ÀÌÁ¶¿ø ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀå/»çÁø=³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø |
¾Õ¼ Á¤ºÎ´Â ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ ´ëÀÀÇØ Áö³ 8¿ù 5ÀÏ ¹ßÇ¥ÇÑ ¡®¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °æÀï·Â °È ´ëÃ¥¡¯¿¡¼ Ä«À̽ºÆ®(KAIST) ºÎ¼³±â°üÀÎ ±â¼ú¿ø¿¡ ¡®12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼º´ÉÆò°¡ Å×½ºÆ®º£µå¡¯¸¦ ±¸ÃàÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÇû´Ù.
À̸¦ À§ÇØ ¿ÃÇØ Á¤ºÎ Ãß°¡°æÁ¤¿¹»ê(115¾ï¿ø)À» Æ÷ÇÔ, 2022³â±îÁö ÃÑ 450¾ï¿ø ¿¹»ê(Àåºñ 385¾ï¿ø, ½Ã¼³ 43¾ï¿ø, °øÁ¤°³¹ß 22¾ï¿ø)À» ÅõÀÔÅ°·Î Çß´Ù.
±â¼ú¿øÀº ¿ÃÇغÎÅÍ ÃÑ 992§³(300Æò) ±Ô¸ðÀÇ Ã»Á¤½ÇÀ» È®º¸ÇÏ°í, 12ÀÎÄ¡ ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼ Àü¿ëÀåºñ 10¿©´ë¸¦ ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î ±¸ÃàÇÑ´Ù. ¶Ç 20³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ÆÐÅÍ´× °øÁ¤ ±â¼ú µî ´ÜÀ§¸ðµâ, ƯȰøÁ¤±â¼úÀ» È®¸³ÇÏ´Â µî °ËÁõ½Ã½ºÅÛµµ ÇÔ²² ¸¶·ÃÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ÇÙ½ÉÀåºñ°¡ ´ëºÎºÐ °í°¡¶ó¼ Á¤ºÎ Áö¿ø±Ý¸¸À¸·Ð 12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ®º£µå ±¸ÃàÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù.
¾ËÇÁ À̸ÓÀü ½ºÄ³³Ê µî Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ Çʼö ÀåºñµéÀº ³×´ú¶õµåÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ »ý»ê¾÷üÀÎ ASMLÀÌ µ¶Á¡ »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´ëüÁ¦°¡ ¾ø´Â ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù. ÀÌ ¿øÀåÀº ¡°¾ËÇÁ À̹ÌÀü ½ºÄ³³Ê¸¦ Áß°í·Î ±¸¸ÅÇÑ´Ù°í Çصµ 300~400¾ï¿ø °¡·® µç´Ù¡±¸ç ¡°´ë±â¾÷ÀÌ À¯ÈÞ Àåºñ¸¦ ±âÁõÇØÁÙ °æ¿ì Á¤ºÎ Áö¿ø±ÝÀº ´Ù¸¥ Àåºñ ±¸¸Å³ª ¼ºñ½º¡¤¿î¿µºñ·Î È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¿¹»êÀ» ´õ È¿À²ÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í¡±À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÌ ¿øÀåÀº ½ÇÈ¿¼º ÀÖ´Â Çѱ¹Çü Å×½ºÆ®º£µå ±¸ÃàÀ» À§Çؼ´Â ¼ö¿ä±â¾÷ÀÌ ¿ä±¸ÇÏ´Â °ËÁõ µ¥ÀÌÅÍ È®º¸°¡ ÇʼöÀûÀ̶ó°í ¸»Çß´Ù. ±×´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº°¡ 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ Àåºñ¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ°í Àֱ⠶§¹®¿¡ ¿©±â¿¡ ÃÖÀûÈµÈ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤ÀåºñÀ» ¸¸µé±â À§Çؼ´Â 12ÀÎÄ¡ Å×½ºÆ®º£µå ±¸ÃàÀÌ Àý½ÇÇÏ´Ù¡±°í °Á¶Çß´Ù.
¶Ç ¡°±¹³» ±â¾÷¿¡¼ °³¹ßÇÑ Á¦Ç°ÀÇ ¼º´ÉÀ» °ËÁõÇϱâ À§Çؼ± ´ë±â¾÷ÀÇ °ËÁõ ±âÁØÀ» ÃæÁ·ÇÏ´Â 12ÀÎÄ¡ Å×½ºÆ®º£µå°¡ Àý½ÇÈ÷ ¿ä±¸µÇ³ª ÀÌ·± °ËÁõ½Ã¼³ÀÌ ¾ø¾î ¸¹Àº ±â¾÷µéÀÌ ÇØ¿Ü¿¡ ³ª°¡ Å×½ºÆ®¸¦ ¹Þ¾Æ¾ß ÇÏ´Â »óȲ¡±À̶ó¸ç ¡°¹ÝµµÃ¼ ÈĹæ»ê¾÷ÀÎ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ê¾÷À» À°¼ºÇÏ·Á¸é ¾ç»êÈ ¼öÁØÀÇ Àåºñ¿Í ºÎÇ°¼ÒÀç Å×½ºÆ® º£µå, ÀÎÁõ ½Ã¼³ÀÌ Àý½ÇÇÏ´Ù¡±°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÇÑÆí, ±â¼ú¿ø¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ ÇٽɼÒÀç¿Í Àåºñ ±¹»êÈÀ²Àº 2017³â ±âÁØÀ¸·Î °¢°¢ 50%, 20% Á¤µµ·Î ¸Å¿ì Ãë¾àÇÑ »óÅ´Ù. ÇöÀç ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ±â¾÷µéÀº ÀÚü Æò°¡ÆÕÀ» °®ÃßÁö ¸øÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ ÀÚü °³¹ßÇÑ Á¦Ç°ÀÇ ÀÎÁõ¡¤¼º´ÉÆò°¡¸¦ ´ë¸¸ TSMC, º§±â¿¡ IMEC, ¹Ì±¹ ¾Ë¹Ù´Ï ³ª³ëÆÕ µî ÇØ¿Ü ½Ã¼³¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ ¿øÀåÀº Áö³ 9¿ù 16ÀÏ ÃëÀÓÇß´Ù. Ææ½Çº£´Ï¾ÆÁÖ¸³´ë Àç·á°øÇаú¿¡¼ ¼®¡¤¹Ú»ç ÇÐÀ§(1980~1986³â)¸¦ ¾ò¾ú°í, »ï¼ºÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ½Å¼ÒÀ翬±¸½ÇÀå ¹× PM(1992~2000³â), °úÇбâ¼úºÎ 21¼¼±âÇÁ·±Æ¼¾î»ç¾÷´Ü Å׶ó±Þ³ª³ë¼ÒÀÚ°³¹ß»ç¾÷´ÜÀå(2000~2010³â), ÇѾç´ëÇб³ ³ª³ëÀ¶ÇÕ°úÇаú ±³¼ö(2010~ÇöÀç)¸¦ ¿ªÀÓÇß´Ù. ±¹°¡³ª³ë±â¼úÁ¾ÇÕ¹ßÀü°èȹ ¼ö¸³¿¡µµ Âü¿©Çß´Ù.