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| 램테크놀러지. /사진제공=램테크놀러지 |
불화수소는 다양한 산업 분야에서 사용된다. 특히 반도체와 디스플레이 산업에서는 반도체 기판인 실리콘웨이퍼 표면의 불순물을 씻어내는 세정 공정과 웨이퍼를 회로대로 깎아내는 식각 공정 등에서 순도 12N(99.9999999999%) 이상의 초고순도 불화수소를 사용한다.
램테크놀러지는 불화수소 정제를 통해 반도체 공정용 제품의 단일 금속 불순물 농도를 1ppt 이하로 낮추는 것을 목표로 잡고 있다.
램테크놀러지는 또 기존 생산 방식이 형석을 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막분리법 등 다양한 정제 공정으로 처리하는 전(前)처리 과정을 거쳐야 했던 것과 달리 이런 처리과정을 건너뛸 수 있어 공정을 간소화하면서 비용도 줄일 수 있다고 설명했다.
램테크놀러지는 현재 추진하는 당진 공장 증설이 완료되면 국내 반도체용 불산 생산에 속도를 낼 수 있을 것이라고 밝혔다.
램테크놀러지는 이날 오후 2시30분 현재 전날보다 29.97% 오른 8890원에 거래되고 있다.
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