반도체 장비 확보 1년 8개월만에 또 직접 뛴 이재용

이재용 삼성전자 부회장(왼쪽에서 세번째)이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번의 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO(최고경영자), 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO(최고기술책임자) 등과 함께 반도체 장비를 살펴보고 있다. 왼쪽에서 두번째는 경계현 삼성전자 DS(디바이스솔루션)부문 대표이사 사장. /사진제공=삼성전자

유럽 출장 중인 이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드의 반도체 장비업체 ASML 본사에서 피터 베닝크 CEO(최고경영자), 마틴 반 덴 브링크 CTO(최고기술책임자) 등을 만나 미래 반도체 트렌드와 중장기 사업 전략에 대해 의견을 나누고 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV(극자외선) 노광장비 수급 방안을 논의했다. ASML이 전 세계에서 유일하게 제작하는 EUV 장비를 안정적으로 확보하고 기술 협력을 확대해 차세대 성장동력인 파운드리(반도체 위탁생산) 분야의 경쟁력을 강화하는 한편, 메모리반도체 분야의 초격차를 키우기 위한 행보다.


EUV 노광장비는 극자외선 광원을 이용해 웨이퍼에 반도체 회로를 그리는 장비다. 불화아르곤을 사용하는 기존 기술보다 세밀한 회로를 새길 수 있어 인공지능(AI), 차세대 이동통신, 자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는 데 필수적이다. 삼성전자가 대만 TSMC 추월을 노리는 7나노미터(㎚, 1나노미터는 10억분의 1m) 파운드리 공정과 수십년째 시장 1위를 지키고 있는 메모리반도체 시장의 14나노 이하 차세대 공정에서 없어선 안 될 핵심장비다.

이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번의 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO(왼쪽에서 두번째), 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO(맨오른쪽)와, 경계현 삼성전자 DS(디바이스솔루션)부문 대표이사 사장과 기념사진을 촬영하고 있다. /사진제공=삼성전자

1대당 가격이 2000억~3000억원을 오가지만 반도체 장비 중에서도 특히 없어서 못 사는 장비로 꼽힌다. 전 세계에서 ASML 홀로 1년에 30~40대가량 만든다. 만드는 대로 팔리는 것은 물론, 중고 EUV 장비를 어디에서 사가는지도 업계에 오르내릴 정도다. EUV 장비가 글로벌 반도체 시장의 차세대 판도를 쥐고 있다는 평가까지 나온다. 올해 들어선 전 세계적인 반도체 수요 증가로 주요 반도체업체가 설비 투자를 늘리면서 EUV 장비 공급이 수요를 따라가지 못하는 상황이 더 심화됐다. 이 부회장이 2020년 10월 이후 1년 8개월만에 다시 ASML 본사를 찾은 배경이다.

삼성전자 관계자는 "EUV 장비 시장을 독점한 ASML과의 협력 강화는 삼성이 반도체 초격차를 확대하고 한국이 반도체 초강대국으로 성장하기 위한 필수조건"이라며 "이를 위해서는 안정적인 EUV 장비 수급이 중요하다는 판단에 따라 이 부회장이 직접 EUV 확보전에 뛰어든 것"이라고 말했다.

이재용 삼성전자 부회장(왼쪽에서 세번째)이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번의 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO(최고경영자), 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO(최고기술책임자) 등과 함께 반도체 장비를 살펴보고 있다. 왼쪽에서 두번째는 경계현 삼성전자 DS(디바이스솔루션)부문 대표이사 사장. /사진제공=삼성전자

이 부회장이 직접 나서면서 업계에서는 삼성전자가 장비 확보에서 유리한 고지를 선점했다는 얘기가 나온다. 이 부회장이 글로벌 네트워크를 활용해 해결사의 면모를 다시 한번 드러냈다는 평가다. 2020년 10월 당시에도 이 부회장이 ASML을 방문한 뒤 EUV 장비 확보전에서 TSMC에 밀렸던 삼성전자의 숨통이 틔였던 것으로 전해진다. 2016년 OLED(유기발광다이오드) 증착 장비 확보전 때도 이 부회장이 일본으로 직접 날아가 캐논과 장기 계약을 성사시키면서 삼성디스플레이가 소형 OLED 디스플레이 패널시장에서 80%를 웃도는 압도적인 점유율을 확보했다.


