±¸°©·Ä ½ê´Ð ´ëÇ¥(»çÁø ¿À¸¥ÂÊ)°¡ 'Á¦58ȸ ¹ß¸íÀÇ ³¯' ±â³ä½Ä¿¡¼ 'ÀºÅ¾»ê¾÷ÈÆÀå'À» ¹Þ°í À±¼®¿ ´ëÅë·É°ú ±â³ä»çÁøÀ» ÃÔ¿µ ÁßÀÌ´Ù/»çÁøÁ¦°ø=½ê´Ð |
¹ß¸íÀÇ ³¯ ±â³ä½ÄÀº ¹ß¸íÀÇ Á߿伺À» ¾Ë¸®°í, ±¹°¡ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÑ ¹ß¸í À¯°øÀÚ¸¦ ½Ã»óÇÏ´Â Çà»ç´Ù. »ê¾÷ÈÆÀåÀº ±¹°¡ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÑ °øÀûÀÌ ¶Ñ·ÇÇÑ ÀÚ¿¡°Ô ¼ö¿©ÇÏ´Â ÈÆÀåÀ¸·Î, ÀºÅ¾»ê¾÷ÈÆÀåÀº 5µî±Þ Áß µÎ ¹ø°·Î ³ôÀº µî±ÞÀÌ´Ù.
±¸°©·Ä ½ê´Ð ´ëÇ¥´Â Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç ±â¼ú ±¹»êÈ ¹× SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç °ü·Ã Áö½ÄÀç»ê±Ç 225°Ç È®º¸ µî ±¹³» ±â¼ú °æÀï·Â °È¿¡ ±â¿©ÇÑ °ø·Î¸¦ ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ À̹ø Çà»ç¿¡¼ 'ÀºÅ¾»ê¾÷ÈÆÀå'À» ¸ñ¿¡ °É¾ú´Ù.
ȸ»ç¿¡ µû¸£¸é ±¸°©·Ä ´ëÇ¥´Â SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç°¡ ÁÖ¸ñ¹ÞÁö ¸øÇß´ø 2000³â´ë ÃʹݺÎÅÍ µ¿ÀÇ´ëÇб³ ¿¬±¸¿øÀ¸·Î 2ÀÎÄ¡ SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç ±â¼ú °³¹ßÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. 2004³â¿¡´Â ¹Ú»ç °úÁ¤ º¥Ã³ â¾÷À» ÅëÇØ ±¹³» SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç ±¹»êÈ¿¡ ½Ãµ¿À» °É¾ú´Ù. 2010³â SKC¿¡ ÇÕ·ùÇØ 4ÀÎÄ¡ SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç ±â¼ú °³¹ßÀ» ¿Ï¼ºÇß´Ù. ÇöÀç´Â ½ê´ÐÀÇ ´ëÇ¥ÀÌ»ç·Î¼ ÇØ¿Ü ¼±µÎ ±â¾÷µé°ú µ¿µîÇÑ Ç°ÁúÀÇ Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë 150mm SiC ±âÆÇ ±â¼ú °³¹ß¿¡ ¼º°øÇØ ¾ç»êÀ» Áغñ ÁßÀÌ´Ù.
±¸°©·Ä ´ëÇ¥´Â "SiC ±âÆÇ ¼ÒÀç ±¹»êÈ·Î ±¹°¡ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¿µ±¤"À̶ó¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ SiC ¼ÒÀç ±â¼úÀ» ´õ °íµµÈÇØ Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀç»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °íÁÖÆÄÅë½Å¹ÝµµÃ¼¿ë ¼ÒÀç·Î ÀÀ¿ëÀ» È®´ëÇØ ±¹°¡ °æÀï·Â °È¿¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí ½ê´ÐÀº ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Àü·Â¹ÝµµÃ¼¿ë SiC À×°÷ ¹× ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶È¸»ç´Ù. Àü·«Àû ÅõÀÚ ¹× IPO(±â¾÷°ø°³)¸¦ ÅëÇÑ 150mm SiC ±âÆÇ ¾ç»êÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù. 200mm SiC ±âÆÇ ¹× °íÁÖÆÄÅë½Å¼ÒÀÚ¿ë 150mm SiC ±âÆÇÀÇ °³¹ßµµ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.