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기계연, '대면적 2차원 나노소재 롤 기반 무손상 전사기술' 개발

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  • 대전=허재구 기자
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  • 2021.05.12 13:29
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5만분의 1 수준인 1㎚ 이하의 2차원 나노소재 4인치 이상의 웨이퍼 기판에 손상 없이 전사… 손상률도 기존 30%→1%까지 획기적 ↓

한국기계연구원 나노역학장비연구실 김광섭 책임연구원 연구팀이 대면적 2차원 나노소재 롤 기반 무손상 전사기술 개발에 성공했다./사진제공=한국기계연구원
한국기계연구원 나노역학장비연구실 김광섭 책임연구원 연구팀이 대면적 2차원 나노소재 롤 기반 무손상 전사기술 개발에 성공했다./사진제공=한국기계연구원
한국기계연구원은 나노역학장비연구실 김광섭 책임연구원 연구팀이 원자층 두께의 2차원 나노소재를 웨이퍼 사이즈로 손상없이 전사할 수 있는 '대면적 2차원 나노소재 무손상 롤 전사기술'을 개발했다고 12일 밝혔다. 이 기술은 투명 디스플레이와 투명 반도체, 자율주행 자동차를 위한 디스플레이까지 다양한 분야에 활용될 수 있는 '나노소재 전사공정'을 획기적으로 개선할 수 있을 것으로 기대된다.

연구진은 두께가 머리카락 5만분의 1 수준인 1㎚ 이하의 2차원 나노소재를 4인치 이상의 웨이퍼 기판에 손상 없이 전사할 수 있는 기술을 개발했다.

롤 기반 전사공정은 전사필름 표면에 위치한 나노소재를 원하는 기판 위에 옮기는 공정이다. 롤러를 이용해 인쇄물을 찍어내듯 나노소재를 대면적 연속공정으로 옮길 수 있는 고효율 제조기술이다.

이번에 개발된 기술의 핵심은 2차원 나노소재를 전사할 때 얇은 나노소재를 떼어내면서 찢어지거나, 기판에 붙이면서 생기는 깨짐 등 불안정성을 제거하는데 성공한 것이다.

연구진은 전사필름의 점착층 두께를 최적화해 박리면의 불안정성을 제거했다. 필름에서 타투 스티커를 떼서 피부에 붙일 때 아주 얇고 섬세한 스티커 모양도 훼손되지 않고 그대로 옮길 수 있는 원리를 찾아낸 것이다.

롤 기반 전사기술로 제작한 2차원 나노소재(단층 그래핀) 기반 투명전극의 면저항 품질을 나타낸 그래프. 얇은 점착층으로 제작한 경우 면저항이 1130 Ohm/Sq.로 매우 높고,  면저항 품질이 불균일했다. 두꺼운 점착층의 경우 면저항이 563 Ohm/Sq.로 낮지만 면저항 품질이 불균일했다. 점착층 두께를 최적 설계한 전사필름의 경우 면저항 값이 235 Ohm/Sq.로 매우 낮고 면저항 품질도 균일했다./사진제공=한국기계연구원
롤 기반 전사기술로 제작한 2차원 나노소재(단층 그래핀) 기반 투명전극의 면저항 품질을 나타낸 그래프. 얇은 점착층으로 제작한 경우 면저항이 1130 Ohm/Sq.로 매우 높고, 면저항 품질이 불균일했다. 두꺼운 점착층의 경우 면저항이 563 Ohm/Sq.로 낮지만 면저항 품질이 불균일했다. 점착층 두께를 최적 설계한 전사필름의 경우 면저항 값이 235 Ohm/Sq.로 매우 낮고 면저항 품질도 균일했다./사진제공=한국기계연구원
연구팀은 전사필름에서 점착층 두께에 따라 두 가지 서로 다른 손상이 일어나는 것을 관찰했다. 이를 바탕으로 전산 시뮬레이션과 실험을 통해 점착층 변형으로 인한 2차원 나노소재의 손상 메커니즘을 밝히고 점착층 두께를 최적화했다.

이 기술을 활용하면 2차원 나노소재의 롤 전사 공정에서 발생하는 나노소재 손상을 기존의 약 30%에서 1%까지 줄일 수 있을 것으로 기대된다.

김광섭 책임연구원은 "이 기술은 2차원 나노소재 및 마이크로 디바이스 기반의 웨어러블 전자기기, 유연투명 디스플레이, 고성능 바이오/에너지 센서의 제조 단가를 획기적으로 낮출 수 있을 것" 이라며 "차세대 반도체, 디스플레이, 미래차산업 등 다양한 분야에서 2차원 나노소재 기반 유연투명 전자기기를 활용한 새로운 산업 창출도 가능할 것으로 기대한다"고 말했다.



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