ÀÌ¿ë¿í SK¸ÓƼ¸®¾óÁî »çÀå. /»çÁø=SK |
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 7ÀÏ ÀÌ»çȸ¸¦ ¿°í ±ÝÈ£¼®À¯ÈÇÐ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷À» ÀμöÇÏ´Â ¿µ¾÷¾ç¼öµµ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. Àμö ±Ý¾×Àº 400¾ï¿øÀÌ´Ù. SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â À̹ø ´Þ ¾È¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç »ç¾÷À» ´ã´çÇÏ´Â ÀÚȸ»ç¸¦ ¼³¸³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ºûÀÇ ³ëÃâ¿¡ ¹ÝÀÀÇØ ÈÇÐÀû ¼ºÁúÀÌ ¹Ù²î´Â °¨±¤¾×À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ Á¤¹ÐÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â '³ë±¤ °øÁ¤'¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼ 30³â ÀÌ»óÀÇ ¾÷·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ±ÝÈ£¼®À¯ÈÇÐÀº 2005³â ºÒȾƸ£°ï(ArF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ¾ç»êÇß´Ù. 3D(3Â÷¿ø) ³½µå °øÁ¤¿ë ºÒÈÅ©¸³Åæ(KrF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ¹Ý»ç¹æÁö¸·(BARC) µî ´Ù¾çÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç¿Í ºÎÀç·á °³¹ß °ø±Þ À̷µµ °®°í ÀÖ´Ù. ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °ü·Ã ÀÚü ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼ ³ôÀº °æÀï·ÂÀ» °¡Áø °ÍÀ¸·Î Æò°¡ ¹Þ´Â´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â À̹ø Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå ÁøÃâÀ» ÅëÇØ Æ¯¼ö°¡½º Áß½ÉÀÇ ºñÁî´Ï½º Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´Ù°¢ÈÇÏ°í °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ß ¿ª·®À» °È, ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ ¼ÒÀç ±â¾÷À¸·Î µµ¾àÇϱâ À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇß´Ù.
ÇâÈÄ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ½Å±Ô R&D(¿¬±¸°³¹ß) ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Ãß°¡ È®º¸ÇØ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç Æ®·»µå º¯È¿¡ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ´ëÀÀÇÒ ¹æħÀÌ´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ÇöÀç ±¹»êÈ¿¡ Âø¼öÇÑ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò °¡½º¿Í ÇÔ²² Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ±¹»êÈ¿¡µµ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
ÀÌ¿ë¿í SK¸ÓƼ¸®¾óÁî »çÀåÀº "¼ºÀå ÀáÀç·ÂÀÌ Å« Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç »ç¾÷ÀÇ °¡Ä¡¸¦ Å°¿ö ¼ÒÀç ±¹»êÈ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°À» Àû±â¿¡ ¾ç»ê °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.