3Â÷¿ø ¾Æ¿¬ »êȹ° ³ª³ë Æ®·¯½º ±¸Á¶Ã¼ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ý ¹× ±¸Á¶ÀÇ Ãø¸é À̹ÌÁö (KAIST Á¦°ø) ©´º½º1 |
ÃÖ±Ù ½Ã°¢ ¹× û°¢º¸´Ù »ó´ëÀûÀ¸·Î ¹ßÀüÀÌ ´õµò ÃË°¨ ±¸Çö ¹× Áõ° ±â¼úÀÌ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
ÃË°¢ Áõ° ±â¼úÀº ÀÇ·á¿ë ·Îº¿À» ÁÖÃàÀ¸·Î ÇÑ ·Îº¿ ±â¼ú»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÃË°¢À» ÅëÇØ Á¤º¸¸¦ Àü´ÞÇÏ´Â ÇÝƽ µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÇÝƽ Àå°© µî Á¤º¸ Àü´Þ ±â¼ú¿¡ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÃË°¢ Áõ° ºÐ¾ß¿¡¼´Â Àü±âÀû-±â°èÀû °áÇÕÀÌ ÀÖ´Â ¾ÐÀü Àç·áÀÇ È°¿ëÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù.
ÃË°¢ Áõ° ¼ÒÀç·Î È°¿ëÇϱâ À§ÇÑ ¾ÐÀü Àç·áÀÇ Áß¿äÇÑ Æ¯Â¡Àº ¾ÐÀü °è¼ö¿Í ź¼º º¯Çü·üÀÌ´Ù.
ÇÏÁö¸¸, ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀçÀÇ °æ¿ì ¾ÐÀü °è¼ö´Â ³ôÀ¸³ª ź¼º º¯Çü·üÀÌ ³·´Ù.
¶Ç, °íºÐÀÚ ¼ÒÀç´Â ź¼º º¯Çü·üÀº ³ôÀ¸³ª ¾ÐÀü °è¼ö°¡ ³·¾Æ ÇϳªÀÇ ¼ÒÀç¿¡¼ ³ôÀº ¾ÐÀü °è¼ö¿Í ź¼º º¯Çü·üÀ» ¸ðµÎ ¾ò±â´Â Èûµé´Ù.
Á¦Á¶ ¿Âµµ¿¡ µû¸¥ 3Â÷¿ø ¾Æ¿¬ »êȹ° Æ®·¯½º ±¸Á¶Ã¼ÀÇ ±â°èÀû ź¼º º¯Çü·ü°ú ź¼º°è¼ö ¹× ¾ÐÀü °è¼ö (KAIST Á¦°ø) ©´º½º1 |
ƯÈ÷, ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀç´Â »ó´ëÀûÀ¸·Î ³ôÀº ¾ÐÀü °è¼ö¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¼ÒÀç ³»ºÎÀÇ °áÇÔÀ¸·Î ÀÎÇØ Åº¼º º¯Çü·üÀ» ³ôÀ̱Ⱑ ¾î·Á¿ö ¾ÆÁ÷ ½Ç¿ëÈ ´Ü°è±îÁö À̸£Áö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Ù.
È« ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ¹®Á¦ÇØ°áÀ» À§ÇØ Δ±ÙÁ¢Àå ³ª³ë ÆÐÅÍ´×(Proximity field nanopatterning, PnP)±â¼ú Δ¿øÀÚÃþ ÁõÂø(Atomic layer deposition, ALD) ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ 3Â÷¿ø ³ª³ë Æ®·¯½º(truss) ±¸Á¶¸¦ °®´Â »êȹ° ¾Æ¿¬(ZnO) ¼¼¶ó¹ÍÀ» Á¦ÀÛÇß´Ù.
¶Ç, ³ª³ë Àε§Å×ÀÌ¼Ç (Nano-indentation) ±â¼ú°ú ¾ÐÀü °¨ÀÀ Èû Çö¹Ì°æ(Piezoelectric force microscopy, PFM) ±â¼úÀ» ÀÌ¿ë, Á¦ÀÛµÈ ±¸Á¶Ã¼ÀÇ ³ôÀº ±â°èÀû Ư¼º°ú ¾ÐÀü Ư¼ºÀ» ÀÔÁõÇϴµ¥ ¼º°øÇß´Ù.
