±èÈÁø /»çÁø=±èÈÁø |
ÃÖ±Ù ÀÚÀ̽º¶õ À̸§ÀÌ ±¹³» ¹Ìµð¾î¿¡ µîÀåÇÑ °ÍÀº ASML ¶§¹®ÀÌ´Ù. »ï¼ºÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ¹ÝµµÃ¼È¸»çµéÀÇ ¸í¿îÀ» Á¿ìÇÑ´Ù´Â '½´ÆÛÀ»' ASMLµµ ÀÚÀ̽º°¡ ·»Á Á¦¶§ ÃæºÐÈ÷ °ø±ÞÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é EUV¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(±ØÀڿܼ±³ë±¤)Àåºñ¸¦ Á¦ÀÛÇÒ ¼ö ¾ø´Ù°í ÇÑ´Ù.
1846³â ¼³¸³µÈ ÀÚÀ̽º´Â ¾È°æ·»Á Á¦ÀÛÇÏ´Â °ÍÀº ¹°·ÐÀÌ°í ÀηùÀÇ °úÇÐÁö½Ä ¹ßÀü¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÑ ±â¾÷ÀÌ´Ù. Àΰ£ÀÇ ´«À¸·Î º¼ ¼ö ¾ø´Â °ÍµéÀÌ Çö¹Ì°æÀ» ÅëÇØ ÆîÃÄÁø´Ù. ¶Ç ¸Ö¸® ÀÖ´Â ¹°Ã¼¸¦ ¹Ù·Î ¾Õ¿¡ ÀÖ´Â °Íó·³ º¸°Ô ÇÏ´Â ¸Á¿ø°æÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÚÀ̽º´Â Ä® ÀÚÀ̽º(1816~88³â)°¡ µ¶ÀÏ ¿¹³ª¿¡¼ ¾È°æÁ¡À¸·Î ½ÃÀÛÇß´Ù. À̵ëÇغÎÅÍ Çö¹Ì°æÀ» ¸¸µé±â ½ÃÀÛÇß´Ù. ´ç½Ã Çö¹Ì°æÀº ½Ä¹°¿¬±¸¿¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ Àåºñ´Ù. 1860³â´ë¿¡´Â µ¶ÀÏ ÃÖ°íÀÇ ±¤ÇÐÁ¦Ç° ȸ»ç·Î ÀÚ¸®Àâ¾Ò´Ù. ¹°¸®ÇÐÀÚ ¿¡¸¥½ºÆ® ¾Æº£¿Í ÈÇÐÀÚ ¿ÀÅä ¼îÆ®°¡ ÇÕ·ùÇØ ±¤Çбâ±âÀÇ ¼º´ÉÀ» ´ëÆø Çâ»óÇß´Ù. ÀϹݿ¡¼± Ä«¸Þ¶ó¿Í ½Ö¾È°æÀÌ Å« ÀαâÇ°¸ñÀÌ µÆ´Ù.
ÀÚÀ̽º´Â ¹°·Ð ±º¿ëÀåºñµµ »ý»êÇß´Ù. Àú°Ý¿ë ¶óÀÌÇðú µ¶ÀÏ À°±ºÀÇ Æ¼°ÅÀüÂ÷ Á¶ÁØ°æ µîÀ» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ±× ¶§¹®¿¡ 2Â÷´ëÀü ¶§´Â ³ªÄ¡ÀÇ °Á¦³ë¿ª ÇÁ·Î±×·¥¿¡ Æ÷ÇԵŠÀüÈÄ¿£ Àü¹ü±â¾÷À¸·Î ºÐ·ùµÆ´Ù. ÀÚÀ̽º´Â ¿¾ ¼Ò·Ã±º Á¡·ÉÁö¿ªÀÎ ¿¹³ª¿Í µå·¹½ºµ§¿¡ À§Ä¡ÇØ ÀϺΰ¡ ¼µ¶ ½´ÅõÆ®°¡¸£Æ®·Î ÀÌÀü, »õ ȸ»ç¸¦ ¸¸µé¾ú´Ù. µ¿µ¶ ÀÚÀ̽º´Â µ¿µ¶ ºñ¹Ð°æÂûÀÌ Àẹ °¨½ÃÃÔ¿µ¿¡ ¾´ °í¼º´É Ä«¸Þ¶óµµ »ý»êÇß´Ù.
