µ¿ºÎÇÏÀÌÅØ (40,750¿ø ¡ã300 +0.74%)Àº ¹Ì±¹ ¸àÅä±×·¡ÇȽº¿Í ÇÔ²² ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤±â¼ú °³¹ß±â°£À» ÃÖ´ë 1°³¿ù°¡·® ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â OPC(Optical Proximity Correction) ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù°í 23ÀÏ ¹àÇû´Ù.
OPC¶õ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ °¡¿îµ¥ ¹ÝµµÃ¼ ¿øÆÇ(¿þÀÌÆÛ) À§¿¡ ÀÏÁ¤ÇÑ ÇüÅÂÀÇ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϱâ À§ÇÑ Æ÷Åä°øÁ¤(Photo Lithography)°ú °ü·Ã, ºûÀÇ ±¼Àý µîÀ¸·Î ȸ·Î ÆÐÅÏÀÌ ¿Ö°îµÇ´Â Çö»óÀ» º¸Á¤ÇÏ´Â ÇÁ·Î±×·¥ÀÌ´Ù.
ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¼±ÆøÀÌ 90³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬, 1§¬´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) ÀÌÇÏ·Î ¹Ì¼¼È µÇ°í ÇϳªÀÇ Ä¨¿¡ ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ±â´ÉÀ» ÅëÇÕ½ÃÅ°´Â SoC(System on Chip) ±â¼úÀÌ º¸ÆíȵǴµ¥ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ Á¤È®È÷ ±¸ÇöÇÏ´Â OPC ±â¼úÀÇ Á߿伺ÀÌ °Á¶µÇ°í ÀÖ´Ù.
µ¿ºÎÇÏÀÌÅØÀº ÀÌ ±â¼úÀ» 0.11¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§, 1§´Â 100¸¸ºÐÀÇ 1m) Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ µµÀÔÇϸé Åë»ó 4~5°³¿ù Á¤µµ °É¸®´Â °øÁ¤±â¼ú °³¹ß±â°£ °¡¿îµ¥ 1°³¿ù°¡·®À» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í °Á¶Çß´Ù.
µ¿ºÎÇÏÀÌÅØ °ü°èÀÚ´Â "°øÁ¤±â¼ú °³¹ß±â°£À» ÁÙ¿© ±Þº¯ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù"¸ç "¸àÅä±×·¡ÇȽº¿ÍÀÇ Çù·ÂÀ» °ÈÇØ 90³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ °øÁ¤¿ë OPC ±â¼úµµ °øµ¿ °³¹ßÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
- 2008.07.23 11:01
Ú¸ ¸àÅä±×·¡ÇȽº¿Í °øÁ¤±â¼ú °øµ¿°³¹ß... °øÁ¤°³¹ß±â°£ 1°³¿ù°¡·® ÁÙ¿©
°ü·Ã±â»ç°ü·Ã±â»ç
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¡®µ·ÀÌ º¸ÀÌ´Â ¸®¾óŸÀÓ ´º½º¡¯ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷, AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö>
|
¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ÁÖ¿ä´º½º
33Æòº¸´Ù ºñ½Ñ 24Æò¡¦°°Àº ¾ÆÆÄÆ® ´ÜÁöÀε¥ °¡°Ý ¿ªÀüµÈ ÀÌÀ¯- 'Á÷ÁÖ±ÙÁ¢' Á¾·Î ¾ÆÆÄÆ®°ª, ³ªÈ¦·Î 'Ç϶ô'¡¦Àü¼¼°¡ »ó½ÂÆø 'ÃÖ°í' ¿Ö?
- "¿ì¸® ¾Ö°¡ ÀÌ·± ÁþÀ»" °ú°Å ¼¼Å¹ÇÏ·Á ¿ì¸£¸£¡¦µðÁöÅÐ ÀåÀÇ»ç '¸í°ú ¾Ï'
- ÀÌÁÖÈ£ "ÀÇ´ë»ý, ¿¬¸»±îÁö ³»³â 'º¹±Í' ¾à¼ÓÇϸé ÈÞÇÐ Çã¿ë"
- ¸Æµµ³¯µåµµ ÇÈÇߴµ¥¡¦"Á¾ÀÌ»¡´ë Çطοö" ¾ûÅ͸® º¸°í¼¿¡ ¾÷°è 'ºÎ±Û'
- 'Çѱ¹Çü ¹ß»çü' ´©¸®È£, °è¼Ó ºÒ¹ý È¾à »ç¿ëµÆ´Ù¡¦Ã¥ÀÓ ¶°³Ñ±â±â?
- ½ÃÁøÇεµ ¾ÆÇÁ¸é ¿©±â·Î¡¦Áß±¹ ÀÇ·á°³Çõ ¾ÆÁ÷ ¸Ö¾ú´Ù[Â÷À̳ª´Â Áß±¹]