/·ÎÀÌÅÍ=´º½º1 |
23ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ºí·ë¹ö±×Åë½ÅÀº ³×´ú¶õµå ÇöÁö ¸Åü NRC¸¦ ÀοëÇØ "ASML¿¡¼ ±â¼ú µ¥ÀÌÅ͸¦ ÈÉÄ£ ÇøÀÇ·Î ±â¼ÒµÈ Àü ASML Á÷¿øÀÌ Áß±¹ È¿þÀÌ¿¡¼ ±Ù¹«Çß´Ù"°í º¸µµÇß´Ù.
ASMLÀº Áö³ 2¿ù Áß±¹°è Àü Á÷¿øÀÌ È¸»ç ±â¼ú °ü·Ã µ¥ÀÌÅ͸¦ ÈÉÃÆ´Ù°í ¹àÈù ¹Ù ÀÖ´Ù. ´ç½Ã ASMLÀº À¯ÃâµÈ ±â¼ú µ¥ÀÌÅÍ, Àýµµ ÇøÀǸ¦ ¹Þ´Â Àü Á÷¿ø Á¤º¸ µî ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº °ø°³ÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù. ÀÌ¿Í °ü·Ã ¿ÃÇØ ÃÊ ºí·ë¹ö±×´Â ASML Àü Á÷¿øÀÌ ±â°è¿¡ ´ëÇÑ ±â¼ú Á¤º¸¸¦ ÀúÀåÇÏ´Â ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ÇÁ·Î±×·¥¿¡¼ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÈÉÃÆ´Ù°í º¸µµÇß¾ú´Ù.
NRC´Â ¹ÌÈ®ÀÎ ¼Ò½ÄÅëÀ» ÀοëÇØ "ASML Àü Á÷¿øÀº Áö³ÇØ µ¹¿¬ ASMLÀ» Åð»çÇÑ µÚ Çѵ¿¾È Áß±¹ È¿þÀÌ¿¡¼ ±Ù¹«Çß´Ù"°í ÀüÇß´Ù. ºí·ë¹ö±×´Â "ÇØ´ç Àι°(ASML Àü Á÷¿ø)ÀÌ ¿©ÀüÈ÷ È¿þÀÌ¿¡¼ ÀÏÇÏ°í ÀÖ´ÂÁö´Â ºÒºÐ¸íÇÏ´Ù"¸ç È¿þÀÌ¿Í ASML ¸ðµÎ °ü·Ã ³íÆò ¿äû¿¡ ÀÀÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù°í ÀüÇß´Ù.
ASML ±â¼ú Á¤º¸ À¯Ãâ °ü·Ã Á¶»ç¿¡ Á¤ÅëÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀº ºí·ë¹ö±×¿¡ "¹®Á¦ÀÇ Á÷¿øÀº Áß±¹¿¡ ±â¹ÝÀ» µÐ °³ÀÎÀ¸·Î, Áß±¹ Á¤ºÎ°¡ ÈÄ¿øÇÏ´Â ´Üü¿Í °ü·Ã¼ºÀÌ ÀÖ´Ù"¸ç "±×´Â ÀÌ ´Üü¸¦ ´ë½ÅÇØ (ASML) µ¥ÀÌÅ͸¦ ÈÉÄ£ °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ"°í ¸»Çß´Ù. ¼Ò½ÄÅëÀº ´ÜüÀÇ À̸§Àº ¹àÈ÷Áö ¾ÊÀº ä "°ú°Å Áö½ÄÀç»ê±Ç Àýµµ¿¡ ¿¬°üµÈ ´Üü"¶ó°í¸¸ ÀüÇß´Ù.
ASMLÀº ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¸Á¿¡¼ ÁßÃßÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ´ã´çÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î ¼¼°è ÃÖ÷´ÜÀÇ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â µ¥ ÇʼöÀûÀΠ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤ ½Ã½ºÅÛÀ» µ¶Á¡ »ý»êÇÏ°í, ½ÉÀڿܼ±(DUV) ³ë±¤ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. EUV °øÁ¤Àº 7³ª³ë¹ÌÅÍ(1nm=10¾ïºÐÀÇ 1m) ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±â¼úÀÌ´Ù.
Áö³ 8¿ù Áß±¹ È¿þÀÌ°¡ °ø°³ÇÑ »õ·Î¿î ½º¸¶Æ®Æù '¸ÞÀÌÆ® 60 ÇÁ·Î'¿¡ žÀçµÈ ¹ÝµµÃ¼ /»çÁø=ºí·ë¹ö±× |
ÇÏÁö¸¸ È¿þÀÌ´Â Áö³ 8¿ù 7³ª³ë¹ÌÅÍ ÇÁ·Î¼¼¼°¡ žÀçµÈ ½º¸¶Æ®Æù '¸ÞÀÌÆ® 60 ÇÁ·Î'¸¦ Ãâ½ÃÇØ Àü ¼¼°è¸¦ ³î¶ó°Ô Çß´Ù. ƯÈ÷ ÇØ´ç ½º¸¶Æ®Æù¿¡ »ç¿ëµÈ ĨÀÌ È¿þÀÌ°¡ ÀÚü °³¹ßÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö¸é¼ ¹Ì±¹ÀÇ Á¦Àç°¡ Áß±¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ´É·ÂÀ» Á¦ÇÑÇÏÁö ¸øÇÑ´Ù´Â ÁöÀûÀÌ Á¦±âµÆ´Ù. ÀÌ´Â Á¶ ¹ÙÀÌµç ¹Ì±¹ ÇàÁ¤ºÎ°¡ È¿þÀÌ¿Í Áß±¹ ASMLÀÇ ÃÖ´ë °í°´ Áß ÇϳªÀÎ Áß±¹ SMIC¿¡ ´õ ¸¹Àº Á¦À縦 °¡Çϵµ·Ï Á¤Ä¡Àû ¾Ð·ÂÀ» °¡ÇÏ´Â °è±â°¡ µÆ´Ù.
¹Ì±¹ »ó¹«ºÎ´Â Áö³ 17ÀÏ ÇÑÃþ °ÈµÈ ´ëÁß±¹ ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâÁ¦ÇÑ Á¶Ä¡¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù. »õ·Î¿î Á¶Ä¡¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâÁ¦ÇÑ ¹üÀ§´Â ±âÁ¸ÀÇ °í»ç¾ç Á¦Ç°¿¡¼ Àú»ç¾ç Á¦Ç°À¸·Î È®´ëµÆ°í, ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀåºñ ±ÔÁ¦ ¸ñ·Ï¿¡´Â ASMLÀÇ DUV ³ë±¤ÀåºñÀÎ 'NXT:1980Di' µîÀÌ »õ·Ó°Ô Æ÷ÇԵƴÙ. ÀÌ´Â ¹Ì±¹ ¹ÝµµÃ¼¾÷ü ¿£ºñµð¾Æ°¡ Á¦Àç ¿ìȸ¸¦ À§ÇØ Áß±¹ ¼öÃâ¿ë Àú»ç¾ç ¹ÝµµÃ¼¸¦ º°µµ·Î »ý»êÇÏ°í, ASMLÀÇ ÀϺΠDUV ³ë±¤Àåºñ°¡ ¾ÆÁ÷ Áß±¹¿¡ ¼öÃâµÇ°í ÀÖ´Ù´Â Á¡À» °Ü³ÉÇÑ Á¶Ä¡¶ó°í ¿Ü½ÅÀº Æò°¡Çß´Ù.