³×´ú¶õµåÀÇ ±¹Åä ¸éÀûÀº Çѱ¹ÀÇ 40% ¼öÁØÀ¸·Î ¼¼°è 130À§¿¡ ºÒ°úÇÏ´Ù. ½ÉÁö¾î ±¹ÅäÀÇ 25%´Â Çؼö¸éº¸´Ù ³·´Ù. Àα¸(67À§)´Â ¿ì¸®(29À§)ÀÇ 3ºÐÀÇ 1 ¼öÁØÀÌ´Ù. ÀÌ·± Á¶°Ç ¼Ó¿¡¼ ¼¼°è ¼öÃâÀÔ 'Åé 5'¿¡ ¿À¸¥ ³×´ú¶õµå¸¦ ´Ü¼øÈ÷ 'dzÂ÷¿Í Æ«¸³'ÀÇ ³ª¶ó·Î¸¸ »ý°¢Çؼ± ¾ÈµÈ´Ù. '´ëü ºÒ°¡' ¼öÁØÀÇ °·ÂÇÑ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» °®Ãá 'ÇÏÀÌÅ×Å© °±¹'ÀÌ´Ù.
³×´ú¶õµå´Â ÀÏÂġ °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¼ÒÀç»ê¾÷¿¡ ´«À» ¶¹´Ù. Àü¼¼°è ½Ç¸®ÄÜ Ä¨ÀÇ 90% ÀÌ»ó¿¡ ³×´ú¶õµå ±â¾÷ÀÌ Á¦Á¶ÇÑ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°ÀÌ µé¾î°£´Ù. Çѱ¹ ÷´Ü»ê¾÷ ÇÙ½É ¼ÒÀç ¹× ºÎÇ°ÀÇ 5ºÐÀÇ1 ÀÌ»óÀÌ ³×´ú¶õµå·ÎºÎÅÍ ¼öÀԵȴÙ.
ÇöÀç ³×´ú¶õµå¸¦ ´ëÇ¥ÇÏ´Â ¼öÃâÇ°Àº ASMLÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ´Ù. 5³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ ÃÖ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µé±â À§Çؼ± EUV°¡ ÇʼöÀûÀε¥, ASMLÀÌ ½ÃÀå ³» »ç½Ç»ó À¯ÀÏÇÑ °ø±ÞÀÚ´Ù. ASML·ÎºÎÅÍ ÃֽŠEUV Àåºñ¸¦ ¾ó¸¶³ª »¡¸® °ø±Þ¹Þ´À³Ä¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÇ ¹Ì·¡ °æÀï·ÂÀÌ Á¿ìµÈ´Ù°í Çصµ °ú¾ðÀÌ ¾Æ´Ï´Ù. Áß±¹Àº ¹Ì±¹ÀÇ ºÀ¼âÁ¤Ã¥À¸·Î EUV ¼öÀÔÀÌ ¿øõ Â÷´ÜµÅ ¾Ö¸¦ ¸Ô°í ÀÖ´Ù.
EUV°¡ ³ª¿À±â ÀÌÀü ¼¼´ëÀÎ DUV(½ÉÀڿܼ±) ±îÁö´Â ±âÁ¸ Á¤¹Ð±¤ÇÐ °ÀÚÀÎ ÀϺ»ÀÇ Ä³³í°ú ´ÏÄܵµ ±Û·Î¹ú ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Àåºñ ½ÃÀå¿¡¼ °æÀïÀ» ¹úÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ±×·¯³ª ÀüÇô ´Ù¸¥ Â÷¿øÀÇ ±â¼úÀÎ EUV ½Ã´ë¸¦ ¸Â¾Æ ÀϺ» ±â¾÷µéÀº ±â¼ú À庮À» ³ÑÁö ¸øÇß´Ù.
ASMLÀº EUV Àåºñ¸¦ °ø°³Çϱâ 20³â ÀüºÎÅÍ ±â¼úÀ» °³¹ßÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù. EUV °³¹ßÀº µµÀüÀûÀÌ°í ºñ¿ëÀÌ ¸¹ÀÌ µå´Â Çè³ÇÑ µµÀüÀ̾ú´Ù. ±¤¿øÀ» ¸¸µå´Â °úÁ¤ºÎÅÍ ±â¼úÀû ³Á¦¿¡ ºÎµóÇû°í, ±¤¿øÀ» À¯µµÇÏ´Â ¹Ý»ç°æ ¿ª½Ã ±Øµµ·Î ¾î·Á¿î Á¦Á¶ °úÁ¤À» °ÅÃÄ¾ß Çß´Ù. ±Ç¼®ÁØ ¼º±Õ°ü´ë ±³¼öÀÇ Àú¼ '¹ÝµµÃ¼ »ï±¹Áö'¿¡ µû¸£¸é, 2000³â´ë ÃʹݱîÁö ±â¼úÀû ³Á¦·Î ÀÎÇØ EUV °³¹ßÀº 'ÀÌ·ÐÀû °³³ä'À¸·Î¸¸ ³²°Ô µÉ °ÍÀ̶ó´Â ¿¹»óÀÌ ´ë¼¼¿´´ø ¶§µµ ÀÖ¾ú´Ù.
ASMLÀº 1994³â EUV ±â¼úÀ» »ê¾÷ÈÇϱâ À§ÇÑ ÀÛ¾÷¿¡ Âø¼öÇß°í, 2006³â ¼¼°è ÃÖÃÊÀÇ EUV µ¥¸ðÀåºñ¸¦ ´ëÇаú ¿¬±¸¼Ò¿¡ º¸³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀ» ã¾Ò´Ù. 2009³â º»»ç¿¡ EUV °³¹ß ¹× »ý»êÀ» À§ÇÑ Å¬¸°·ë°ú ÀÛ¾÷°ø°£À» ¼³Ä¡Çß°í, 2013³â ÃÖÃÊÀÇ EUV »ý»ê½Ã½ºÅÛ NXE:3300À» Ãâ½ÃÇß´Ù. 2020³â ÃÊ ASMLÀº 100¹ø° EUV Àåºñ¸¦ °í°´»ç¿¡ Àü´ÞÇß´Ù. ÇöÀç ASMLÀÇ ÁÖ·Â EUV Àåºñ 1´ë °¡°ÝÀº ¾à 1800¾ï¿øÀ¸·Î, ÷´Ü ½ºÅÚ½º ÀüÅõ±â F-35A °¡°ÝÀ» »óȸÇÑ´Ù. Â÷¼¼´ë EUVÀÇ °¡°ÝÀº À̺¸´Ù 3¹è ÀÌ»ó ³ôÀ» °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
11ÀϺÎÅÍ ³×´ú¶õµå¸¦ ±¹ºó ¹æ¹®ÇÏ´Â À±¼®¿ ´ëÅë·ÉÀº ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸Àå, ÃÖÅ¿ø SK±×·ì ȸÀå°ú ASML º»»ç¸¦ ãÀ» ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °æÀï·Â °È¸¦ À§ÇÑ ¿Ü±³ ³ë·ÂÀÌ ±â´ëÇß´ø ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ±æ Èñ¸ÁÇÑ´Ù.
![]() |
/»çÁø=ÀÓµ¿¿í |