»ï¼ºÀüÀÚ È¼º ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷Àå EUV(±ØÀڿܼ±) V1 »ý»ê¶óÀÎ /»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
ÀÎÅÚÀÇ À§±â¸¦ ÀÏÀ¸Å² ÁÖ¿ä ¿øÀÎÀ¸·Î °æÁ÷µÈ °ü·áÁÖÀÇÀû ¹®È°¡ ²ÅÈ÷´Âµ¥, ÀÌ°°Àº ¹®Á¦´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿¡°Ôµµ ¿¹¿Ü°¡ ¾Æ´Ò ¼ö ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â Àϸí 'Åé´Ï¹ÙÄû'°°Àº Á¶Á÷ ±¸Á¶·Î À¯¸íÇÏ´Ù. °³ÀÎÀÇ °³¼ºº¸´Ù´Â ¾î¶² ÇϳªÀÇ ¸ñÇ¥¸¦ ÀÌ·ï³»°Ú´Ù´Â ÀÏ³ä ¾Æ·¡ ±¸¼º¿øµéÀÌ °¢ÀÚÀÇ ¸ÃÀº ¿ªÇÒÀ» Çس»´Â °ÍÀÌ´Ù.
¹®Á¦´Â ÀÌ°°Àº Á¶Á÷ ¹®È°¡ ½Ç¼ö¸¦ ¿ë³³Çϱ⠾î·Á¿î »óȲÀ» Á¶¼ºÇÑ´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù. ¸ñÀûÁöÇâÀû ºÐÀ§±â¿¡ ¸Å¸ôµÈ ³ª¸ÓÁö, ¹®Á¦°¡ À־ À¼± º¸°í¿¡¼± À̸¦ ¹Ì·ïµÎ°í ±àÁ¤Àû Àü¸Á¸¸À» º¸°íÇÏ°í, ÃßÈÄ µÚó¸®ÇÏ´Â ½ÄÀÇ ¹æ½ÄÀÌ »ç¿ëµÇ±âµµ ÇÑ´Ù. ¾î·°Å³ª '1µî'À» Ãß±¸ÇÏ´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÙÄû´Â ¸ØÃßÁö ¾Ê°í ±¼·¯°¡¾ß Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¼Ò¼öÀÇ 'õÀç' ¸®´õ°¡ ³ª¸ÓÁö ÀοøµéÀ» ÀϹæÇâÀ¸·Î À̲ø¾î¿Ô´ø °Íµµ ¼öÁ÷Àû ºÐÀ§±â¸¦ °íÂøȽÃÄ×´Ù.
ÀϺΠ»ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼(DS)ºÎ¹®ÀÇ ÀÓÁ÷¿øµéÀº ÇöÀçÀÇ À§±â¸¦ ÀÌ°°Àº Á¶Á÷¹®È¿¡¼ ã´Â´Ù. Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® HBM(°í´ë¿ªÆø¸Þ¸ð¸®)¿¡¼ ½ÃÀå 1À§ ÀÚ¸®¸¦ °æÀï»ç¿¡ ³»ÁØ °Í¿¡ ´õÇØ ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ °æÀï·Â 1À§ ÀÚ¸®µµ À§Çù¹Þ°í ÀÖ´Ù. ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß¿¡¼µµ Á¡À¯À²ÀÌ ´äº¸ ÁßÀÌ´Ù. SKÇÏÀ̴нº´Â »ï¼ºÀüÀÚº¸´Ù ¹ßºü¸£°Ô D·¥ ¾÷°è ÃÖ¼±´Ü ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÎ 10³ª³ë±Þ 6¼¼´ë 1C ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¼º°øÇß´Ù. ´ë¸¸ ½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¿ÃÇØ 2ºÐ±â ÆÄ¿îµå¸® ±Û·Î¹ú Á¡À¯À²Àº 11.5%·Î 1À§ ´ë¸¸ TSMC(62.3%)¿ÍÀÇ °ÝÂ÷´Â 50.8%Æ÷ÀÎÆ®¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ Á÷¿ø A¾¾´Â "¹®Á¦°¡ ÀÖÀ¸¸é ÀÖ´Â ±×´ë·Î º¸°íÇØ¾ß Çϴµ¥, À»ç¶÷ ´«Ä¡¸¦ º¸´Â ¹®È°¡ Ä¿¼ ¸®½ºÅ©´Â ³¯·Á¹ö¸®°í °¡Àå Èñ¸ÁÀûÀÎ °Í¸¸ º¸°íÇÏ°Ô µÈ´Ù. ±×·¯´Ù º¸´Ï À¼±¿¡¼± Á¦´ë·Î (¹®Á¦°¡)ÆľÇÀÌ ¾ÈµÇ´Â ½Ä"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ±Ù¿øÀû °æÀï·Â ȸº¹ÀÇ ¹æ¾È Áß Çϳª·Î »õ·Î¿î Á¶Á÷¹®È Á¶¼ºÀ» ²Å°í, ¼â½ÅÀ» ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. Áö³ 5¿ù DSºÎ¹®ÀåÀ¸·Î ¿Â Àü¿µÇö ºÎȸÀåÀº Áö³´Þ »ç³» °Ô½ÃÆÇ¿¡ ±ÛÀ» ¿Ã·Á "»õ·Î¿î Á¶Á÷¹®È¸¦ Á¶¼ºÇÏ°Ú´Ù"¸ç "¹®Á¦¸¦ ¼ÖÁ÷ÇÏ°Ô µå·¯³»°í ¹®Á¦ ÇØ°á°ú Á¶Á÷°£ ½Ã³ÊÁö¸¦ À§ÇØ Á÷±Þ°ú °ü°è¾øÀÌ Ä¡¿ÇÏ°Ô ¼ÒÅëÇ϶ó"°í Áö½ÃÇß´Ù. ´õ ÀÌ»ó ´«¼ÓÀÓ½ÄÀÇ Àå¹Ôºû Èñ¸Á¸¸À» º¸°íÇÏÁö ¸»¶ó´Â ¾ê±â´Ù.