À̵é ÁöÀÚü´Â ¿À´Â 6ÀÏ ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â À¯Ä¡¸¦ À§ÇÑ °æÀï ÇÁ·¹Á¨Å×À̼ÇÀ» ÇÑ´Ù. °ú±âÁ¤ÅëºÎ ºÎÁö¼±Á¤Æò°¡À§¿øȸ´Â 7ÀÏ ÀÔÁö Á¶°Ç, ÁöÀÚü Áö¿ø »óȲ µîÀ» Á¾ÇÕÆò°¡ÇØ 1¡¤2¼øÀ§ Èĺ¸ Áö¿ªÀ» ¼±Á¤, ÇöÀå Á¡°Ë¿¡ ³ª¼±´Ù. ÀÌÈÄ ¼±Á¤Æò°¡À§¿øȸ°¡ ÃÖÁ¾ °áÁ¤ÇÑ ¿ì¼±Çù»ó Áö¿ªÀ» 8ÀÏ ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â´Â ÈçÈ÷ ¡®ºûÀÇ Çö¹Ì°æ¡¯À̶ó ºÎ¸¥´Ù. ÀüÀÚ¸¦ °¡¼Ó½ÃÄÑ ¸¸µç ±ØÀڿܼ±(EUV), X¼± µî ´Ù¾çÇÑ ºûÀ¸·Î ¹°ÁúÀÇ ±¸Á¶¡¤Æ¯¼º µîÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô ÆľÇÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿ì¸®³ª¶ó ¼öÃâ È¿ÀÚ»óÇ°ÀÎ ¹ÝµµÃ¼ºÎÅÍ ¹ÙÀÌ·¯½º ½Å¾à¿¡ À̸£±â±îÁö È°¿ë¹üÀ§°¡ ³Ð´Ù. 10§¬(³ª³ë¹ÌÅÍ, 10¾ïºÐÀÇ 1£í) ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤, Ç×¹ÙÀÌ·¯½º Ä¡·áÁ¦ ¡®Å¸¹ÌÇ÷硯 µîÀº ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ °ÅÃÄ °³¹ßµÈ ´ëÇ¥Àû »óÇ°ÀÌ´Ù. ÀåÈïÅ °ú±âÁ¤ÅëºÎ ¿øÀڷ¿¬±¸°³¹ß°úÀåÀº ¡°¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤À» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â Áö´ÉÇü¹ÝµµÃ¼, ¹Ì·¡ÀÚÀ²ÁÖÇàÂ÷, ¹ÙÀÌ¿ÀÇコ µî¿¡¼± ±âº»À¸·Î °®Ãç¾ß ÇÒ Àåºñ¡±¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿ì¸®³ª¶ó´Â ÇöÀç °æÁÖ¡¤Æ÷Ç׿¡¼ ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. 1994³â 2500¾ï ¿øÀ» ÅõÀÔÇØ ÁØ°øÇÑ 3¼¼´ë¿Í 2016³â 4260¾ï ¿øÀ» µé¿© ±¸ÃàÇÑ 4¼¼´ë´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ¹Ì ³ëÈÄÈ°¡ ¿À·£ ±â°£ ÁøÇàµÆ°í »ç¿ëµµ Æ÷È»óÅÂ¶ó¼ ´Ã¾î³ª´Â ¿¬±¸ ¼ö¿ä¸¦ °¨´çÇϱâ Èûµç ½ÇÁ¤ÀÌ´Ù.
À̹ø¿¡ ½ÅÃàµÉ ´Ù¸ñÀû ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â´Â µÑ·¹ ±æÀÌ 800mÀÇ ¿øÇüÀ¸·Î Áö¾îÁø´Ù. ¿øÇüÀ¸·Î ±¸ÃàÇÏ¸é ºö¶óÀÎÀ» ÃÖ´ë 40°³±îÁö ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. ºö¶óÀÎÀº °¡¼Ó±â ¾È¿¡ ¸¶·ÃµÇ´Â ÇϳªÀÇ ½ÇÇ衤¿¬±¸ °ø°£ÀÌ´Ù. ÇöÀç Æ÷Ç× 4¼¼´ë °¡¼Ó±â°¡ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ºö¶óÀÎÀº ÃÖ´ë 4°³»ÓÀÌ´Ù.
Çѱ¹±âÃÊ°úÇÐÁö¿ø¿¬±¸¿øÀº À̹ø »ç¾÷ÀÌ 13¸¸7000¿© ¸íÀÇ °í¿ë°ú 6Á¶7000¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦Àû È¿°ú¸¦ ¸¸µé¾î³¾ °ÍÀ¸·Î Ãß»êÇß´Ù.