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티로보틱스, 주행기능을 갖춘 차세대 반도체 공정장비용 진공로봇 특허 등록

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티로보틱스, 주행기능을 갖춘 차세대 반도체 공정장비용 진공로봇 특허 등록

머니투데이
  • 김건우 기자
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  • 2022.05.03 14:22
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로봇 제조 전문기업인 티로보틱스 (17,950원 ▼420 -2.29%)가 차세대 반도체 공정장비에 대응가능한 '주행축 추가 진공로봇'에 대한 국내 특허 등록을 완료했다고 3일 밝혔다.


이번 특허는 반도체 웨이퍼 이송 진공로봇을 3절링크 형태의 주행축 위에 양팔 이송로봇을 올려놓는 구조 고안을 통해 장거리 작업성능을 확보하는 방식이다.

티로보틱스는 "반도체 제조사들이 더 스마트하고, 더 빠르고, 더 집적도 높은 칩을 개발하면서 공정의 복잡성과 단계 수가 빠르게 증가하고 있다" 며 "이에 따라 공정 장비가 늘어나 효율적인 배치가 중요하게 됐다. 차세대 반도체 공정 장비에는 한 대의 로봇으로는 웨이퍼 이송거리가 부족하여 두대의 로봇을 사용하거나, 주행기능이 추가된 새로운 로봇이 필요하게 된다"고 말했다.

안승욱 티로보틱스 대표는 "이번에 고안된 주행축 추가 진공로봇은 한대의 로봇으로 장거리 이송이 가능하고, 특히 주행 기능에 3절 링크구조를 채택하여, 주행기능 추가에 따른 오염 발생을 원천적으로 방지하고, 긴 주행 범위를 갖도록 했다"며 "이를 통해 장비투자 비용을 줄이고 장비의 설치 공간을 더 효율적으로 사용함은 물론 생산성도 높일 수 있게 됐다"고 말했다.



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