![]() |
À¯·´ ÃâÀåÀ» ¸¶Ä£ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ 14ÀÏ ¿ÀÀü °¼±¸ ¼¿ï±èÆ÷ºñÁî´Ï½ºÇ×°ø¼¾ÅͰøÇ׸¦ ÅëÇØ ±Í±¹Çϰí ÀÖ´Ù. / »çÁø=À̱â¹ü ±âÀÚ leekb@ |
³×´ú¶õµå µî À¯·´ÃâÀåÀ» ¸¶Ä¡°í 14ÀÏ ±Í±¹ÇÑ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ (82,500¿ø

ÀÌ ºÎȸÀåÀº À̳¯ ¿ÀÀü 9½Ã40ºÐ°æ ¼¿ï±èÆ÷ºñÁî´Ï½ºÇ×°ø¼¾Å͸¦ ÅëÇØ Àü¿ë±â·Î ÀÔ±¹Çß´Ù. ÀÌÈÄ ÀӽûýȰ½Ã¼³·Î ¸¶·ÃµÈ ¸¶¸®³ªº£ÀÌ È£ÅÚ·Î À̵¿ÇØ Äڷγª19 °Ë»ç¸¦ ¹Þ°í °Ý¸®¿¡ µé¾î°¬´Ù. ¿ÀÈÄ 9½Ã55ºÐ°æ À½¼º ÆÇÁ¤À» ¹Þ°í ±Í°¡Çß´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ ¹æ¹®ÇÑ ³×´ú¶õµå´Â Çѱ¹ÀÎ ÀÔ±¹Á¦ÇÑ Á¶Ä¡°¡ ÇØÁ¦µÈ ±¹°¡´Ù. ÀÌ ºÎȸÀåÀÇ ÃâÀåÀº ±â¾÷ÀÎ ½Å¼ÓÅë·Î ÇÕÀÇ¿¡ µû¶ó ÁøÇàµÈ °æ¿ì¿©¼ 2ÁÖ°£ ÀÚ°¡°Ý¸®°¡ ¸éÁ¦µÈ´Ù. ±×·¯³ª ´Éµ¿°¨½Ã´ë»óÀÚ·Î ºÐ·ùµÅ ¸ð¹ÙÀÏ ¾Û(¾ÖÇø®ÄÉÀ̼Ç)À» ÅëÇØ Áúº´°ü¸®º»ºÎ¿¡ ¹ß¿, ±âħ ¿©ºÎ µîÀÇ Áõ»óÀ» º¸°íÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀº À̹ø ÃâÀå¿¡¼ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤±â¸¦ µ¶Á¡ °ø±ÞÇÏ´Â Àåºñ¾÷ü ASMLÀÇ ³×´ú¶õµå º»»ç¸¦ ¹æ¹®Çß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ±¸ÇöÀ» À§ÇØ EUV ±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù´Â ÆÇ´Ü, 2000³â´ëºÎÅÍ ASML°ú Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ±â¼ú ¹× Àåºñ °³¹ßÀ» Çù·ÂÇØ ¿Ô´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ÀÌ ºÎȸÀåÀº ½ºÀ§½º ·ÎÀÜÀÇ IOCµµ ¹æ¹®Çß´Ù. '»ï¼º ÃѼö'·Î¼ ½ºÆ÷Ã÷ ¿Ü±³¿¡ Àç½Ãµ¿À» °Ç °Í ¾Æ´Ï³Ä´Â ÇØ¼®ÀÌ Á¦±âµÈ´Ù.