³×´ú¶õµå ASML Çѱ¹ »ç¿Á Åõ½Ãµµ/»çÁøÁ¦°ø=½Ö¿ë°Ç¼³ |
½Ö¿ë°Ç¼³Àº Áö³ 3ÀÏ 2000¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ASML ´º Ä·ÆÛ½º ½Ã°ø °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í 13ÀÏ ¹àÇû´Ù.
°æ±âµµ ȼº½Ã ¼Ûµ¿ µ¿Åº2Áö±¸ µ¿ÅºJC Àαٿ¡ À§Ä¡ÇÒ ASML Çѱ¹ ´º Ä·ÆÛ½º´Â ÁöÇÏ 4Ãþ~Áö»ó 11Ãþ 2°³µ¿ ¿¬¸éÀû 7¸¸4418§³ ±Ô¸ð·Î ¾÷¹«¿Í ±³À°¿¬±¸½Ã¼³ÀÌ µé¾î¼³ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ASMLÀº ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÇ °¡Àå Áß¿äÇÑ °øÁ¤ÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ(¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼³°è´ë·Î ÁýÀûȸ·Î¸¦ ÇÁ¸°ÆÃÇÏ´Â Àåºñ)¸¦ Àü ¼¼°è¿¡ À¯ÀÏÇÏ°Ô °ø±ÞÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÐ¾ß 1À§ ±â¾÷ÀÌ´Ù. ¸ÅÃâÀº ¾à 212¾ï À¯·Î(ÇÑÈ ¾à 29Á¶¿ø)¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.
ASMLÀº Áö³ÇØ 11¿ù ±âÀÚ°£´ãȸ¸¦ ÅëÇØ °æ¿µ¼¾ÅÍ, ÀçÁ¦Á¶ ¼¾ÅÍ, ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ, üÇè°ü µîÀÌ Æ÷ÇÔµÈ À̹ø Ä·ÆÛ½º¿¡ ´ëÇÑ ÅõÀÚ¸¦ ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ASMLÀº Çѱ¹¿¡¼ ÇâÈÄ 10³â°£ 1400¸í ÀÌ»óÀ» Ãß°¡·Î °í¿ëÇØ »ç¾÷ ±â¹ÝÀ» ³ÐÈ÷°í Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ¿Í Ã¼Çè°üÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ÀÎÀç ¾ç¼º¿¡ ±â¿©ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
½Ö¿ë°Ç¼³Àº °¡°Ý, ±â¼ú Á¾ÇÕÆò°¡ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÁøÇàµÈ º» ÇÁ·ÎÁ§Æ® ÀÔÂû¡¤±â¼úÁ¦¾ÈPT¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Æ ¿ì¼±Çù»ó´ë»óÀÚ·Î ¼±Á¤µÈ ÈÄ º» °è¾à±îÁö ü°áÇÏ°Ô µÆ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
À¯Á¾½Ä ½Ö¿ë°Ç¼³ »ó¹«´Â "¼¼°èÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ±â¾÷ÀÇ ½Å»ç¿Á °ø»ç ¼öÁÖ¿¡ Å« Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù"¸ç "ÇâÈÄ ASMLÀÇ Çѱ¹ ÅõÀÚ È®´ë¿¡µµ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ°í Ç°ÁúÀÇ ½Ã°øÀ» ¾à¼ÓÇÑ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.