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| 한국기술교육대학교 클린룸 내부 전경./사진제공=한기대 |
추가된 장비는 반도체소자 제조를 위한 FAB 공정 핵심장비인 융복합장치(PECVD/PEALD)와 △전기로(Furnace) △복합 스퍼터(Sputter) △노광기(Aligner System) △습식세정장비(Wet-Station) △공기조화기(AHU System) 등이다.
한기대는 2010년 신성장 동력산업 인력을 양성하기 위해 클린룸을 건립하고, 양산용 PECVD와 PVD 등 100억원에 달하는 장비 50여종을 구비했다. 한기대 클린룸은 CLASS 1000 등급(0.5마이크로 이상 크기의 입자수가 1입방 피트 중 1000개 이하인 청정공간)이며, 반도체제조공정실과 솔라셀제조공정실, Utility실, 공조실 등으로 구성됐다.
클린룸에서는 반도체 관련 수업은 물론 직업훈련교·강사, 특성화고 교사, 산업체 재직자 등을 대상으로 반도체와 솔라셀(태양전지) 제조공정 및 장비교육을 실시하고 있다.
이진구 한기대 능력개발교육원장은 "국내 반도체 인력은 2031년 30만4000명이 필요하지만 실제로는 5만4000명가량이 부족할 것으로 예상된다. 그만큼 반도체 전문가를 양성하는 것은 중요한 사회적 과제"라며 "우리 대학이 개발한 반도체 기술교육 로드맵(TTR, Technical Training Roadmap)과 클린룸을 활용해 맞춤형 인재를 양성하는데 주력할 것"이라고 강조했다.
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