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주성, 화질개선 차세대 디스플레이 증착기술 개발

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  • 강경래 기자
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  • 2011.11.02 14:05
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MOCVD 기술 이용한 'IGZO' 공정 및 장비 개발

주성엔지니어링 차트

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반도체 및 디스플레이, 태양전지 장비회사 주성엔지니어링 (20,000원 ▲50 +0.25%)이 액정표시장치(LCD) 유기발광다이오드(OLED) 등 디스플레이 화질을 획기적으로 높일 수 있는 'IGZO' 증착공정 및 장비 기술을 개발했다고 2일 밝혔다.

IGZO는 인듐(In), 갈륨(Ga), 아연(Zn), 산소(O) 등을 이용해 만든 투명 비결정질 산화물로, 기존 디스플레이에 쓰이는 소재인 비결정질(아몰포스) 실리콘보다 전자 이동속도가 수십 배 빨라 고화질(풀HD)을 넘어선 화질을 구현할 수 있다.

주성은 IGZO 증착공정에서 쓰이던 기준 금속박막(스퍼터) 방식을 독자적인 기술을 활용, 생산성과 안정성 등에서 유리한 유기화학(MOCVD) 방식으로 바꿔 개발했다. 이 증착기술은 LCD와 OLED 등 디스플레이의 8세대 규격까지 대응이 가능하다.

주성 관계자는 "국내외 디스플레이 회사들이 IGZO 방식으로 고속 구동이 가능한 디스플레이 기술을 선점하기 위한 경쟁에 나서고 있다"며 "이번 기술 확보로 글로벌 장비기업으로의 시장영향력 구축에도 박차를 가할 것"이라고 말했다.



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