±â½Ã´Ù ÈĹ̿À ÀϺ» ÃѸ®°¡ 8ÀÏ ¿ÀÀü ¼¿ï Áß±¸ ·Ôµ¥È£ÅÚ¿¡¼ Á¤Áø¼® ÇÑÀÏÀÇ¿ø¿¬¸Í ȸÀå, À±È£Áß °£»çÀåÀ» ¸é´ãÇϱâ À§ÇØ À̵¿ÇÏ°í ÀÖ´Ù./ »çÁø=´º½º1 |
ºí·ë¹ö±×´Â À͸íÀÇ °ü°èÀÚ¸¦ Àοë, "¸¶ÀÌÅ©·ÐÀº È÷·Î½Ã¸¶ °øÀå¿¡ ASMLÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) °øÁ¤ Àåºñ¸¦ ¼³Ä¡ÇÑ µÚ D·¥ ĨÀ» Á¦Á¶ÇÒ ¿¹Á¤"À̶ó°í ¹àÇû´Ù. EUV´Â ¹ÝµµÃ¼ Ãʹ̼¼ °øÁ¤À» °¡´ÉÄÉ ÇÏ´Â ±â¼ú·Î, ASMLÀº ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ´Â ³×´ú¶õµå ¾÷ü´Ù. ÀϺ» ¾÷üÀÎ µµÄìÀÏ·ºÆ®·ÐÀº EUV ±â¼úÀ» Áö¿øÇÏ´Â ¾÷üµé°ú ¹°¹Ø¿¡¼ °è¼Ó Á¢ÃËÇØ¿Ô´Ù°í ÇÑ´Ù.
ºí·ë¹ö±×´Â "¸¶ÀÌÅ©·ÐÀº À̹ø Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ³»³â Ãâ½Ã¸¦ °èȹÇÏ°í ÀÖ´Â 1°¨¸¶(¥ã, 10³ª³ë±Þ 6¼¼´ë) D·¥ »ý»ê¿¡ µé¾î°¥ °Í"À̶ó¸ç "¸¶ÀÌÅ©·Ðµµ È÷·Î½Ã¸¶ °øÀå Áõ¼³¿¡ ÀÚº»À» ÅõÀÔÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ"°í Àü¸ÁÇß´Ù.
¸¶ÀÌÅ©·ÐÀÌ 2013³âºÎÅÍ ÀϺ»¿¡ ÅõÀÚÇÑ ¾×¼ö´Â 13¾ï ´Þ·¯(¾à 1Á¶7330¾ï¿ø)¿¡ À̸¥´Ù. ÀÌ¿¡ ÀϺ» Á¤ºÎ´Â Áö³ÇØ 9¿ù ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀÇ È÷·Î½Ã¸¶ °øÀå °Ç¼³¿¡ º¸Á¶±Ý 465¾ï¿£À» ¾à¼ÓÇÏ´Â µî Áö¿ø¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇØ¿Ô´Ù. À̳¯ º¸µµ¿¡ µû¸£¸é ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀº °¨¸¶ °øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ¾ÕÀ¸·Î ¼ö³â°£ ÃÖ´ë 5000¾ï¿£(4Á¶8440¾ï¿ø)À» ÅõÀÚÇÒ °èȹÀ̸ç, ÀÌ°÷¿¡¼ °¨¸¶ ¼¼´ë D·¥ Àüü »ý»ê·®ÀÇ 3ºÐÀÇ 1À» ¸¸µé ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ºí·ë¹ö±×´Â "À̹ø Àμ¾Æ¼ºê Á¦°øÀº ÀÚ±¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» °³¹ßÇÏ°Ú´Ù´Â ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¾ß½ÉÀÌ ´ã±ä °Í"À̶ó¸ç Áß±¹ÀÌ ºÒÆíÇÑ ½É±â¸¦ º¸ÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í Àü¸ÁÇß´Ù. Áß±¹Àº ÃÖ±Ù ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀ» »ó´ë·Î »çÀ̹öº¸¾È Á¶»ç¿¡ Âø¼öÇß´Ù. Áß±¹ ´ç±¹Àº "±¹°¡¾Èº¸ À¯Áö¸¦ À§ÇÑ Á¶»ç"¶ó°í ¼³¸íÇßÀ¸³ª, ¹Ì±¹ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Àç¿¡ ´ëÇÑ º¸º¹À̶ó´Â °Ô Áß·ÐÀÌ´Ù.
ÀϺ» ¸®¼Ä¡¾÷ü ¿À¹Ì´Ù ¼Ò¼Ó ºÐ¼®°¡ ¹Ì³ª¹ÌÄ«¿Í ¾ÆÅ°¶ó´Â ºí·ë¹ö±×¿¡ "¸¶ÀÌÅ©·ÐÀÇ È÷·Î½Ã¸¶ °øÀåÀº G7ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¸ÁÀ» °ÈÇÏ´Â µ¥ ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÒ °Í"À̶ó¸ç "¸¶ÀÌÅ©·Ð¿¡°Ô °¡Àå Áß¿äÇÑ °ÅÁ¡ Áß Çϳª"¶ó°í Çß´Ù.
ÇÑÆí ¿µ±¹ Á¤ºÎ ¹ßÇ¥¿¡ µû¸£¸é ¸®½Ã ¼ö³« ¿µ±¹ ÃѸ®´Â À̳¯ ±â½Ã´Ù ÃѸ®¿Í È÷·Î½Ã¸¶¿¡¼ ȸ´ãÇÑ ÀÌÈÄ 'È÷·Î½Ã¸¶ ÇùÁ¤'À» ¹ßÇ¥ÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¾Èº¸¡¤¹«¿ª¡¤R&D µî ¿©·¯ ºÐ¾ß¿¡¼ ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ¸Î°í Çù·ÂÀ» °ÈÇÑ´Ù´Â °ÍÀÌ °ñÀÚ´Ù. ¿µ±¹ Á¤ºÎ ¹ßÇ¥¿¡ µû¸£¸é È÷·Î½Ã¸¶ ÇùÁ¤À» ÅëÇØ ÀϺ»°ú ¿µ±¹Àº ¹ÝµµÃ¼ R&D Çù·Â°ú ±â¼ú±³·ù, ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¸Á ¾ÈÁ¤À» ¸ñÇ¥·Î ¹ÝµµÃ¼ ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ü°áÇÑ´Ù.