³ª¿Â´Ù.