ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀå(¿À¸¥ÂÊ¿¡¼ µÎ¹ø°)ÀÌ Áö³ÇØ 10¿ù13ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ³×´ú¶õµå ¿¡ÀÎƮȣ¹øÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü ASML º»»ç¸¦ ã¾Æ EUV(±ØÀڿܼ±) ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ìÆ캸°í ÀÖ´Ù. ±è±â³² »ï¼ºÀüÀÚ DS(µð¹ÙÀ̽º¼Ö·ç¼Ç)ºÎ¹® ºÎȸÀå(°¡¿îµ¥)°ú ¸¶Æ¾ ¹Ý µ§ ºê¸µÅ© ASML CTO(ÃÖ°í±â¼úÃ¥ÀÓÀÚ¡¤¸Ç¿À¸¥ÂÊ)°¡ ÀÌ ºÎȸÀå°ú ÇÔ²² Àåºñ¸¦ »ìÆñ´Ù. |
"»ï¼ºÀÇ Àü¼º±â°¡ Áö±ÝÀÏ±î ºÁ µÎ·Æ½À´Ï´Ù."
¸çÄ¥ Àü ¸¸³ »ï¼ºÀüÀÚ ÇÑ ÀÓ¿øÀÇ °í¹éÀÌ´Ù. ºÒ¾¦ Æ¢¾î³ª¿Â ¹¦ÇÑ ´µ¾Ó½ºÀÇ ¾ð±Þ¿¡ ÀÚ¸®¿¡ ÀÖ´ø ¸ðµÎ°¡ ¹«½¼ ¶æÀ̳Ĵ µí ´ÙÀ½ ¸»À» ±â´Ù·È´Ù. ±×´Â "¾ø´Â Èû±îÁö Áã¾îÂ¥³»¾ß ÇÒ »óȲÀε¥ »óȲÀÌ ¿©ÀÇÄ¡ ¾Ê´Ù"°í Çß´Ù.
1µîÀ» ÁöÅ°´Â °ÍÀº 1µîÀ¸·Î ¿Ã¶ó¼´Â °Íº¸´Ù ¸î ¹è ´õ Èûµé´Ù. ±×°¡ ²¨³½ °ÍÀº ´Ü¼øÈ÷ 1µîÀÌ ´À³¢´Â ¾Ð¹Ú°¨¸¸Àº ¾Æ´Ï¾ú´Ù. '»ï¼º¸Ç'À¸·Î 30³â °¡±îÀÌ Áö³»¸é¼ »ï¼ºÀÇ ¼ºÀå»ç¸¦ »ý»ýÇÏ°Ô ¸ñ°ÝÇÑ ÀÌ°¡ ´À³¤ ÃÖ±ÙÀÇ »óȲ¿¡ ´ëÇÑ Åä·Î¿¡ °¡±î¿ü´Ù. ´©±¸µµ Á÷Á¢ ¾ð±ÞÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸ À̾߱â´Â ÀÚ¿¬½º·´°Ô 'ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀÇ ºÎÀç'·Î Èê·¶´Ù.
»ç¹ýÀû ÆÇ´Ü¿¡ ´ëÇÑ Æò°¡¿Í º°µµ·Î ÀÌ ºÎȸÀåÀÇ ºÎÀç´Â »ï¼ºÀÌ ´ç¸éÇÑ Çö½ÇÀÌ´Ù. »ï¼ºÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â ¹ä±×¸©ÀÇ Å©±â ´ö¿¡ ¿ì¸® »çȸ°¡ ÇÔ²² ºÎ´ãÇØ¾ß ÇÒ ÇöÀç¶ó´Â Á¡µµ ºÎÀÎÇϱ⠾î·Æ´Ù.
±â¾÷ÀÎÀÇ °ú¿À¿¡ ´ëÇØ ´«À» °¨ÀÚ´Â ¾ê±â°¡ ¾Æ´Ï´Ù. ¹è °ô´ø ½ÃÀýó·³ '¹ä'ÀÌ '¹ý'º¸´Ù ¿ì¼±ÇÏ´Â ¼¼»óÀÌ ¾Æ´ÔÀ» ±â¾÷Àε鵵 Àß ¾È´Ù. ÀÌ ºÎȸÀå¿¡ ´ëÇÑ ÆÇ°áÀº ¾î¼¸é º¯È¿¡ °¡Àå µÐ°¨ÇÑ »ç¹ýÁ¶Á÷ÀÌ °ú°Å¿Í ´Þ¶óÁø °æÁ¦³í¸®¸¦ ¼ö¿ëÇÑ °á·ÐÀ̱⵵ ÇÏ´Ù. ÀÌ ºÎȸÀå ½º½º·Î ¹ý¿øÀÇ ÆÇ°áÀ» ¹Þ¾ÆµéÀÎ »óȲ¿¡¼ »ï¼ºÀÌ °í¹ÎÇÏ´Â ÁöÁ¡ÀÌ ÀÌ ºÎȸÀå °³Àο¡ ´ëÇÑ ¹®Á¦°¡ ¾Æ´Ôµµ ºÐ¸íÇÏ´Ù.