¿¹³ª¿¡ ÀÜ·ùÇÑ È¸»ç¿Í ¼µ¶À¸·Î ¿Å±ä ȸ»ç´Â Áö½ÄÀç»ê±Ç ºÐÀïÀ¸·Î ±äÀå°ü°è¿¡ ÀÖ¾ú´Ù. ¿µ±¹ ·±´ø¿¡¼ 6³â°£ ¼Ò¼ÛÀüµµ Ä¡·¶´Ù. ¸ðµç ºÐ¾ß¿¡¼ ¼·Î Ä¡¿ÇÏ°Ô °æÀïÇߴµ¥ ÅëÀÏ·Î µÎ ȸ»ç´Â ´Ù½Ã ÇÕÃÄÁ³´Ù. ÀÚÀ̽º´Â ÅëÀÏ ÈÄ µ¿µ¶Áö¿ªÀÇ ´ë±Ô¸ð ±¸Á¶Á¶Á¤À» Æ÷ÇÔÇØ ¿ª»ç Àüü¿¡ °ÉÃÄ ¿©·¯ °¡Áö ¿ì¿©°îÀýÀ» °Þ¾úÁö¸¸ Àç´ÜÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ Áö¹è±¸Á¶»óÀÇ ÀÌÁ¡ÀÌ È¸»ç ÀÓÁ÷¿ø¿¡°Ô Å« µ¿±â¸¦ ¸¶·ÃÇØÁá°í À̸¦ ÅëÇØ À§±â¸¦ Àß ±Øº¹ÇÑ È¸»çÀ̱⵵ ÇÏ´Ù. 2008³â ±Û·Î¹ú ±ÝÀ¶À§±â ¶§µµ ¸ðµÎ ÀÚ¹ßÀûÀ¸·Î º¸¼ö¸¦ ÁÙÀÌ°í ±¸Á¶Á¶Á¤À» ÃÖ¼ÒÈÇß´Ù°í ÇÑ´Ù.
Ä® ÀÚÀ̽º°¡ »ç¸ÁÇÑ ÈÄ ¾Æº£´Â ÀÚ½ÅÀÇ È¸»ç ÁöºÐÀ» Ã⿬ÇØ 1889³â Àç´ÜÀ» ¼³¸³Çß´Ù. ÀÚÀ̽ºÀÇ ¾Æµé°ú ¿ÀÅä ¼îÆ®µµ 1891³â°ú 1919³â °¢°¢ º¸À¯ÁöºÐ ÀüºÎ¸¦ Àç´Ü¿¡ Ã⿬Çß´Ù. Àç´ÜÀº ¿À´Ã³¯ ÀÚÀ̽º±×·ìÀÇ ´Üµ¶ÁÖÁÖ´Ù. Àç´ÜÀº ÁÖ½ÄÀ» óºÐÇÒ ¼ö ¾ø°Ô µÅ ÀÖ´Ù. ÀÌ ¹ýÀÎÈ Á¶Ä¡´Â ÀÚÀ̽º°¡ ¿À´Ã³¯±îÁö Áö¼ÓµÇ´Â °¡Àå Å« ÀÌÀ¯·Î Æò°¡µÈ´Ù. ȸ»çÀÇ ÀÌÀÍÀÌ Àç´ÜÀ» ÅëÇØ ¸ðµÎ ±â¼ú°³¹ß, ¿¹³ª´ëÇÐ Áö¿ø, ÀÓÁ÷¿ø º¹ÁöÈÄ»ý¿¡ »ç¿ëµÇµµ·Ï Çؼ ȸ»çÀÇ ¼ºÀå°ú Áö¼Ó¿¡ ÇÊ¿äÇÑ µ¿·ÂÀ» ÃÖ°í ¼öÁØÀ¸·Î È®º¸Çß´Ù.