Çѱ¹_¹Ì±¹_ÀϺ»_Áß±¹/»çÁø=±èÇöÁ¤µðÀÚÀÌ³Ê |
ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Çѱ¹ÀÇ ÀÏÁ¦ °Á¦Â¡¿ë ¹è»ó ÆÇ°á¿¡ ´ëÇÑ °æÁ¦ º¸º¹ Â÷¿ø¿¡¼ ´ÙÀ½´Þ 4ÀϺÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â ÇÙ½É Àç·áµé¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¸¦ °ÈÇÒ °èȹÀ̶ó´Â ÇöÁö ¸Åü(»êÄÉÀ̽Ź®)ÀÇ º¸µµ°¡ ³ª¿Ô±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ±ÔÁ¦¿¡ ³ª¼³ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ´Â ¼ÒÀç´Â Æ÷Å丮Áö½ºÆ®(Photoresist), ¿¡Äª°¡½º(Etching gas), Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å(Fluorine polyimide) µî 3°³ Ç°¸ñÀÌ´Ù.
Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å´Â ºÒ¼Ò(fluorine)ó¸®ÇÑ ±âÆÇ¿ë Æú¸®À̵̹å(PI)Çʸ§À¸·Î ºÒ¼Ò󸮸¦ ÅëÇØ Çʸ§ ÀÚüÀÇ ¹°¼º(¿ ¾ÈÁ¤¼º¡¤±â°èÀû °µµ¡¤Àü¿¼º)À» °ÈÇÏ´Â Àç·á´Ù.
Æ÷Å丮Áö½ºÆ®´Â ºû¿¡ ³ëÃâµÇ¸é ÈÇÐÀû ¼ºÁúÀÌ º¯ÇÏ´Â ¹°Áú·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ȸ·Î¸¦ ÀμâÇÏ´Â ³ë±¤(Photo) °øÁ¤¿¡ ¾²´Â °¨±¤Àç´Ù. ¿¡Äª°¡½º´Â µ¶¼ºÀÌ °Çѵ¥´Ù ºÎ½Ä¼ºÀÌ ÀÖ´Â ±âüÀÎ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(Hydrogen fluoride¡¤HF)·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ °¡¿îµ¥ ȸ·ÎÀÇ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ½Ä°¢(Etching)°ú ¼¼Á¤(Cleaning) ÀÛ¾÷¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
µð½ºÇ÷¹À̾÷°è °ü°èÀÚ´Â "OLED(À¯±â¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå) °øÁ¤¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ PI¸¦ »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ¾î ÇöÀç ¾ð·Ð º¸µµ¸¸À¸·Î´Â Á¤È®ÇÑ ¿µÇâÀ» ÆľÇÇϱ⠾î·Á¿î »óȲ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼¾÷°èµµ ÀϺ» ÇöÁö º¸µµÀÇ ÁøÀ§ ¿©ºÎ¿¡ ÃË°¢À» ±â¿ïÀ̸ç ÇâÈÄ ´ëÀÀ ¹æ¾ÈÀ» ¸¶·ÃÇÑ´Ù´Â ¹æħÀÌÁö¸¸ ±äÀåÇÏ´Â ºÐÀ§±â´Ù. Æ÷Å丮Áö½ºÆ®´Â ÀϺΠ±¹³» ¾÷ü°¡ »ý»êÇÏ°í ÀÖ°í, °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â ±¹»êÈ°¡ ÃßÁøµÇ°í ÀÖÁö¸¸ µÎ Á¦Ç° ¸ðµÎ ±Û·Î¹ú ½Ã»ó Á¡À¯À²ÀÇ 70~90%¸¦ ÀϺ» ¾÷ü°¡ Â÷ÁöÇÏ°í À־Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ (64,200¿ø ¡å500 -0.77%)¿Í SKÇÏÀ̴нº (183,800¿ø ¡ã2,900 +1.60%)µµ °í¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ 90% ÀÌ»óÀ» ÀϺ»¿¡¼ ¼öÀÔÇÑ´Ù. ¿ì¸®³ª¶óÀÇ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷»óÀÌ ÀÌ Á¦Ç°ÀÇ ¼öÃâ Çã°¡±ÇÀ» Áã°í ÀÖ´Ù.
±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üÀÇ °æ¿ì ÀϹÝÀûÀ¸·Î 2ÁÖºÐÀÇ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò Àç°í¸¦ È®º¸ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁø´Ù. ÀϺ» ¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ Çö½ÇȵǸé Ÿ°ÝÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÑ ¼ÀÀÌ´Ù.
Áö³ÇØ 11¿ù¿¡µµ ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷»óÀÌ Çѱ¹À¸·Î ¼öÃâ ¿¹Á¤ÀÌ´ø ºÒȼö¼Ò ¹°·®À» ºÒ½ÂÀÎÇß´Ù°¡ ÀÌƲ¸¸¿¡ Çã°¡ÇÏ´Â »ç°ÇÀÌ ¹ß»ýÇÏ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼¾÷°è°¡ ÃʱäÀå »óÅ¿¡ »óÅ¿¡ ºüÁ³´Ù.
´ç½Ã¿¡µµ ¿ì¸® ´ë¹ý¿øÀÇ ÀÏÁ¦ °Á¦Â¡¿ë ÇÇÇØ ¹è»ó ÆÇ°á¿¡ ´ëÇÑ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¹Ý¹ß Á¶Ä¡·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù°¡ ¼·ù ¹Ìºñ¿¡ µû¸¥ ÇàÁ¤ÀýÂ÷»ó ½ÂÀÎ Áö¿¬À¸·Î È®ÀÎµÇ¸é¼ Á¤ºÎ°¡ ¾÷°è°¡ ½Ã¸§À» ´ú±âµµ Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "µÎ Àç·á ¸ðµÎ ±â¼úÁøÀÔ À庮ÀÌ ³ô¾Æ ±¹»êÈ°¡ ¾î·Á¿î »óȲ"À̶ó¸ç "¼öÃâ ±ÔÁ¦°¡ Çö½Çȵǰí Àå±âÈ·Î À̾îÁú °æ¿ì ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Â÷ÁúÀ» ÇÇÇÒ ¼ö ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ±×·± ÀÏÀÌ »ý±âÁö ¾Ê±æ ¹Ù¶ö »Ó"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.