»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ´Â 11ÀÏ ¼¼Á¾ÄÁº¥¼Ç¼¾ÅÍ¿¡¼ ¡®¼ÒºÎÀå(¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ) À¸¶ä±â¾÷ ºñÀü ¼±Æ÷½Ä¡¯À» °³ÃÖÇÏ°í ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀ» ºñ·ÔÇØ ¼ÒºÎÀå À¸¶ä±â¾÷ 22°³¸¦ óÀ½ ¼±Á¤ÇØ ¹ßÇ¥Çß´Ù.
»ê¾÷ºÎ´Â Áö³ÇØ 10¿ù ¡®¼ÒºÎÀå À¸¶ä±â¾÷¡¯ ¼±Á¤°èȹÀ» °ø°íÇÏ°í Áö³ÇØ 1Â÷ ±â¾÷ ¼±Á¤À» ½ÃÀÛÀ¸·Î 24³â±îÁö 100°³ÀÇ ¼ÒºÎÀå À¸¶ä±â¾÷À» ¼±Á¤, Áö¿øÅ°·Î Çß´Ù.
¡®¼ÒºÎÀå À¸¶ä±â¾÷¡¯Àº Áö³ÇØ 4¿ù °³ÆíµÈ ¼ÒÀçºÎÇ°Àåºñ»ê¾÷ °æÀï·Â°È¸¦ À§ÇÑ Æ¯º°Á¶Ä¡¹ý¿¡ µû¸¥ °ÍÀ¸·Î ±¹³» Áַ»ê¾÷°ú ¹Ì·¡ ½Å»ê¾÷ºÐ¾ß °ø±Þ¸Á ±¸Ãà¿¡ ÇʼöÀûÀ¸·Î ¿ä±¸µÇ´Â ±â¼ú ºÎ¹®¿¡ ´ëÇØ ±¹³» ÃÖ°í ±â¼ú·Â°ú ¹Ì·¡ ¼ºÀå ÀáÀç·ÂÀ» °¡Áø ±â¾÷À» ¼±Á¤ÇØ ±Û·Î¹ú ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹üÁ¤ºÎ Â÷¿ø¿¡¼ Áö¿ø ¹× À°¼ºÇÏ´Â Á¤ºÎ ÇÁ·Î±×·¥ÀÌ´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ÇٽɰøÁ¤ÀÇ ÃÖÀû ¼Ö·ç¼ÇÀÎ ¡®¼¼°è ÃÖÃÊ ½Ã°ø°£ºÐÇÒ ALD Àåºñ¡¯ ±â¼ú °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇß°í ±× °æÀï·Â°ú ÀáÀç·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø ºÎÇ°¡¤Àåºñ Á¦Á¶±â¼ú ÇÙ½ÉÀü·«±â¼ú ºÎ¹® ¡®¼ÒºÎÀå À¸¶ä±â¾÷¡¯À¸·Î ¼±Á¤µÆ´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀÇ ½Ã°ø°£ºÐÇÒ ALD ±â¼úÀº ±âÆÇ À§¿¡ ÈÇй°ÁúÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¿øÀÚÃþ ´ÜÀ§·Î ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÏ´Â ±â¼ú·Î ½Ã°ø°£ºÐÇÒÀÇ µ¶ÀÚÀûÀÎ °¡½º ºÐ»ç ½Ã½ºÅÛ°ú LSP(Local Space Plasma) ±â¼úÀ» Á¢¸ñÇß´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß»Ó ¾Æ´Ï¶ó ºñ¸Þ¸ð¸®±îÁö ¸ðµç Â÷¼¼´ë °øÁ¤ º¯È¿¡ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ´ëÀÀ °¡´ÉÇϸç, ÀÌ ±â¼úÀº ÇâÈÄ Â÷¼¼´ë µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× 35% ÀÌ»ó °íÈ¿À² ž籤 µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß±îÁö È®´ë Àû¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
1993³â ¼³¸³µÈ ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº âÁ¶¿Í Çõ½Å öÇÐÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ž籤 ÇÙ½É Àü(îñ)°øÁ¤ Àåºñ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇÏ¿© ¿ì¸®³ª¶óÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ž籤 Àåºñ ±â¼ú·ÂÀ» ¼¼°è¿¡ ¾Ë¸° ±â¾÷ÀÌ´Ù.
ȲöÁÖ ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ´ëÇ¥´Â ¡°Áö³ÇØ ¿Ï°øµÈ ¿ëÀÎ R&D¼¾Å͸¦ ÅëÇØ ¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñȸ»ç°¡ µÇ±â À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» Á¶¼ºÇß´Ù¡±¸ç ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ °øÁ¤ ¹× Çϵå¿þ¾î Çõ½ÅÀ» ÅëÇØ ºü¸£°Ô º¯ÈÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ž籤 »ê¾÷¿¡¼ ³ôÀº °æÀï·ÂÀ» À¯ÁöÇÏ¸ç ¹Ì·¡ ½ÃÀåÀ» ¼±Á¡Çسª°¥ °èȹ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.