ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀÌ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ÇؿܸÅÃâÀÌ ±ÞÁõÇÏ¸é¼ Áö³ÇØ »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀûÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº Áö³ÇØ ¸ÅÃâ°ú ´ç±â¼øÀÌÀÍÀÌ °¢°¢ »ç»ó ÃÖ´ëÀÎ 2120¾ï¿ø°ú 382¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù°í 21ÀÏ ¹àÇû´Ù. ÀÌÀü±îÁö ÃÖ´ë ½ÇÀûÀº 2004³â¿¡ ±â·ÏÇÑ ¸ÅÃâ 1668¾ï¿ø°ú ´ç±âÀÌÀÍ 340¾ï¿øÀ̾ú´Ù.
ÁÖ¼º ÃøÀº ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÎ ¿øÀÚÃþÁõÂøÀåºñ(ALD)¸¦ ÇÏÀ̴нº µî¿¡ ÀÌ¾î ´ë¸¸°ú À¯·´ µîÁö·Î °ø±Þó¸¦ ´Ùº¯ÈÇÑ °ÍÀÌ Àü¹ÝÀûÀÎ ½ÇÀû »ó½ÂÀ» °ßÀÎÇß´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. ÀÌ¿Í °ü·Ã ÁÖ¼ºÀÇ Áö³ÇØ ¸ÅÃâ °¡¿îµ¥ ¼öÃâ ºñÁßÀº 60%¿¡ ´ÞÇß´Ù.
¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ °Ç½Ä ½Ä°¢Àåºñ(Dry Etcher)¸¦ ºñ·ÔÇØ °æ»ç¸é ½Ä°¢Àåºñ(Bevel Etcher) µî ¹ÝµµÃ¼ ½Å±Ô ÀåºñºÎ¹®¿¡¼ Áö³ÇØ ¸ÅÃâÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î ¹ß»ýÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù.
ÀÌ ¹Û¿¡ Â÷¼¼´ë »ç¾÷ÀΠžçÀüÁö °øÁ¤Àåºñ¿¡¼µµ ¸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â ÇÑÆí, ÁÖ·ÂÀÎ ¾×Á¤Ç¥½ÃÀåÄ¡(LCD) ÈÇÐÁõÂøÀåºñ(PE CVD) °ø±Þµµ ²ÙÁØÈ÷ ¹ß»ýÇ߱⠶§¹®À̶ó°í ȸ»ç ÃøÀº ¹àÇû´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ °ü°èÀÚ´Â ¡°¿ÃÇØ 8¼¼´ë ½ÅÁõ¼³ µî ±¹³»¿Ü LCD ÅõÀÚ°¡ È°±â¸¦ ¶é °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ¸é¼ ±×µ¿¾È ºÎÁøÇß´ø LCD ÀåºñºÎ¹®¿¡¼µµ ¸ÅÃâÀÌ º»°Ý Àç°³µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù¡±¸ç ¡°±¹³»¿¡ À̾î À¯·´°ú ¹Ì±¹ ´ë¸¸ Áß±¹ µî ÇؿܽÃÀå¿¡¼ ¿ÃÇØ Å¾çÀüÁö °øÁ¤Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ¸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
- 2008.01.21 13:12
À۳⠸ÅÃ⡤´ç±â¼øÀÍ °¢°¢ 2120¾ï, 382¾ï... ÇؿܽÃÀå °³Ã´ '°á½Ç'
°ü·Ã±â»ç°ü·Ã±â»ç
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¡®µ·ÀÌ º¸ÀÌ´Â ¸®¾óŸÀÓ ´º½º¡¯ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷, AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö>
|
¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ÁÖ¿ä´º½º
"ȯ°©Àº ³Ñ¾î¾ß Áß³â"¡¦50³â ÈÄ Çѱ¹, ÀþÀºÃþ ºÎ´ã '¼¼°è 3À§'- '¾çÄ¡±â' ¸ð°Ç½ºÅĸ®¡¦AI½´ÆÛ»çÀÌŬ ¼±¾ð ÇÑ´Þ¸¸¿¡ µ¹º¯ ¿Ö?
- ÁÖ°¡ ±Þµî¶ô¿¡ ÁöÃƳª¡¦ÁýÁß ¸Åµµ ´ë»óÀ¸·Î Àü¶ôÇÑ ¿£ºñµð¾Æ
- À̽º¶ó¿¤ °ø°Ý¿¡ 182¸í »ç¸Á¡¦°¢±¹ ¸¸·ù¿¡µµ ÇìÁ¶ó¿Í Àü¸éÀü ¿ì·Á
- 2Á¶ ¾µ¾î´ã´õ´Ï¡¦"Çѱ¹ÀÎ ¼Õ ´ëÀÚ ¿Í¸£¸£" ¾Ç¸ù µÈ ºê¶óÁú ä±Ç
- Àü±â¿ä±Ý Àλó "Á¤»óÈ" vs "50% ¿Ã·È´Ù"
- ¹ö°Å ´ÙÀ½Àº ġŲ?¡¦"¹è´Þ ¸Þ´º°¡ ´õ ºñ½Î" ÀÌÁß°¡°ÝÁ¦ È®»ê