°æ³²Á¤º¸´ë ÇлýµéÀÌ ¼¼¹ÌÁ ã¾Æ »ê¾÷ü ÇöÀå üÇèÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù./»çÁøÁ¦°ø=°æ³²Á¤º¸´ë |
÷´Ü¹Ì·¡ÇкΠÇлý 29¸íÀÌ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼, Àåºñ¡¤ºÎºÐÇ°, Àç·á, ¼³ºñ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ßÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â¾÷ 250°³ »ç°¡ Âü°¡ÇÑ ¹ÝµµÃ¼´ëÀüÀ» Âü°üÇß´Ù. Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Çùȸ°¡ ÇöÀåÀ» ¾È³»Çß°í ÇлýÀº ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå°ú ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÃֽŠÁ¤º¸¸¦ Á¢ÇÏ°í Ãë¾÷ÀÇÁö¸¦ ´ÙÁ³´Ù.
ÇöÀå üÇèÀº ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼¿Í ¼¼¹ÌÁî¿¡¼ ½Ç½ÃÇß´Ù. ÇлýÀº °Ç½Ä ½Ä°¢ÀåºñÀÎ Dry Etcher µî ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ÇöÀå¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Àåºñ¿Í Á÷¹«¸¦ üÇèÇß´Ù.
¹ÝµµÃ¼°ú 1Çгâ ÀÌÀÎÈ£ ÇлýÀº "¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ½Ç¹« Áö½ÄÀ» Á» ´õ ÀÌÇØÇß°í Áø·Î¸¦ °èȹÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÆ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÓÁØ¿ì °æ³²Á¤º¸´ë ½Å»ê¾÷ƯȻç¾÷´ÜÀåÀº "ÇлýÀÌ ¹ÝµµÃ¼´ëÀü Âü°ü°ú ¿©·¯ »ê¾÷ü °ßÇÐÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡ ´õ ¸¹Àº °ü½ÉÀ» °¡Áö´Â ±âȸ°¡ µÆ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ ´Ù¾çÇÑ ÇöÀå üÇè°ú »ê¾÷ü °ßÇÐÀ» ÁغñÇØ ÇлýÀÇ Áø·Î °áÁ¤¿¡ µµ¿òÀÌ µÇµµ·Ï ÇÒ °Í"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.