KRISS ¼ÒÀçÀ¶ÇÕÃøÁ¤¿¬±¸¼Ò ÀÓ°æ±Ù ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀÌ ¼öÁ÷À¸·Î ½×Àº °í¼º´É À¯±â Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ¼±º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù/»çÁø=Ç¥ÁØ¿¬ |
Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø ¼ÒÀçÀ¶ÇÕÃøÁ¤¿¬±¸¼Ò ÀÓ°æ±Ù ¼±ÀÓ¿¬±¸¿ø, µ¶ÀÏ µå·¹½ºµ§ °ø´ë, È«Äá Áß¹®´ë µîÀ¸·Î ÀÌ·ïÁø ±¹Á¦°øµ¿¿¬±¸ÆÀÀº ºñ½Î°í º¹ÀâÇÑ °øÁ¤ ¾øÀÌ °£´ÜÇÑ Àü±âÈÇÐÀû °øÁ¤¸¸À¸·Î À¯±â Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ¼öÁ÷À¸·Î ½×´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù°í 23ÀÏ ¹àÇû´Ù.
Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ ¼öÁ÷À¸·Î ½×À¸¸é ±âÁ¸ ¼öÆò ¹æ½ÄÀÇ À¯±â Æ®·£Áö½ºÅͺ¸´Ù ±¸µ¿ ¼Óµµ°¡ »¡¶óÁö°í ±¸µ¿¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àü¾ÐÀ» ³·Ãâ ¼ö ÀÖ¾î °á°úÀûÀ¸·Î Á¤º¸Ã³¸® ¼º´É Çâ»óÀ» ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇöÀç »ó¿ëÈµÈ Æú´õºíÆùÀº µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÑ ¸é¸¸ Á¢¾ú´Ù Æî ¼ö ÀÖ°Ô ¸¸µé¾îÁ³´Ù. µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àüü¸¦ ±¸ºÎ¸®°í ´Ã·Á ¼Õ¸ñ½Ã°èó·³ Â÷°í ½Å¹®Áöó·³ µÑµÑ ¸»¾Æ »ç¿ëÇϱâ À§Çؼ´Â ±â±â ³» žÀçµÇ´Â Á¤º¸Ã³¸®¡¤ÀúÀå ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ, ¹èÅ͸® µîÀÇ ¸ðµç ºÎÇ°ÀÌ À¯¿¬ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
±×Áß¿¡¼µµ Á¤º¸¸¦ 󸮡¤ÀúÀåÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÎ Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¼º´É¿¡ µû¶ó ½º¸¶Æ®±â±âÀÇ ¼º´ÉÀÌ °áÁ¤µÈ´Ù. À̸¦ »ó¿ëȸ¦ À§Çؼ± °ª½Î°í À¯¿¬ÇÏ¸ç °í¼º´ÉÀÎ Æ®·£Áö½ºÅÍ °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ¼º´É¿¡ µû¶ó µð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ ¹ÝÀÀ ¼Óµµ, ÄÄÇ»ÅÍÀÇ Ã³¸® ¼Óµµ, µ¥ÀÌÅÍ ÀúÀåÀåÄ¡ÀÇ ¿ë·®, Àü·Â ¼Ò¸ð·® µîÀÌ °áÁ¤µÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
±âÁ¸ À¯±â¹° ±â¹Ý À¯±â Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â °¡º±°í À¯¿¬ÇÏ¸ç ¼ÒÀçÀÇ °¡°Ýµµ Àú·ÅÇØ ´ë·®»ý»êÀÌ °¡´ÉÇß´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¹«±â¹° ¹ÝµµÃ¼º¸´Ù ±¸µ¿ Àü·ÂÀÌ Å©°í ¹ÝÀÀ½Ã°£ÀÌ ´À·Á Æ®·£Áö½ºÅͷμ ¼º´ÉÀÌ Á¦ÇѵſԴÙ.
