¼Õ°æÀÍ(°¡¿îµ¥) ½Ã³ëÆ彺 ´ëÇ¥°¡ ¼ö»óÇÏ´Â ¸ð½À/»çÁøÁ¦°ø=½Ã³ëÆ彺 |
5ÀÏ ½Ã³ëÆ彺´Â À̳¯ °í·Á´ë ÀÎÃ̱â³ä°ü¿¡¼ ¿¸° ±â³ä½Ä¿¡¼ ¼Õ°æÀÍ ´ëÇ¥°¡ Æ÷»ó ÃÖ°í µî±ÞÀÎ ±¹¹ÎÈÆÀå µ¿¹é»óÀ» ¹Þ¾Ò´Ù°í ¹àÇû´Ù.
±¹¹ÎÈÆÀåÀº ´ëÇѹα¹ Á¤ºÎ¿¡¼ ¼ö¿©ÇÏ´Â ÃÖ°í »óÈÆÀ¸·Î, Á¤Ä¡¡¤°æÁ¦¡¤±³À°¡¤ÇмúºÐ¾ß¿¡¼ °øÀ» ¼¼¿ö ±¹¹Îº¹Áö Çâ»ó°ú ±¹°¡ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÑ °ø·Î·Î ¼ö¿©µÇ´Â Æ÷»óÀÌ´Ù. µ¿¹éÀåÀº ¹«±ÃÈÀå, ¸ð¶õÀå¿¡ ÀÌÀº 3µî±Þ »óÈÆÀÌ´Ù.
½Ã³ëÆ彺´Â Çѱ¹ÀÇ ÇÊÅÍ»ê¾÷ ŵ¿±âÀÎ 1985³âºÎÅÍ ¸âºê·¹ÀÎ ÇÊÅÍÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß·Î ¼öÀÔÁ¦Ç°ÀÇ ±¹»êȸ¦ ÅëÇÑ »ê¾÷¿¡ À̹ÙÁöÇÑ °ø·Î¿Í ÇÔ²² ģȯ°æ ¸âºê·¹ÀÎ ºÐ¸®¸· Á¤¼ö½Ã½ºÅÛ º¸±Þ¿¡ ³ë·ÂÇÑ °ø·Î¸¦ ÀÎÁ¤ ¹Þ¾Ò´Ù.
½Ã³ëÆ彺´Â Àü·® ¼öÀԵǴø ¹ÝµµÃ¼¿ë ÈÇÐÀû¡¤¹°¸®Àû ¿¬¸¶(CMP) ÇÊÅ͸¦ ±¹»êÈÇØ ÇöÀç ±Û·Î¹ú 1À§ ¹ÝµµÃ¼ ȸ»ç¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. Áßµ¿ Çؼö´ã¼öÈ °ü·Ã 3°³ÀÇ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ Âü¿©ÇØ °ø±ÞÇÑ Æó¼ö󸮽ýºÅÛÀÌ ¼º°øÀûÀ¸·Î ¿î¿µµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÇöÀç ½Ã³ëÆ彺´Â ±èõ¿¡ ±¹³» ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ¸âºê·¹ÀÎ ÇÊÅÍ »ý»ê½Ã¼³À» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù. Àεµ³×½Ã¾Æ¿¡´Â ģȯ°æ ¸âºê·¹ÀÎ ¹æ½ÄÀÇ Á¤¼ö½Ã½ºÅÛÀ» Á÷Á¢ ¼³Ä¡ ¿î¿µÇϸç ź¼Ò¹èÃâ±Ç ȹµæÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¼Õ ´ëÇ¥´Â"±×µ¿¾È ÷´Ü »ê¾÷¿ë ÇÊÅÍÁ¦Ç°¿¡ »ç¿ëµÈ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ ÀϹÝÀεéÀÌ °ø±â ¿À¿°°ú ¼öÁú ¿À¿°À¸·ÎºÎÅÍ ¾ÈÀüÇÏ°í °Ç°ÇÑ »î¿¡ º¸ÅÆÀÌ µÇ°íÀÚ ½Ã³ëÅؽº ¸¶½ºÅ©¿¡ À̾î ÃÖ±Ù ½Ã³ëÅؽº ¾Û¼Ö·çÆ® Á¤¼ö ÇÊÅ͸¦ Ãâ½ÃÇß´Ù"°í ¹àÇû´Ù.