SKÇÏÀ̴нº ¹ÝµµÃ¼ ¿øÆÇ(¿þÀÌÆÛ) / »çÁøÁ¦°ø=SKÇÏÀ̴нº |
10ÀÏ ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®¿¡ µû¸£¸é ¸ð¸®Å¸ÈÇаø¾÷Àº Áö³ 8ÀÏ, ÀϺ»Á¤ºÎÀÇ Çã°¡¸¦ ¾ò¾î ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¾×ü)¸¦ Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇß´Ù. 6°³¿ù ¸¸ÀÇ ÀÏÀÌ´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ´Â Áö³ÇØ 7¿ùºÎÅÍ ºÒȼö¼Ò, Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å(ºÒÈ Æú¸®À̵̹å), Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® 3°¡Áö Ç°¸ñ¿¡ ´ëÇØ Çѱ¹ ¼öÃâ °ü¸®¸¦ °ÈÇØ¿Ô´Ù. ¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀº Áö³ÇØ 12¿ù24ÀÏÀÚ·Î ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¾ò¾ú´Ù. °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â ¾×ü »óÅ·Π¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
°í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â ¸ð¸®Å¸ÈÇаú ½ºÅÚ¶óÄɹÌÆÄ µî ÀϺ» Á¦Ç°ÀÌ ¼¼°è½ÃÀåÀÇ 80~90%¸¦ Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ½ºÅÚ¶óÄɹÌÆÄ´Â Áö³ÇØ °¡À», ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ Çã°¡¸¦ ¹Þ¾Æ ¾×ü °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò¸¦ Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³Áö¸¸ ´ç½Ã ȸ»ç´Â "¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¹Þ¾Ò´ÂÁö È®ÀÎÇØÁÙ ¼ö ¾ø´Ù"°í Çß´Ù.
¸ð¸®Å¸ÈÇÐÀº Çѱ¹ ½ÃÀåÀÇ 3ºÐÀÇ1À» Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ±â¾÷¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù. ¸ð¸®Å¸ ¾ß½º¿À »çÀåÀº Áö³ÇØ ´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®°úÀÇ ÃëÀç¿¡ ÀÀÇØ "(¼öÃâ °ü¸®ÀÇ °È´Â) ÀϺ» ±â¾÷ÀÇ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» Ç϶ô½Ãų °Í"À̶ó°í ¿ì·ÁÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ÀϺ» ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ ´ëÀÀÇØ ¿ì¸®³ª¶ó Á¤ºÎ ¹× ±â¾÷Àº ±¹³»¿Ü¿¡¼ ´ëüǰÀ» °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù.
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿¡ µû¸£¸é ±Û·Î¹ú ÈÇмÒÀç ±â¾÷ µàÆùÀº '±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®' »ý»ê °øÀåÀ» ±¹³»¿¡ °Ç¼³ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. Çѱ¹ Á¤ºÎ´Â °øÀå À¯Ä¡¸¦ À§ÇØ ÅõÀÚ ºÎÁö¸¦ ¿Ü±¹ÀÎÅõÀÚÁö¿ªÀ¸·Î ÁöÁ¤ÇÏ°í ÀÓ´ë·á¸¦ °¨¸éÇÏ´Â µî Àμ¾Æ¼ºê¸¦ Á¦½ÃÇß´Ù.
EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¿ª½Ã JSR, ½Å¿¡¾², µµÄì¿ÀÄ«°ø¾÷(TOK) µî ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ 90% ÀÌ»óÀ» Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
´ÏÈ¥°ÔÀÌÀÚÀ̽Ź®Àº "±â¼úÀûÀÎ ¹®Á¦µµ ÀÖ¾î Á¶±â¿¡ ´ëÆø ´ëüÇϱâ´Â ¾î·Á¿ï °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌÁö¸¸, ¸ð¸®Å¸ÈÇÐ ´ã´çÀÚ´Â '¼öÃâ·®ÀÌ ÀÌÀü ¼öÁØÀ¸·Î ȸº¹µÉÁö´Â ¿¹»óÇÒ ¼ö ¾ø´Ù'°í Çß´Ù°í º¸µµÇß´Ù.