È« ±³¼öÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ¾ÐÀü ¾Æ¿¬ »êȹ° ±¸Á¶Ã¼´Â 100 ³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ÀÌÇÏÀÇ µÎ²²¸¦ °¡Áö¸é¼ ³»ºÎ°¡ ºñ¾îÀÖ´Â Æ®·¯½º ±¸Á¶Ã¼´Ù.
±âÁ¸ ¼¼¶ó¹ÍÀÌ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ³»ºÎ °áÇÔÀÇ Å©±â¸¦ nm´ÜÀ§·Î Á¦ÇÑÇØ Àç·áÀÇ ±â°èÀû °µµ¸¦ Áõ°¡½ÃÄ×´Ù.
ÀÌ ¾Æ¿¬ »êȹ° Æ®·¯½º ±¸Á¶Ã¼ÀÇ Åº¼º º¯Çü·üÀº 10% ¼öÁØÀ¸·Î ±âÁ¸ ¾Æ¿¬ »êȹ° ´ëºñ 3¹è³ª ´õ Å« °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
¾ÐÀü °è¼ö ¿ª½Ã 9.2 pm/V·Î ¹Ú¸· ÇüÅÂÀÇ ¾Æ¿¬ »êȹ°º¸´Ù 2¹è ÀÌ»ó ´õ Å« °ªÀ» ¾ò¾î³Â´Ù.
ƯÈ÷, È« ±³¼öÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ÀÌ ±¸Á¶Ã¼ÀÇ Åº¼º º¯Çü·ü Áõ°¡´Â ¾Æ¿¬ »êȹ° ¿Ü¿¡µµ ´Ù¾çÇÑ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀç¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ÇâÈÄ ÃË°¢ Áõ° ±â¼ú¿¡¼ ¸Å¿ì Áß¿äÇÑ À¯¿¬ÇÑ ¼¾¼¿Í ¾×Ãß¿¡ÀÌÅÍ¿¡ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹ÍÀ» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î ¹æ¹ýÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
KAIST Çѽ¹Π±³¼ö(¿ÞÂʺÎÅÍ), À±¼®Áß ¹Ú»ç°úÁ¤, ±èÈÆ ¹Ú»ç°úÁ¤, ±è±â¼± ¹Ú»ç, È«½Â¹ü ±³¼ö© ´º½º1 |
È«½Â¹ü ±³¼ö´Â "¾ðÅÃÆ® ½Ã´ëÀÇ µµ·¡·Î °¨¼º ¼ÒÅëÀÇ Á߿伺ÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í Àִµ¥ ½Ã°¢, û°¢¿¡ À̾î ÃË°¢ ±¸Çö ±â¼úÀÇ ¹ßÀüÀ» ÅëÇØ Àηù´Â Àå¼Ò¿Í °ü°è¾øÀÌ ´©±¸¿Íµµ ¼ÒÅëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î ¼¼»óÀ» ¸ÂÀÌÇÒ °Í?À̶ó°í Àü¸ÁÇß´Ù.
±×·¯¸é¼ "À̹ø ¿¬±¸ °á°ú¸¦ ÃË°¢ Áõ° ¼ÒÀÚ¿¡ ¹Ù·Î Àû¿ëÇϱ⿡´Â °øÁ¤ÀûÀÎ Ãø¸é¿¡¼ ´Ù¼Ò º¸°ÀÛ¾÷ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù¡±¸é¼µµ ¡°¼ÒÀç È°¿ë¿¡ Å« ¹®Á¦°¡ µÆ´ø ±â°èÀû ÇѰ踦 ±Øº¹ÇØ ¾ÐÀü ¼¼¶ó¹Í ¼ÒÀÚ·ÎÀÇ ÀÀ¿ë °¡´É¼ºÀ» ¿¬ °Í?À̶ó°í À̹ø ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ Àǹ̸¦ ºÎ¿©Çß´Ù.
ÇÑÆí, À̹ø ¿¬±¸ °á°ú´Â ±¹Á¦ ÇмúÁö `³ª³ë ¿¡³ÊÁö'¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ´º½º1ÄÚ¸®¾Æ, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>