![]() |
±è»óÇö Ä«À̽ºÆ®(KAIST¡¤Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø) Àü±â¹×ÀüÀÚ°øÇкΠ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ ÃÖ±Ù ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ¿ë ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¸¦ °³¹ßÇß´Ù. »çÁøÀº ¿¬±¸°³¹ß°ú °ü·Ã ¾øÀ½. / »çÁø=°ÔƼÀ̹ÌÁö¹ðÅ© |
±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ ±ØÀú¿Â¿¡¼ µ¿ÀÛÇÏ´Â ÃÊÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¡¤È¸·Î ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ´ëÇü ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ ÇÙ½É ¼ÒÀÚ·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
31ÀÏ Çѱ¹¿¬±¸Àç´Ü¿¡ µû¸£¸é, ±è»óÇö Ä«À̽ºÆ®(KAIST¡¤Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø) Àü±â¹×ÀüÀÚ°øÇкΠ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ±âÁ¸ CMOS(»óº¸Çü ±Ý¼Ó»êȸ· ¹ÝµµÃ¼) ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÑ 3Â÷¿ø ¼ÒÀÚ¿Í ±ØÀú¿Â¿¡¼ µ¿ÀÛÇÏ´Â ÃÊÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¡¤È¸·Î ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. °ü·Ã ¿¬±¸´Â ±¹Á¦ÀüÀÚ¼ÒÀÚÇÐȸ¿¡ ¹ßÇ¥µÆ´Ù.
Àü ¼¼°è °øÇÐÀÚµéÀº ³í¸® ¿¬»êÀ» ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ '·ÎÁ÷ ¼ÒÀÚ'¸¦ ¼ÒÇüÈÇϱâ À§ÇØ ³ë·ÂÇØ¿Ô´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¹°¸®Àû ÇѰè·Î ´õÀÌ»ó ¼ÒÇüȰ¡ ¾î·Æ°í, ¼ÒÇüȸ¦ ÇÑ´Ù°í ÇÏ´õ¶óµµ ¹è¼±ÀÇ ¼±Æø °¨¼Ò µîÀ¸·Î ¼º´ÉÀ» ´Ã¸®±â ¾î·Á¿î ÇѰ谡 ÀÖ¾ú´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó '¸ð³î¸®½Ä 3Â÷¿ø ÁýÀû±â¼ú'(M3D)ÀÌ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ÀûÃþ ±â¼ú°ú ´Þ¸® ´ÜÀÏ È¸·Î¸¦ 3Â÷¿øÀ¸·Î ÀûÃþÇØ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀ̰í, ¼ÒÀÚ¸¦ ¿¬°áÇÏ´Â ¹è¼± ÀúÇ×À» ȹ±âÀûÀ¸·Î ÁÙÀÏ ¼ö À־Ù. ´Ù¸¸ ÀûÃþÀÌ ±î´Ù·Ó°í, »óºÎ ¼ÒÀÚ °øÁ¤¿¡ ¿À» °¡Çϸé ÇϺΠ¼ÒÀÚ°¡ ½±°Ô ¼Õ»óµÇ´Â ¾î·Á¿òÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº M3D ±â¼úÀ» °íµµÈÇØ À̰°Àº ÇѰ踦 ±Øº¹Çß´Ù. °í¼º´É °Ô¸£¸¶´½/½Ç¸®ÄÜ(Ge/Si) ÇÏÀ̺긮µå CFET(»óº¸Çü Àü°è È¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ)À» °³¹ßÇØ ±âÁ¸ ÇѰ踦 ³Ñ¾î¼¹´Ù. ¶Ç ±ØÀú¿Â¿¡¼ µ¿ÀÛÇÏ´Â '°íÁýÀûµµ¡¤ÃÊÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¡¤È¸·Î'¸¦ °³¹ßÇß´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀº ÃÊÀüµµÃ¼ ȤÀº ½Ç¸®ÄÜ(Si) ¾çÀÚÁ¡À» »ç¿ëÇÏ´Â ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ¿¡ ÀûÇÕÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ´Â ÀÏ¹Ý ÄÄÇ»ÅÍ¿Í ´Þ¸® ±ØÀú¿Â¿¡¼ µ¿ÀÛÇÏ¸ç ¼ö¸¸ °³ÀÇ È¸·Î·Î ¿¬°áµÅ ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ¿¡ µé¾î°¡´Â ÀúÀâÀ½ ÁõÆø±â ¼ÒÀÚ´Â ±ØÀú¿Â ÀÛµ¿ÇÏ¸é¼ ¿ ¹ß»ýÀÌ ÃÖ´ëÇÑ Àû¾î¾ß ÇϹǷΠÃÊÀúÀü·Â ¼ÒÀÚ°¡ ±¸ÇöµÅ¾ß ÇÑ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ±ØÀú¿Â¿¡¼ µ¿ÀÛÇÏ´Â ÀúÀúÇ×, ÃÊÀúÀü·Â ÀúÀâÀ½ ÁõÆø ¼ÒÀÚ¿Í ¶ó¿ìÆÃ(³×Æ®¿öÅ© °æ·Î¼³Á¤) ¼ÒÀÚ¸¦ ±¸ÇöÇß´Ù. ¶Ç ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¼º´ÉÀ» ³ªÅ¸³»´Â 'Á¤°ø À̵¿µµ'¸¦ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀ¸·Î ±¸ÇöÇß´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó ¿¬±¸ÆÀÀÌ ±¸ÇöÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¿Í °øÁ¤ ±â¼úÀº ÇâÈÄ ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ¿ë ¼ÒÀÚ °³¹ß¿¡ ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô È°¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
±è»óÇö ±³¼ö´Â "À̹ø ¿¬±¸´Â ÀûÃþ °øÁ¤°ú ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛ ½Ã ÇÊ¿äÇÑ ³ôÀº °øÁ¤ ¿Âµµ¸¦ ¾ïÁ¦ÇÏ´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ Àú¿Â °øÁ¤À» °³¹ßÇØ ±âÁ¸ ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÑ °Í"À̶ó¸ç "¹Ì·¡ °úÇбâ¼ú º¯È¸¦ ÁÖµµÇÒ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÌ ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀÚ µîÀ¸·Î ±¤¹üÀ§ÇÏ°Ô »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÈÄ¼Ó ¿¬±¸¿¡ Èû¾²°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù.