쓰레기 메탄가스가 친환경 에너지로…반도체 기업의 화려한 변신

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인투코어테크놀로지 부스 현장/사진=남미래 기자

"음식물쓰레기 처리장이나 폐수처리장에서 발생하는 바이오 가스도 인투코어테크놀로지의 기술을 만나면 친환경에너지로 재탄생합니다."

16일 서울 강남구 코엑스에서 열린 '그린비즈니스위크(GBW) 2024'에서 엄세훈 인투코어테크놀로지 대표는 바이오 가스에 플라즈마를 넣어 친환경에너지를 생산하는 기술을 소개하며 이같이 말했다.


2014년 설립한 인투코어테크놀로지는 플라즈마 기술을 기반으로 반도체와 친환경에너지 사업을 펼치고 있다. 플라즈마는 고체, 액체, 기체에 이어 제4의 물질로, 기체에서 에너지를 가하면 생성된다. 생소한 개념이지만 우주의 99% 이상이 플라즈마 상태로 존재한다. 번개나 오로라는 대표적인 플라즈마 현상으로, 네온사인과 형광등은 플라즈마 원리를 이용해 만든 것이다.

인투코어테크놀로지의 반도체 사업은 고유도결합 플라즈마(ICP)와 고전력 제어 기술을 활용해 원거리에서 플라즈마를 발생하는 RPS(Remote Plasma Source, 플라즈마 활성종 공급장치)를 개발했다. RPS의 역할은 반도체 웨이퍼 표면을 깎거나 얇은 막을 입히는 것이다.

엄세훈 대표는 "삼성전자와 SK하이닉스는 물론 글로벌 반도체 기업에 장비를 납품하고 있다"고 설명했다.


최근에는 친환경에너지 사업으로도 영역을 확장하고 있다. 쓰레기 매립장에서 발생하는 유해가스 일종인 바이오가스를 플라즈마 반응기에 넣어 합성가스로 변화시킨다. 이 합성가스에서 바이오메탄올, 바이오수소, 지속가능한 항공유 등을 생산한다는 설명이다.

실증 사업도 진행 중이다. 현재 대구의 쓰레기매립장에 메립지 가스를 메탄올과 수소로 전환할 수 있는 실증플랜트를 구축했다. 매립지가스 전환 메탄올 생산 플랜트에서는 하루 150㎏의 메탄올이 생산됐으며 연간 580톤의 CO2 저감효과를 보였다. 매립지가스 전환 수소 생산 플랜트에서는 하루 200㎏의 수소가 생산됐으며 연간 6300톤의 CO2가 저감하는 성과를 거뒀다.

엄세훈 대표는 "현재 다양한 사업실증(PoC)를 마치고 기술을 사업화하는 단계"라며 "친환경에너지 대기업들이 대거 참여하는 GBW에서 사업 파트너를 찾고 협력방안을 모색할 계획"이라고 말했다.

한편, GBW는 2019년부터 국회수소경제포럼과 머니투데이가 개최해온 기후·에너지·딥테크 산업 관련 전시회다. 2019년 '수소엑스포', 2020~2021년 '그린뉴딜 엑스포'로 진행되다 지난해부터는 코엑스와 함께 탄소중립 녹색성장 산업을 포괄하는 의미를 담아 GBW라는 이름으로 개편했다.

올해 '그린 비즈니스 위크 2024'는 'For Earth, for us, for future'(지구를 위해, 우리를 위해, 미래를 위해)를 주제로 △원자력 산업 전시회(K-Nuclear Expo) △신재생에너지 산업 전시회(New Renewable Energy Expo) △친환경 운·수송 산업 전시회(Eco Transport Expo) 등을 통해 3개 영역별 산업 기술의 진화 양상을 공개한다.

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