Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿øÀÌ Áö³ 6¿ù °ø°³ÇÑ ÃÊÀüµµ ±â¹Ý 50Å¥ºñÆ® ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ ¸ðÇü. / »çÁø=´º½Ã½º |
8ÀÏ Á¤º¸´ç±¹¿¡ µû¸£¸é ±¹°¡Á¤º¸¿øÀº ÃÖ±Ù '±¹°¡¾Èº¸±â¼ú¿¬±¸¿ø¹ý Á¦Á¤¾È'À» ¸¶·ÃÇÏ°í ÀÔ¹ý¿¹°íÇß´Ù. AI(ÀΰøÁö´É)¿Í ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ µî ½Å±â¼ú °³¹ß·Î ÆÄ»ýµÇ´Â ¾Èº¸ À§ÇùÀ» ¼±Á¦ ´ëºñÇÏ°Ú´Ù´Â ÃëÁö´Ù. ´ëÇ¥ÀûÀ¸·Î ¾çÀÚ ±â¼úÀº ½Å¾à °³¹ß µî Àηù¿¡ ±â¿©ÇÏ´Â ºÐ¾ß¿¡µµ ¾²ÀÏ ¼ö ÀÖÁö¸¸ »çÀ̹ö ÇØÅ· µî¿¡ ¿À³²¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ´Â Áßø¡¤¾ôÈû µîÀÇ Æ¯¼º¿¡ µû¶ó Á¤º¸ ÀúÀå·®°ú ¿¬»ê ¼Óµµ°¡ ±âÁ¸ ÄÄÇ»Åͺ¸´Ù ¿ùµîÈ÷ ³ô´Ù. ±¸±ÛÀÌ ½´ÆÛÄÄÇ»ÅÍ·Î 1¸¸³â °É¸± °è»êÀ» ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ·Î 200ÃÊ ¸¸¿¡ Ç®¾ú´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÑ °Ô ´ëÇ¥ÀûÀÎ »ç·Ê´Ù. ÀÌ ±â¼úÀ» È°¿ëÇÏ¸é ±âÁ¸ ÄÄÇ»ÅÍ º¸¾Èü°è µîÀ» ¹«·ÂÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
±¹Á¤¿øÀÌ 1961³â Áß¾ÓÁ¤º¸ºÎ·Î Ãâ¹üÇÑ ÀÌ·¡ óÀ½À¸·Î ¹ý·ü·Î »êÇϱâ°ü ¼³Ä¡¸¦ ÃßÁøÇÏ´Â ¹è°æµµ ÀÌ·± ¾Èº¸À§Çù¿¡ ´ëºñÇϱâ À§ÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ±¹È¸ Á¤º¸À§¿øȸ¿¡¼ ¿©¾ßµµ ±¹°¡¾Èº¸±â¼ú¿¬±¸¿ø¹ý Á¦Á¤¾È¿¡ Å« ÀÌ°ßÀÌ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ±â¼ú º¸È£ÁÖÀÇ ±âÁ¶´Â ³¯·Î °ÝÈÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹Ì±¹ »ó¹«ºÎ »ê¾÷¾Èº¸±¹Àº Áö³ 5ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ, Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ µî ±¹°¡¾Èº¸¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ÃÖ÷´Ü ±â¼ú Ç°¸ñ 24°³¿¡ ´ëÇØ »õ·Î¿î ¼öÃâ ÅëÁ¦¸¦ ½Ç½ÃÇß´Ù. Áß±¹¡¤·¯½Ã¾Æ µîÀ» °Ü³ÉÇÑ Á¶Ä¡·Î ¿µ±¹¡¤ÀϺ»¡¤ÇÁ¶û½º µî¿¡ ¼öÃâÇÒ ¶§´Â ¿¹¿Ü¸¦ Àû¿ëÇϱâ·Î Çß´Ù. ±×·¯³ª µ¿¸ÍÀÎ Çѱ¹Àº ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ¿¹¿Ü ´ë»ó¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
³×´ú¶õµå ¶ÇÇÑ Áö³ 6ÀÏ ÀÚ±¹ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü ASMLÀÇ ±¸Çü Àåºñ 2Á¾¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ ÅëÁ¦¸¦ ½Ç½ÃÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ±âÁ¸ ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ´Â ÀÌ¹Ì ¼öÃâ ÅëÁ¦ ´ë»óÀε¥ ±¸Çü Àåºñ±îÁö Æ÷ÇÔ½ÃÄ×´Ù. ÀÌ ¿ª½Ã Áß±¹À» °Ü³ÉÇÑ Á¶Ä¡·Î Ç®À̵ȴÙ. À¯·´ µî ¼¹æ ÁÖ¿ä±¹µéÀº ¹Ì±¹ÀÇ ´ëÁß Ã·´Ü±â¼ú ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡ º¸Á¶¸¦ ¸ÂÃß°í ÀÖ´Ù.
±¹Á¤¿ø °ü°èÀÚ´Â "±Þº¯ÇÏ´Â ±Û·Î¹ú ¾Èº¸È¯°æ¿¡ ±â¹ÎÇÏ°Ô ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ °ü·Ã ±â¼úÀ» Àû½Ã¿¡ ¼ö±ÞÇÏ´Â °ÍÀÌ ±ä¿äÇÑ »óȲ"À̶ó¸ç "°íµµÀÇ º¸¾È¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ¾Èº¸±â¼úÀÇ Æ¯¼º»ó ¹Î°£À» ÅëÇÑ ±â¼úÈ®º¸¿¡´Â ÇÑ°è°¡ ÀÖ¾î ¾Èº¸±â¼ú °³¹ßÀ» Àü´ãÇÒ ±¹°¡¾Èº¸±â¼ú¿¬±¸¿øÀ» ¼³¸³ÇÏ·Á´Â °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.