´ë´Ù¼ö ±â¾÷°ú ¿¬±¸¼Ò µîÀº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¸¦ Á¶¹ÐÇÏ°Ô ¹è¿Çϱâ À§ÇØ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ, °üÅëÀü±Ø µî ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ÇϳªÀÇ ¼ÒÀÚ¸¦ ±ð°í ºÙ¿© ¸¸µå´Â ¼öÀÛ¾÷°ú °°¾Æ¼ ±â¼ú ³À̵µ°¡ Ŭ»Ó´õ·¯ ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌ µç´Ù. ¶Ç ¹«±â ¹ÝµµÃ¼¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ±â¼ú·Î À¯±â ¹ÝµµÃ¼¿¡´Â Àû¿ëÀÌ ¾î·Æ´Ù´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
±âÁ¸ ¼öÆò±¸Á¶(À§)¿Í ¼öÁ÷±¸Á¶(¾Æ·¡) Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ ±¸Á¶Àû Â÷ÀÌ¿¡ ÀÇÇÑ ÀüÀÚÀ̵¿ °Å¸® º¯È (Èò»ö È»ìÇ¥)/»çÁø=Ç¥ÁØ¿¬ |
°øµ¿¿¬±¸ÆÀÀº À̸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ »ê¾÷ÇöÀå¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ´ëÇ¥Àû Àü±âÈÇÐÀû °øÁ¤ÀÎ ¾Æ³ë´ÙÀÌ¡¿¡ ÁÖ¸ñ, Àü°èÈ¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ(FET)¿¡ ÀÀ¿ëÇß´Ù. ¾Æ³ë´ÙÀÌ¡Àº ¼ö¿ë¾×¿¡ ¾Ë·ç¹Ì´½ Àü±Ø ÆÐÅÏÀÌ Æ÷ÇÔµÈ ¼ÒÀÚ¸¦ ´ã±×°í Àü¾ÐÀ» Àΰ¡ÇØ Àü±Ø Ç¥¸é¿¡ ÀÏÁ¤ÇÑ Çü»óÀÇ »êȾ˷ç¹Ì´½ »êȸ·À» »ý¼ºÇÏ´Â °øÁ¤ÀÌ´Ù.ÀÌ ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇϸé Àü±âÈÇÐÀû 󸮸¸À¸·Î ³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) °£°ÝÀ¸·Î ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ¹è¿µÈ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Àü±ØÀ» ¼Õ½±°Ô Á¦ÀÛÇÏ°í, ÀüÀÚÀÇ È帧À» È¿°úÀûÀ¸·Î Á¦¾îÇØ ¼öÁ÷±¸Á¶ Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼º´ÉÀ» Çâ»óÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº ¶Ç ±âÁ¸ÀÇ ±ð¾Æ³»°í ºÙÀÌ´Â ¹æ½ÄÀÌ ¾Æ´Ñ ÈÇйÝÀÀÀ» ÅëÇØ ¹Ì¼¼ ±¸Á¶Ã¼¸¦ ¾Æ·¡¿¡¼ºÎÅÍ ½×´Â ¹æ½ÄÀ» °³¹ßÇß´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ °°Àº ±â¼úÀ» ÅëÇØ ¼öÁ÷ Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ´Â ¼öÆò ¹æ½ÄÀÇ À¯±â Æ®·£Áö½ºÅͺ¸´Ù ÃÖ´ë ±¸µ¿ ¼Óµµ°¡ 100¹è Áõ°¡Çß°í, ±¸µ¿ ½Ã È带 ¼ö ÀÖ´Â ÃÖ´ë Àü·ù´Â 1¸¸ ¹è Áõ°¡Çß´Ù. ¶Ç ±¸µ¿¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Àü¾ÐÀº 3ºÐÀÇ 1 Á¤µµ °¨¼ÒÇß´Ù. ÀÌ °°Àº Å×½ºÆ®´Â pÇü ¹ÝµµÃ¼, nÇü ¹ÝµµÃ¼, ÀúºÐÀÚ¿Í °íºÐÀÚ µî À¯±â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Á¾·ù¿¡ »ó°ü¾øÀÌ ±ÕÀÏÇÑ °á°ú¸¦ ¾ò¾ú´Ù.
ÀÓ°æ±Ù ¼±ÀÓ¿¬±¸¿øÀº ¡°À̹ø ±â¼úÀº ±Ã±ØÀûÀ¸·Î ÇüÅ°¡ ÀÚÀ¯·Ó°Ô º¯ÇÏ´Â µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ¼¾¼, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¿Í °°Àº Â÷¼¼´ë ½º¸¶Æ®±â±âÀÇ °³¹ß ½Ã±â¸¦ ¾Õ´ç±æ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
À̹ø ¿¬±¸¼º°ú´Â Àç·áºÐ¾ß ±¹Á¦ÇмúÁö ¡®¾îµå¹ê½ºµå Æã¼Å³Î ¸ÓƼ¸®¾ó½º¡¯¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.