»ï¼ºÀº Áö³ 4~5³â µ¿¾È ÀÌ¹Ì ±ò¾Æ³õÀº ¼±·Î À§¸¦ ´Þ¸®´Â °Í¸»°ï ÀÌ·¸´ÙÇÒ Çõ½ÅÀÇ ¸ð¹üÀ» ³»³õÁö ¸øÇß´Ù. ÀÌ ¼ø°£ ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ °¡Àå °ÆÁ¤ÇÏ´Â ÁöÁ¡µµ ¹Ù·Î ÀÌ ´ë¸ñÀÌÁö ¾ÊÀ»±î. ÀÌ ºÎȸÀåÀº 3³â Àü Ç×¼Ò½É °á½É°øÆÇ ÃÖÈÄÁø¼ú¿¡¼ "À̺´Ã¶ÀÇ ¼ÕÀÚ³ª ÀÌ°ÇÈñÀÇ ¾ÆµéÀÌ ¾Æ´Ñ, ¼±´ë ¸øÁö ¾ÊÀº ±â¾÷ÀÎÀ¸·Î ÀÎÁ¤¹Þ°í ½Í´Ù"°í Çß´Ù.
Çö´ëÂ÷±×·ì¿¡¼´Â 3~4³â Àü ÀÌ·± ¸»ÀÌ µ¹¾Ò´Ù. "'Á¤ÀǼ±ÀÇ ½Ã´ë'°¡ ¿À¸é ´Þ¶óÁú °ÍÀÌ´Ù." 2007~2008³â °íȯÀ²ÀÌ µðµõµ¹ÀÌ µÆ´ø ±Þ¼ºÀå±â°¡ Áö³ª°í »ç¾÷ÀÌ Á¤Ã¼µÇ´ø ½Ã±â´Ù.
ÀÓÁ÷¿øµéÀÌ ¸»Çß´ø´ë·Î 'Á¤ÀǼ± ½Ã´ë'¸¦ ¸ÂÀº Çö´ëÂ÷±×·ìÀº ¾îÁ¦°¡ ´Ù¸£°í ¿À´ÃÀÌ ´Ù¸¥ º¯ÈÀÇ ½Ã±â¸¦ ³»´Þ¸®°í ÀÖ´Ù. ¾ü±×Á¦±îÁö¸¸ Çصµ ¿Â¶óÀÎÀ» µÚµ¤¾ú´ø 'Èä±âÂ÷'¶ó´Â ¿À¸íÀ» ã±â ¾î·Æ´Ù. ¸®´õ½Ê. ±¸½ÉÁ¡ÀÇ Á߿伺À» Àý°¨ÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â »ç·Ê´Ù.
»ï¼ºÀÇ ¼ÓÀÌ ¾²¸° ÁöÁ¡µµ ¿©±â´Ù. ÀÌ ºÎȸÀåÀÇ ºÎÀç, Àü¹® °æ¿µÀÎ ½Ã½ºÅÛÀÇ ÇÑ°è. ÀÎÁ¤ÇÒ ºÎºÐÀº ÀÎÁ¤ÇÏ°í µé¾î°¡¾ß ÇعýÀÌ º¸ÀδÙ.
ÇѼ¼´ë °¡±îÀÌ ¼¼°è 1À§¸¦ ÁöÄÑ¿Â »ï¼º ¹ÝµµÃ¼ D·¥ÀÇ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼ú·ÂÀ» ¾÷°è 3À§ ¹Ì±¹ÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀÌ °ÅÀÇ µû¶óÀâ¾Ò´Ù´Â º¸µµ°¡ ¾ó¸¶ Àü ³ª¿Ô´Ù.
»ï¼ºÀÇ ¼º°ø°¡µµ¸¸ ¸ñ°ÝÇß´ø ¿ì¸® ¼¼´ëÀÇ ¹Ì·¡¸¦ ¹ß¸ñ Àâ´Â ÃÖ´ë À§ÇùÀº ¿ì¸® ¾È¿¡ ÀÚ¸®ÀâÀº '¼³¸¶'ÀÏÁö ¸ð¸¥´Ù. ÇѶ§ ¼¼°è ½ÃÀåÀ» È£·ÉÇß´ø ¼Ò´Ï, ³ëÅ°¾Æ°¡ ±×·± Àá½ÃÀÇ ¾ÈÀÏÇÔ¿¡ ½º·¯Á³´Ù. ¿ì¸® »çȸ°¡ »ï¼ºÀ» ´ëÇÏ´Â ½Ã¼±¿¡ Àº¿¬Áß ±×·± ¾ÈÀÏÇÔÀÌ ½º¸çÀÖÁö ¾Ê±æ ¹Ù¶õ´Ù.
Çö½ÇÀÌ Çö½ÇÀÎ °ÍÀº ±×·¡µµ ÇØ¾ß ÇÒ ÀÏÀº ÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù´Â Á¡¿¡¼´Ù. ¾ðÁ¨°¡ »ï¼ºÀÇ ±¸½ÉÁ¡ÀÌ º¹¿øµÇ¸é »ï¼ºÀÌ, ¶Ç ¿ì¸®°¡ Àü¼º±â¸¦ ³Ñ¾î ¶Ç´Ù¸¥ Ȳ±Ý±âÀÇ ¿¸Å¸¦ ÇÔ²² ³ª´ ¼ö ÀÖ¾úÀ¸¸é ÁÁ°Ú´Ù. »ï¼ºÀÇ Àü¼º±â°¡ ¿À´ÃÀÏ±î µÎ·Æ´Ù´Â °í¹éÀÌ º¸¾àÀÌ µÆ´Ù´Â ÈÄÀÏ´ãÀ» ÇÒ ¼ö Àֱ⸦. ±× ÈÄÀÏ´ãÀÇ ÀÚ¸®°¡ ¸·¿¬ÇÑ ±â´Ù¸²ÀÌ ¾Æ´Ñ, Á»´õ Àû±ØÀûÀÎ Áغñ·Î Àϱº °á½ÇÀÌ µÇ±æ Èñ¸ÁÇغ»´Ù.