±èÇöÁ¾ ±¹°¡¾Èº¸½Ç Á¦2Â÷ÀåÀÌ 23ÀÏ ¿ÀÈÄ ¼¿ï Á¾·Î±¸ û¿Í´ë ÃáÃß°ü¿¡¼ Áö¼Ò¹Ì¾Æ °ü·Ã ºê¸®ÇÎÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. /´º½º1 |
23ÀÏ º¹¼öÀÇ Àç°è ¼Ò½ÄÅë¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷Á¾À» Áß½ÉÀ¸·Î ±â¾÷µéÀº Áö¼Ò¹Ì¾Æ Á¾·á Á¶Ä¡ ÈÄÆødzÀ» ³íÀÇ, ´ëÃ¥À» ¼ö¸³ÇÏ´À¶ó ºÐÁÖÇÑ ÇϷ縦 º¸³Â´Ù.
¹ÝµµÃ¼¾÷°è ÇÑ °ü°èÀÚ´Â "ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ¾î¶² Ä«µå¸¦ µé°í ³ª¿ÃÁö ¾Ë ¼ö ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ºÒÈ®½Ç¼ºÀÌ ¾î´À ¶§º¸´Ù Ä¿Áø »óȲ"À̶ó¸ç "»çÅ°¡ ¼ö½ÀµÇ±â´ÂÄ¿³ç È®´ë¡¤Àå±âÈÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾ÆÁö¸é¼ ÀϺΠ»ý»ê¶óÀÎÀÌ Â÷ÁúÀ» ºú´Â ÃÖ¾ÇÀÇ »óȲµµ ¹èÁ¦ÇÒ ¼ö ¾ø°Ô µÆ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
µð½ºÇ÷¹À̾÷°è °ü°èÀÚµµ "ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ È®´ëÇÒ °æ¿ì Áö³´Þ 1Â÷ °æÁ¦º¸º¹°ú´Â ºñ±³ÇÒ ¼ö ¾øÀ» Á¤µµÀÇ ´ëÇü¾ÇÀç°¡ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù"¸ç "»óȲÀÌ ÃÖ¾ÇÀ¸·Î Ä¡´Ý´Â´Ù¸é °¡¶àÀ̳ª ½ÇÀûÀÌ ¾È ÁÁÀº »óȲ¿¡¼ ºÎ´ãÀÌ Ä¿Áö°Ô µÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
Áö³´Þ 4ÀϺÎÅÍ ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇٽɼÒÀç 3Á¾¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ´ÜÇàÇÑ ÀÌÈÄ Çѱ¹¾÷ü·ÎÀÇ ¼öÃâ½ÅûÀ» Çã°¡ÇÑ °ÍÀº ÀÌ´Þ 7ÀÏ°ú 19ÀÏ µÎÂ÷·Ê»ÓÀÌ´Ù. 2°Ç ¸ðµÎ EUV(±ØÀڿܼ±) ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®·Î »ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV °øÁ¤¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® 9°³¿ù ¹°·®À» Ãß°¡ È®º¸ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ Æø³Ð°Ô ¾²ÀÌ´Â °í¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ °æ¿ì ¼öÃâ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ÀϺ»¾÷ü ¹°·®ÀÌ »ç½Ç»ó Àü¸é Â÷´ÜµÅ ¿ì·Á°¡ Å« »óȲÀÌ´Ù. ±¹³»¿¡¼± ÇÑ´Þ¹Ý Á¤µµ ºÐ·®ÀÇ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò Àç°í¸¦ º¸À¯ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Áö¼Ò¹Ì¾Æ Á¾·á Á¶Ä¡¸¦ ºô¹Ì·Î ¼öÃâ½É»ç¸¦ °è¼Ó Áö¿¬½Ãų °æ¿ì À̸£¸é ´ÙÀ½´Þ ¸»ºÎÅÍ »ý»ê Â÷ÁúÀÌ ºú¾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¾ê±â´Ù.
Á¤ºÎ¿Í ¾÷°è¿¡¼± 1Â÷ º¯°îÁ¡À» ¿À´Â 28ÀÏ·Î º»´Ù. ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®(Àü·«¹°ÀÚ ¼öÃâ½É»ç ¿ì´ë±¹) Á¦¿Ü Á¶Ä¡°¡ ½ÃÇàµÇ´Â 28ÀϺÎÅÍ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀÌ ´ëÆø È®´ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¿ì·Á°¡ ³ª¿Â´Ù.
ÇÑ´ëÈÆ SKÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "¿À´Â 28ÀÏ ½ÃÇàµÉ 2Â÷ Á¶Ä¡¿¡¼ ¿ì¸® »ê¾÷°è¿¡ ½ÇÁúÀûÀÎ ÇÇÇظ¦ ÁÖ±â À§ÇÑ Àü·«À» »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
Àç°è¿¡¼± Áö¼Ò¹Ì¾Æ Á¾·á Á¶Ä¡¿¡ ºÒÆíÇÑ ½É±â¸¦ µå·¯³½ ¹Ì±¹°úÀÇ °ü°è°¡ ¶Ç ´Ù¸¥ º¯¼ö·Î ÀÛ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¿ì·Áµµ ³ª¿Â´Ù. Àç°è °ü°èÀÚ´Â "¹Ì±¹°úÀÇ °ü°è¸¦ ÆÇ´ÜÇϱä À̸£Áö¸¸ ºñ°üÀûÀÎ »óȲµµ ´ëºñÇØ¾ß ÇÒ °Í °°´Ù"¸ç "µµ³Îµå Æ®·³ÇÁ ´ëÅë·ÉÀÌ Áß±¹ °ü¼¼ ¹®Á¦¸¦ Çΰè·Î ¾ÖÇðú °æÀï °ü°èÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ¾ð±ÞÇÏ°í ³ª¼± °Íµµ ÀÌ·± »óȲ°ú ¸Â¹°·Á ¾ÇÀç·Î ÀÛ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.