- 2020.03.10 14:22
(¿µ»óÃâó : °æÀξçÇà À¯Æ©ºê KISCO ) [ ¢Ñ °æÀξçÇà À¯Æ©ºê ¹Ù·Î°¡±â] °æÀξçÇàÀÌ ÀüºÏ ÀÍ»ê ½Å°øÀåÀ» °ø°³Çß´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¿ø·á°¡ ¸¸µé¾îÁö´Â °÷ÀÌ´Ù. °æÀξçÇàÀº Áö³ 9ÀÏ À¯Æ©ºê¿Í ÀνºÅ¸±×·¥ ÀÚü °èÁ¤À» ÅëÇØ ÀÍ»ê°øÀå µ¿¿µ»óÀ» °ø°³Çß´Ù. ¿¬¸éÀû 1¸¸ 1,000Á¦°ö¹ÌÅÍ ±Ô¸ð, ÃÑ 13°³ °Ç¹°µ¿ ¿Ü°æºÎÅÍ ³»ºÎ »ý»ê½Ã¼³°ú ¿¬±¸°³¹ß½Ç ÀϺεµ ´ã°Ü ÀÖ´Ù. ÀÍ»ê°øÀåÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(Photoresist, PR)¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ÁÖ¿ä ¿øÀÚÀçÀÎ °¨±¤Á¦(PAC, Photo Active Compound)¿Í °¨±¤Á¦ÀÇ ¿øÀç·áÀÎ DNQ(Diazonaphthoquinone), ±×¸®°í ÁÖ¿ä ÀüÀÚÀç·á µîÀ» »ý»êÇϱâ À§ÇØ °Ç¸³µÆ´Ù. PAC´Â ´ÙÀÌÅäÅ°½ºÄÚ°¡, DNQ´Â °æÀξçÇàÀÌ »ý»êÇÏ´Â ±¸Á¶´Ù. ÀÍ»ê°øÀåÀ» ÁØ°øÀ» ÅëÇØ PAC¿Í DNQ »ý»ê ijÆÄ°¡ ±âÁ¸º¸´Ù µÎ ¹è °¡±îÀÌ È®´ëµÆ´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù. °æÀξçÇàÀº Äڷγª19 ¿©ÆÄ·Î ÁØ°ø½Ä Çà»ç¸¦ Ä¡¸¦ ¼ö ¾ø´Â »óȲ¿¡¼ µ¿¿µ»óÀ» ÅëÇØ °í°´»ç¿Í ÅõÀÚÀÚ¿¡°Ô ½Å°øÀåÀ» ¼Ò°³ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ´ëÈ£ ¸Ó´ÏÅõµ¥À̹æ¼Û MTN ±âÀÚ
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