Áö³ 18ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ±èµ¿¿¬ °æ±âµµÁö»ç°¡ ´º¿å Áõ±Ç°Å·¡¼Ò¸¦ ¹æ¹®ÇØ Å©¸®½º Å×ÀÏ·¯ ´º¿åÁõ±Ç°Å·¡¼Ò ºÎ»çÀå°ú ´ëȸ¦ ³ª´©°í ÀÖ´Ù./»çÁøÁ¦°ø=°æ±âµµ |
µµ´Â ¿À´Â 27ÀϺÎÅÍ 11¿ù2ÀϱîÁö ±è Áö»ç¸¦ ´ÜÀåÀ¸·Î ÇÑ °æ±âµµ´ëÇ¥´ÜÀÌ ÁߺΠÀ¯·´ÀÇ ¿À½ºÆ®¸®¾Æ¿Í ³×´ú¶õµå¸¦ ¹æ¹®ÇÑ´Ù°í 25ÀÏ ¹àÇû´Ù.
±è Áö»ç´Â Áö³ 15ÀϺÎÅÍ 21ÀϱîÁö 5¹Ú 7ÀÏ°£ ¹Ì±¹ ´º¿å µî µ¿ºÎÁö¿ªÀ» ¹æ¹®ÇØ Ä³½Ã È£Äà ´º¿å ÁÖÁö»ç, ±Û·» ¿µÅ² ¹öÁö´Ï¾Æ ÁÖÁö»ç¿Í Çù·Â°ü°è¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í, ÃÑ 2Á¶1000¾ï¿øÀÇ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
¿ì¼± ³×´ú¶õµå¿¡¼ ¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ÀÎ ¿¡ÀÌ¿¡½º¿¥(ASM)°ú ¿¡ÀÌ¿¡½º¿¥¿¤(ASML) º»»ç¸¦ °¢°¢ ¹æ¹®ÇØ ÅõÀÚÇù·Â ¹æ¾È µîÀ» ³íÀÇÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
1968³â ¼³¸³µÈ ASMÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¿øÀÚÃþ ÁõÂø±â¼ú(ALD)±â¼ú·Î ¿¬¸ÅÃâ 3Á¶8000¾ï¿øÀ» ¿Ã¸®´Â ¼¼°èÀû ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ÀÌ´Ù.
ASMLÀº 1984³â ¼³¸³ÇØ ¿¬¸ÅÃâ 276¾ïÀ¯·Î(2023³â ±âÁØ, ¾à 40Á¶¿ø)¸¦ ±â·ÏÇÑ '³ë±¤'(Lithography) ºÐ¾ß ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Àü¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÌ´Ù. À¯ÀÏÇÏ°Ô Ã·´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤) Àåºñ »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
÷´Ü»ê¾÷ Çù·Âµµ °ÈÇÑ´Ù. 'Áß¼Ò±â¾÷ °±¹' ¿À½ºÆ®¸®¾Æ ³ëµ¿°æÁ¦ºÎ Àå°üÀ» ¸¸³ª °æÁ¦¡¤»ê¾÷ µî ºÐ¾ßº° Çù·Â È®´ë¸¦ ¸ð»öÇÏ°í, ³×´ú¶õµåÀÇ '÷´Ü»ê¾÷ Áß½ÉÁö' ³ë¸£Æ®ºê¶ó¹ÝÆ®ÁÖ¿Í ½Å±Ô ¿ìÈ£Çù·ÂÀ» ¸Î´Â´Ù.
ÀÌ¿Ü Àü¼¼°è °æÁ¦ÀÎ ¾à 3000¸íÀÌ Âü°¡ÇÏ´Â 'Á¦28Â÷ ¼¼°èÇÑÀΰæÁ¦Àδëȸ' °³È¸½Ä¿¡ ±âÁ¶°¿¬ÀÚ·Î ³ª¼³ ¿¹Á¤À̸ç Çà»çÀå¿¡ ¸¶·ÃµÈ °æ±âµµ°üÀ» Áß½ÉÀ¸·Î µµ³» ±â¾÷ À¯·´ ÁøÃâÀÇ ¸¶Áß¹° ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
µµ °ü°èÀÚ´Â "À¯·´ Á߽ɿ¡ À§Ä¡ÇÑ ¿À½ºÆ®¸®¾Æ¿¡¼´Â ÇöÁö Á¤¡¤Àç°è Àλ縦 ¸¸³ª °æ±âµµ ±â¾÷ÀÇ À¯·´ÁøÃâ ÇØ°á»ç ¿ªÇÒÀ» ¸ÃÀ» °ÍÀ̸ç, ³×´ú¶õµå¿¡¼´Â ±¹Á¦±³·ù °È»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷À» ã¾Æ ÅõÀÚÇù·ÂÀ» Àû±Ø ³íÀÇÇÏ°Ú´Ù"¸é¼ "Áö³ ¹Ì±¹ ÃâÀå¿¡ À̾î ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ¼º°ú¸¦ À̾ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.