Áö³´Þ ½º¸¶Æ®°øÀ塤ÀÚµ¿È»ê¾÷Àü¿¡¼ ¸¸³ ÇÑ ¹ÝµµÃ¼±â¾÷ °íÀ§ °ü°èÀÚÀÇ ¸»ÀÌ´Ù. ÀÌ °ü°èÀÚ´Â ÀÚ»ç °øÀåÀÌ ´ëºÎºÐ ÀϺ» ¹Ì¾²ºñ½ÃÀÇ Àåºñ¸¦ ¾´´Ù¸é¼ ±¹»ê Àåºñ¸¦ ã¾Æº¸±â ¾î·Æ´Ù°í ÁöÀûÇß´Ù. ±¹³» Àåºñ±â¾÷ÀÇ ±â¼ú ¼öÁØÀÌ ¸¹ÀÌ ¿Ã¶ó¿ÔÁö¸¸, ¿©ÀüÈ÷ ¿Ü±¹»ê Àåºñ¿¡ ºñÇØ °æÀï·ÂÀÌ ³ôÁö ¾Ê¾Æ ¹ÝµµÃ¼ ÀÚ¸³±îÁö´Â ¾ÆÁ÷ °¥ ±æÀÌ ¸Ö´Ù´Â ¸»µµ µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÀÌ ¸»¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ ¿À·£ °í¹ÎÀÌ ¹¯¾î ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µå´Â ±â¼úÀº »ï¼ºÀüÀÚ¡¤SKÇÏÀ̴нº°¡ ¼¼°è 1~2À§¸¦ ´ÙÅõÁö¸¸, Àåºñ ¾÷°è´Â ¾ÆÁ÷ µÚóÁ® ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ½ÃÀåÀº ¹Ì±¹°ú ³×´ú¶õµå, ÀϺ»ÀÌ ¾à 80%¸¦ °úÁ¡ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±Û·Î¹ú 10À§ ¾È¿¡ ¿ì¸® ±â¾÷Àº ÇÑ °÷µµ ¾ø´Ù. ¼¼°èÀû ±â¾÷À» º¸À¯ÇÏ°íµµ Á¤ÀÛ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µå´Â µµ±¸´Â ½º½º·Î ¸ø ¸¸µå´Â ¼ÀÀÌ´Ù.
Áß±¹À» º¸´õ¶óµµ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ Á߿伺Àº µÎ¸»ÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ¾ø´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ±¼±â¸¦ ¿ÜÄ¡¸ç ÀÚ¸³À» ÀÚ½ÅÇßÁö¸¸, ¹Ì±¹ÀÌ Àåºñ¸¦ Ʋ¾î¸·ÀÚ ¾çÂê°¸Þ¸ð¸®(YMTC) µî ´ëÇü ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÌ ÁÙÁö¾î °í²Ù¶óÁ³´Ù. ±Ã¿©ÁöÃ¥À¸·Î ÀϺ» Àåºñ ¼öÀÔ¿¡ ³ª¼¹Áö¸¸, ¸·Èú À§±â¿¡ óÇÏÀÚ Á¤ºÎ±îÁö ³ª¼ '±ÔÁ¦°¡ °úµµÇÏ´Ù'°í È£¼ÒÇÑ´Ù.
Çѱ¹Àº Áß±¹ ´ÙÀ½À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ ¸¹ÀÌ ¼öÀÔÇÏ´Â ³ª¶ó Áß Çϳª´Ù. ¼¼¸Þ½º¿Í ¿øÀÍIPS, Çѹ̹ݵµÃ¼ µîÀÌ ºÐÀü ÁßÀÌÁö¸¸ ASMLÀ̳ª ¾îÇöóÀ̵å¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî, µµÄìÀÏ·ºÆ®·Ð¿¡ ¸ø ¹ÌÄ£´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ÀÚ¸³ÈÀ²Àº 20% ¼öÁØÀ̸ç, À̸¶Àúµµ ´ëºÎºÐ Àú°¡ Àåºñ´Ù. ÷´Ü °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â EUV(³ë±¤Àåºñ) Àåºñ µîÀº °æÀï·ÂÀÌ '0'¿¡ °¡±õ´Ù.
±¹³» Àåºñ±â¾÷À» Å°¿ì°í, ÇØ¿Ü ¼öÁÖ¸¦ µû³¾ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹Ð¾îÁà¾ß ¹ÝµµÃ¼°¡ °Ç°ÇØÁú ¼ö ÀÖ´Ù. ÁÖ¿ä Áö¹æÀÚġü°¡ ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ƯȴÜÁö¸¦ ¼±Á¤ÇØ Áö¿øÀ» ´Ã¸®´Â °ÍÀº ¹Ý°¡¿î ÀÏÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷µµ °æÀï·ÂÀ» ²ø¾î¿Ã¸®±â À§ÇØ ¾Ö¸¦ ½á¾ß ÇÑ´Ù. ´ëÇü °í°´»çµéÀÌ ÁñºñÇÑ È¯°æÀ» Àß È°¿ëÇØ Àû±Ø Çù¾÷¿¡ ³ª¼°í, ¿¬±¸°³¹ßµµ Áö¼ÓÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ¡¤SKÇÏÀ̴нº´Â ±¹»ê ÀåºñÀÇ ±â¼ú ¼öÁØÀÌ ¿Ã¶ó¿Â´Ù¸é ¾ðÁ¦µç ¹ÞÀ» Áغñ°¡ µÅ ÀÖ´Ù. °ø±Þ À§ÇèÀ» ³·Ãß°í, ºñ¿ë ºÎ´ãÀ» ÁÙÀÌ´Â °ÍÀº ÀÌµé ±â¾÷ÀÌ ¿øÇÏ´Â ¹Ù´Ù. '¸ÞÀ̵å ÀÎ ÄÚ¸®¾Æ' ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷ÀÇ ºÐÀüÀ» ±â´ëÇÑ´Ù.
¿ÀÁø¿µ ±âÀÚ¼öø »çÁø /»çÁø=¿ÀÁø¿µ |