화성시에 1조원 규모 반도체 연구개발 시설 온다

▲ASML이 화성시에 1조원 규모의 연구지원시설 투자유치를 결정했다./사진제공=화성시청

세계 1위 반도체 장비 생산 기업인 ASML이 경기도 화성시에 1조원대 연구개발 시설을 건립한다.

4일 화성시에 따르면 ASML이 차세대 극자외선(EUV)을 활용한 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 연구개발 시설 투자를 결정하고 이를 위한 시설 건립 부지 매입 계약을 LH와 체결했다.


ASML은 네덜랜드 반도체 장비업체로, 반도체 생산에 필요한 EUV 노광장비를 독점적으로 공급하고 있다. 화성 동탄2신도시에 업무시설·재제조시설 및 트레이닝 센터 등으로 구성된 화성 New 캠퍼스를 조성하고 있다.

정명근 화성시장은 K-반도체 핵심도시 도약을 위해 지난해 8월부터 피터 베닝크 ASML 前 CEO 및 실무자를 직접 만나 국내 제조시설 설치 등 추가 투자를 요청해왔다. 신속한 투자결정을 이끌어내기 위해 경기도, LH 동탄사업본부, 한국전력공사 경기본부 등 유관기관과의 협력도 진행했다.

정 시장은 4일 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장을 만나 “화성 New 캠퍼스에 이어 ‘ASML-삼성전자 연구지원시설’ 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사하다”면서 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다.


이에 프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로 ‘ASML 화성 New 캠퍼스’ 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사하다”면서, “삼성전자는 ASML의 중요 고객사로, 이번 연구지원시설 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 국내 및 화성시 반도체 기업과의 협력을 확대.강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

아울러 정 시장은 “정부에서 추진 중인 첨단반도체기술센터(ASTC, 한국형 IMEC)의 화성시 유치를 위한 적극적인 지원과 조언을 부탁드린다”고 덧붙였다.

이날 간담회에는 오니 얄링크 주한 네덜란드 부대사 등도 함께 배석했으며, 시는 이번 면담을 계기로 네덜란드와 반도체 등 다양한 분야에서 교류협력을 확대할 수 있는 계기가 될 수 있을 것으로 기대하고 있다.

한편 시를 찾은 ASML 부사장과 주한 네덜란드 부대사는 정 시장과의 면담에서 화성 아리셀 공장 화재 사고 희생자와 가족들에게 깊은 애도를 표하고 위로의 뜻을 전했다.