일본산만 썼던 반도체용 '블랭크마스크', 국내 양산한다

8일 서울 삼성전자 서초사옥 홍보관 딜라이트에 반도체 웨이퍼가 전시돼 있다.2020.1.8/사진=뉴스1

일본 의존도가 90%가 넘는 반도체 핵심소재 '블랭크마스크' 하이엔드급 제품의 하반기 국내 양산이 시작된다. 일본 수출규제에 맞선 기업의 국산화 노력과 정부의 소재·부품·장비(소부장) 산업 지원이 함께 이룬 결실이다.
SKC, 90% 日 의존 블랭크마스크 국산화 박차

정승일 산업통상자원부 차관이 15일 오후 반도체 공정에 필수적으로 사용되는 포토레지스트의 국내생산 현황점검을 위해 경기도 화성시에 위치한 반도체·디스플레이용 소재 전문기업인 동진세미켐을 방문해 현장을 둘러보고 있다. (사진=산업통상자원부 제공) 2020.01.15./사진=뉴시스

정승일 산업통상자원부 차관은 20일 충남 천안에 위치한 SKC 블랭크마스크 공장을 방문했다. 이번 방문은 반도체 공정 핵심소재인 블랭크마스크 국산화 성과를 점검하고 소부장 정책 관련 기업 애로를 듣기 위해 마련됐다.

종합 소재전문 기업 SKC는 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 현재 국내 수요기업과 테스트 중이고, 하반기 본격 양산에 들어갈 예정이다.


블랭크마스크는 회로 패턴을 그리기 전 포토마스크 원판이 되는 반도체 공정의 핵심소재다. 통상 ArF(불화아르곤), EUV(극자외선)용을 하이엔드급으로 분류하는데, 국내 반도체 업계는 90% 이상을 일본 수입에 의존한다. 한국의 대(對)일본 수입 상위 20대 핵심 소부장 품목에도 해당한다.

SKC는 2018년부터 총 430억원을 투자해 지난해말 블랭크마스크 신규공장을 완공했다. 지난해 추가경정예산을 지원 받아 2021년 양산을 목표로 첨단제품도 개발 중이다.
인허가 단축·R&D 지원으로 소부장 기업 지원

홍남기 경제부총리 겸 기획재정부 장관, 성윤모 산업통상자원부 장관, 최기영 과학기술정보통신부 장관이 22일 오전 인천 서구 경인양행 본사에서 열린 '제3차 소재·부품·장비 경쟁력위원회' 회의를 마친 뒤 시설을 살펴보고 있다. / 사진=김창현 기자 chmt@

SKC의 블랭크마스크 국산화 성과에는 정부의 지원이 뒷받침됐다. 이용선 SKC 부사장은 "정부가 신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 신속처리, 수입장비 할당관세 적용과 정부 R&D(연구개발) 등을 적기 지원해 준 것에 대해 감사하다"고 밝혔다.

정부는 지난해 소부장 경쟁력 강화 대책을 마련하고 공급 불안이 큰 100대 핵심품목을 선정, 기술개발을 총력 지원해 왔다. △R&D △정책금융 △세액공제 △인허가 단축 등 각종 지원이 이뤄졌다.


특히 일본 수출규제 대상 △불화수소 △EUV 레지스트 △불화 폴리이미드 3개 품목은 올해 완전한 공급안정을 달성할 계획이다. SKC는 불화 폴리이미드에도 850억원을 투자해 지난해말 신규공장을 완공하고 시제품을 생산하고 있다.

정부는 20대 품목의 경우 2021년을 목표로 국내생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등 공급안정성 확보를 추진 중이다. 나머지 80대 품목은 올해 1조2000억원 규모 R&D 지원과 공급선 다변화 등을 추진할 계획이다.

정 차관은 "소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부와 수요·공급기업간 긴밀한 협력이 중요하다"며 "조기성과 창출을 위해 테스트베드, 신뢰성·양산평가 등 소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2100억원 이상을 집중 지원하겠다"고 밝혔다.