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[속보] 日, 한국에 불화수소 수출허가…규제 이후 처음

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[속보] 日, 한국에 불화수소 수출허가…규제 이후 처음

머니투데이
  • 세종=권혜민 기자
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  • 2019.08.29 20:42
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일본 정부가 대(對)한국 수출 규제 조치를 단행한 반도체 핵심소재 3개 품목 중 하나인 고순도 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다. 지난달 4일 규제가 시작된 이후로 약 두 달 만에 처음이다.

29일 정부와 업계에 따르면 일본 경제산업성은 이날 반도체 제작 핵심소재인 고순도 불화수소 수출 1건을 승인했다.


고순도 불화수소는 반도체 기판인 실리콘웨이퍼에 그려진 회로도에 따라 기판을 깎아내는 식각 공정에 쓰이는 핵심소재다.

일본 정부는 지난달 4일 경제보복을 통해 △고순도 불화수소 △플루오린 폴리이미드 △EUV(극자외선) 파운드리용 포토레지스트(감광재) 등 3개 품목을 개별허가 대상으로 돌렸다.

이중 포토레지스트만 지난 7일과 19일 2차례 수출을 허가해 한국에 반입됐다.




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