이 부회장과 ASML 경영진은 그동안 한국과 네덜란드에서 수시로 만나 기술 로드맵과 중장기 사업 계획 등을 공유하면서 전략적 협력 관계를 유지해 왔다. 2012년 삼성전자가 ASML 지분 투자를 통해 파트너십을 강화한 뒤 2016년 11월 베닝크 CEO를 포함한 ASML 경영진이 삼성전자를 방문해 차세대 EUV 기술 개발 현황을 설명하고 중장기 투자 계획에 대한 의견을 나눴다.

이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번의 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO(왼쪽), 마틴 반 덴 브링크 ASML CTO(오른쪽)와 기념사진을 촬영하고 있다. /사진제공=삼성전자

업계 한 인사는 "'슈퍼을(乙)'로 불리는 ASML과의 파트너십은 반도체 제조사의 최우선 과제 중 하나"라며 "양사의 수어지교(水魚之交·물과 물고기처럼 떨어져 살 수 없는 긴밀한 관계)는 이 부회장의 뚝심과 지속적인 관심이 이룬 결실"이라고 말했다.

이 부회장은 이날 네덜란드 헤이그에서 마르크 뤼터 네덜란드 총리도 만나 최첨단 파운드리 역량 강화를 위한 협력 확대와 글로벌 반도체 공급망 문제 해소 등 포괄적인 협력 방안을 논의했다. 두 사람이 만난 것은 2016년 9월 이후 6년만이다. 이 부회장이 만난 뤼터 총리는 폴리티코(2016년 4월), 인스티튜트 포 유럽(2022.3월) 등 유력 정치매체에서 '차기 EU(유럽연합) 정상회의 의장'으로 거론하는 최고위급 인사다.


이 부회장은 ASML 방문 다음날인 15일(현지시간)에는 벨기에 루벤에 있는 유럽 최대 규모의 종합반도체 연구소 imec을 방문해 루크 반 덴 호브 CEO와 반도체 분야 최신 기술과 연구개발 방향 등을 논의했다. 이 부회장은 imec에서 최첨단 반도체 공정기술 외에 인공지능, 생명과학, 미래 에너지 등 imec에서 진행 중인 첨단분야 연구 과제를 소개받고 연구개발 현장도 살펴봤다.

이 부회장의 imec 방문은 미래 전략사업 분야에서 신기술을 개발하고 시장을 선도하기 위한 차원에서 이뤄졌다는 평가다. 삼성은 지난달 반도체 분야를 비롯해 바이오, 신성장 IT(AI·차세대 통신) 등 미래 신사업을 중심으로 향후 5년 동안 450조원을 투자하겠다는 중장기 계획을 발표했다. imec은 반도체를 중심으로 인공지능, 생명과학·바이오, 미래 에너지까지 다양한 분야의 선행 연구를 진행해 삼성의 미래 전략 사업분야와 맞물린다.

업계에서는 이 부회장이 ASML과 imec을 잇따라 찾은 것을 두고 삼성이 차세대 기술 개발과 미래시장 개척에 속도를 내겠다는 또 하나의 신호탄이라는 해석도 나온다. 안기현 한국반도체산업협회 전무는 "메모리반도체를 넘어 파운드리와 팹리스(반도체 설계)까지 아우르는 이 부회장의 '반도체 비전'이 달성된다면 삼성전자가는 반도체 3대 분야를 모두 주도하는 초유의 기업으로 도약할 수 있다"며 "대한민국에 삼성전자 규모의 기업이 하나 이상 더 생기는 효과를 기대할 수 있을 것"이라고 말했다.