»ï¼ºÀüÀÚ (80,800¿ø ¡ã1,000 +1.25%)°¡ °æ±âµµ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º ¹ÝµµÃ¼ Á¦5°øÀå(P5) °Ç¼³ Áغñ ÀÛ¾÷¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù. Á¦4°øÀå(P4) °ø»ç°¡ ¾ÆÁ÷ º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀÛµÇÁö ¾ÊÀº °¡¿îµ¥ P5¶óÀÎ Áõ¼³ äºñ¿¡ ³ª¼± °ÍÀ¸·Î ¹ßºü¸¥ Çຸ¶ó´Â Æò°¡°¡ ¾÷°è¿¡¼ ³ª¿Â´Ù.
29ÀÏ °ü·Ã ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ±Ù Çѱ¹Àü·Â°ø»ç(ÇÑÀü)¿Í P5¶óÀÎ Àü±â°ø±Þ °ü·Ã ³íÀǸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù. ¿¹»ó Àü±â»ç¿ë·®À» ÇÑÀü¿¡ Àü´ÞÇÏ°í °ø±Þ ¹æ¾È ¸¶·Ã¿¡ ³ª¼± °ÍÀÌ´Ù. »ï¼ºÀº Çѱ¹°¡½º°ø»ç¿Í Çѱ¹¼öÀÚ¿ø°ø»ç µî ´Ù¸¥ À¯°ü±â°ü°úÀÇ Áõ¼³ °ü·Ã ³íÀǵµ ÃßÁø ÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀÌ Çö ½ÃÁ¡¿¡ P5 Áõ¼³ Áغñ¿¡ ³ª¼± °ÍÀÌ ¿¹»óº¸´Ù ºü¸¥ ÁøÇàÀ̶ó´Â ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿Â´Ù. P4¶óÀÎÀÌ ¾ÆÁ÷ Âø°ø ÀüÀÏ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Á¦3°øÀå(P3) °ø»çµµ ¾ÆÁ÷ ÁøÇà ÁßÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù. »ý»ê¶óÀÎÀÇ ±Ô¸ð¿Í »ý»ê Ç°¸ñ¿¡ µû¶ó ±¸Ã¼Àû ÀÏÁ¤Àº ´Þ¶óÁú ¼ö ÀÖÁö¸¸ Åë»óÀûÀ¸·Î »ï¼ºÀº ÀÌÀü ºÎÁö¿¡¼ Âø°øÀÌ ½ÃÀ۵Ǵ ½ÃÁ¡¿¡ ´ÙÀ½ ºÎÁöÀÇ Áõ¼³ Áغñ¸¦ ÁøÇàÇØ ¿Ô´Ù.
ÇöÀç ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º¿¡¼´Â 1¶óÀÎ(¸Þ¸ð¸®)°ú 2¶óÀÎ(¸Þ¸ð¸®¡¤ÆÄ¿îµå¸®)ÀÌ °¡µ¿ ÁßÀÌ°í 3¶óÀÎÀÌ ÇϹݱ⠾ç»êÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù. 3¶óÀο¡¼´Â EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀÌ Àû¿ëµÈ 14§¬(³ª³ë¹ÌÅÍ¡¤1§¬´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) D·¥°ú 5³ª³ë ·ÎÁ÷ Á¦Ç°À» ¾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. 4¶óÀÎÀº ºÎÁö Á¤¸® ÀÛ¾÷ÀÌ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "À¯°ü±â°ü°ú Áõ¼³ °ü·Ã ³íÀǸ¦ ½ÃÀÛÇÑ °ÍÀº ÅõÀÚ °èȹ¿¡ ´ëÇÑ ³»ºÎ °ËÅä°¡ »ó´ç ºÎºÐ ÁøôµÈ °ÍÀ¸·Î Çؼ®µÈ´Ù"¸ç "±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ÅõÀÚ °æÀïÀÌ ½ÉÈÇÏ¸é¼ (»ï¼ºÀÌ) ¾ðÁ¦µç Âø°ø¿¡ ³ª¼³ ¼ö ÀÖ´Â ±â¹Ý¸¦ ¸¶·ÃÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ"°í ÀüÇß´Ù.
ÃÖ±Ù »ï¼ºÀÌ ´ë±Ô¸ð ÅõÀÚ¸¦ ¿¹°íÇÑ ¸¸Å ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º ³»¿¡¼ ÀÌ·ÊÀûÀ¸·Î µ¿½Ã´Ù¹ßÀû Áõ¼³ÀÌ ÀÌ·ïÁú °¡´É¼ºµµ Á¦±âµÈ´Ù. P4¶óÀÎ °ø»ç°¡ ÁøÇàµÇ´Â °¡¿îµ¥ P5¶óÀÎ Âø°ø¿¡ µ¹ÀÔÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¾ê±â´Ù. P4¶óÀÎ °ø»ç´Â P3 ¶óÀÎÀÌ ¿ÃÇØ ÇϹݱ⠿ϰøµÈ ÀÌÈÄÀÎ ³»³â ÃʹÝÂë ½ÃÀÛµÉ °ÍÀ¸·Î °üÃøµÇ°í ÀÖ´Ù.
¾Õ¼ »ï¼º±×·ìÀº Áö³ 24ÀÏ ¾ÕÀ¸·Î 5³â°£ ÃÑ 450Á¶¸¦ ÅõÀÚÇÏ°Ú´Ù´Â °èȹÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼ ÃÊ°ÝÂ÷¸¦ ´õ¿í ¹ú¸®°í, Ãß°ÝÀÚ ÀÔÀåÀÎ ÆÕ¸®½º(¹ÝµµÃ¼ ¼³°è)¿Í ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê)¿¡¼ ¿ªÀüÀ» Àϱų»°Ú´Ù´Â Æ÷ºÎ¸¦ ÇÙ½ÉÀ¸·Î ³»¼¼¿ü´Ù. ÀÌ¿¡ ¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¸¸ Àüü ±Ô¸ðÀÇ 66%ÀÎ 300Á¶¿ø °¡·®À» ÅõÀÚÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
´ë±Ô¸ð ÅõÀÚ °èȹ µÚ¿¡´Â »ï¼ºÀÇ À§±â°¨ÀÌ ±ò·ÁÀÖ´Ù. »ï¼ºÀº ÅõÀÚ°èȹ ¹ßÇ¥¹®¿¡¼ ÇâÈÄ 5³âÀº »õ·Î¿î ¹Ì·¡ Áú¼°¡ ÀçÆíµÇ°í Çѱ¹ °æÁ¦ÀÇ ¹ßÀü°ú ¼è¶ôÀ» °¡¸£´Â º¯°îÁ¡ÀÌ µÉ °ÍÀ̶ó ¾ð±ÞÇß´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåµµ Áö³ 26ÀÏ Áß¼Ò±â¾÷Àδëȸ Çà»ç¿¡¼ '450Á¶¿ø ÅõÀÚÀÇ ÀǹÌ'¸¦ ¹¯´Â ÃëÀçÁø Áú¹®¿¡ "¸ñ¼û °É°í ÇÏ´Â °Í", "¾Õ¸¸ º¸°í °¡´Â °Í"À̶ó°í ¸»ÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â P5 Áõ¼³°ú °ü·ÃÇØ "±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î È®Á¤µÈ ³»¿ëÀº ¾ø´Ù"°í ¸»Çß´Ù.